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[发明专利]一种用于产生单侧表面大气等离子体的装置-CN202310800326.1在审
发明人：戴浩宇;杨林峰;徐子一;江雷 -专利权人：北京蕴超仿生智能科技发展有限公司
申请日： 2023-06-30 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于产生单侧表面大气等离子体的装置，包括等离子体电源、至少一组单侧大气等离子体发生器，以及冷却系统；所述等离子体电源用于为所述单侧大气等离子体发生器提供能量；所述单侧大气等离子体发生器用于在单侧产生等离子体，其包括负极高压导线、正极高压导线、正极金属发射极、负极金属发射极，以及绝缘板；所述绝缘板包括与所述正极金属发射极、所述负极金属发射极接触的第一表面，以及用于产生表面大气等离子体的第二表面；所述冷却系统用于为所述单侧大气等离子体发生器降温本发明能够在常温常压、大气环境中均匀产生功率密度较高的单侧表面大气等离子体。
一种用于产生表面大气等离子体装置

[实用新型]一种等离子体工业除湿设备-CN200920069537.8有效
发明人：金俊哲 -专利权人：上海乾瀚环保科技有限公司
申请日： 2009-03-27 - 公布日： 2010-06-23 - 主分类号： B01D53/76 文献下载
摘要：一种等离子体工业除湿设备，包括多个等离子腔体，每个等离子腔体均包括一中空的接收极管和一嵌套于接收极管之中的发射极管，所述多个等离子腔体的接收极管和发射极管相互平行设置；接收极管骨架，所述接收极管骨架为金属框架，机械并电学连接每个等离子体腔体的接收极管；发射极管骨架，所述发射极管骨架为金属框架，机械并电学连接每个等离子体腔体的发射极管；多个绝缘装置，所述绝缘装置一端连接至接收极管骨架，另一端连接至发射极管骨架本实用新型的优点在于，采用多个等离子体腔体阵列排列，同时工作，因此可以提高除湿设备的工作效率，非常适合工业应用。
一种等离子体工业除湿设备

[实用新型]一种低温等离子技术处理酸性废气的设备-CN201420726902.9有效
发明人：张卫 -专利权人：上海译琅环保科技有限公司
申请日： 2014-11-28 - 公布日： 2015-06-10 - 主分类号： B01D53/32 文献下载
摘要：一种低温等离子技术处理酸性废气的设备，包括等离子体反应室，所述等离子体反应室包含多个中空的负极管，每个负极管的中心有一个发射极管穿过，负极管和发射极管相间排列，组成等离子方阵或等离子平行阵；等离子体反应室骨架，所述等离子体反应室骨架为金属框架，机械并电学连接每个负极管；发射极管骨架，所述发射极管骨架为金属框架，机械并电学连接每个发射极管；多个绝缘装置，所述绝缘装置一端连接至负极管骨架，另一端连接至发射极管骨架
一种低温等离子技术处理酸性废气设备

[实用新型]壁挂式低温等离子体空气净化器-CN201520387236.5有效
发明人：李凤臣;孙景涛;付瑞申 -专利权人：河北汇金科技有限公司
申请日： 2015-06-08 - 公布日： 2015-10-28 - 主分类号： F24F1/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种壁挂式低温等离子体空气净化器，包括等离子体电路以及分别与所述等离子体电路连接的发射极和接收极，所述发射极包括2根以上并排设置的金属丝，所述接收极包括平行设置在金属丝两侧、借助驱动机构具有旋转自由度本实用新型采用浸润水的卷板组成接收极，金属丝构成发射极，能够有效去除空气中的各种异味、病毒，并能效去除空气中的颗粒物。
壁挂式低温等离子体空气净化器

[实用新型]一种圆管式等离子体工业废气净化装置-CN201320644830.9有效
发明人：张德榜;孙玉生 -专利权人：郑州万谷机械有限公司
申请日： 2013-10-19 - 公布日： 2014-04-02 - 主分类号： B01D53/32 文献下载
摘要：一种圆管式等离子体工业废气净化装置，其特征在于：所述装置包括底部设置有进气口和排水口、顶部设置有出气口的壳体，安装在壳体腔体中的由发射极和接收极并联排列组成的多组等离子体发生装置，发射极的下部以间隙配合的方式插装在圆筒形结构的接收极中空柱腔内；所述的发射极和接收极分别由发射极框架和接收极框架相互连接，供电装置的两极分别与发射极框架和接收极框架相连接；发射极与接收极通过设置在壳体外部的电极绝缘箱实现两极间的绝缘。本实用新型尤其适用于工业废气的净化处理，较好的解决了等离子体发生装置电场不均匀和效率低的问题，同时也显著提高了绝缘箱的绝缘效果，使该装置更好的满足各类工业废气的净化要求。
一种圆管等离子体工业废气净化装置

[发明专利]异质结双极晶体管T型发射极金属图形制作方法的改进-CN200610003066.1无效
发明人：苏树兵;刘训春;于进勇;刘新宇;王润梅;郑英奎;魏珂;汪宁 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2006-02-08 - 公布日： 2007-08-15 - 主分类号： H01L21/331 文献下载
摘要：本发明涉及半导体器件及集成电路制造工艺中化合物半导体异质结双极晶体管的发射极/基极金属图形自对准的制作方法。采用包括等离子体辅助化学气相沉积、光刻机、刻蚀机、金属蒸发设备和浸泡剥离设备，其特点是先在化合物半导体外延片的表面淀积SiO₂/Si₃N₄两层介质层，再在其上涂负性光刻胶；然后在负性光刻胶上光刻出发射极窗口图形，再用反应离子刻蚀或感应耦合等离子体刻蚀设备将发射极窗口图形处的介质层刻蚀掉，然后用等离子体刻蚀将负性光刻胶窗口适当扩大，继而通过蒸发制备发射极所需金属，再经浸泡剥离，从而获得T型发射极金属图形。适用于多种金属实现发射极/基极金属图形自对准，使发射区和基区面积大为缩小。
异质结双极晶体管发射极金属图形制作方法改进

[实用新型]高速离子风自吸式低温等离子体空气净化设备-CN201620090749.4有效
发明人：陈顺鹏 -专利权人：深圳嘉润茂电子有限公司
申请日： 2016-01-29 - 公布日： 2016-08-31 - 主分类号： B03C3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开一种高速离子风自吸式低温等离子体空气净化设备，包括释放直流高压电的电源模块、起到支架作用的外壳、产生强电离场的发射极以及吸附各种粒子的集尘极；所述发射极包括一至多根针状导体，所述集尘极上开设有与每根针状导体相适配的圆孔，所述发射极上的一至多根针状导体从电源模块中引出并指向集尘极的圆孔，所述电源模块可拆卸集成固定在外壳上或与外壳分离布置，所述发射极与集尘极围合作用形成等离子体区域。本实用新型结构简单，体积小巧，净化速度快，空气净化效果好，可以不用辅助风机使用；接收极的多孔状金属结构，增大了空气净化接触面积，使得接收极具有较强的吸附能力；采用低温等离子体技术，耗电量低，节能和静音效果显著
高速离子低温等离子体空气净化设备

[发明专利]一种吸力峰位置可控等离子体激励器系统-CN201410616929.7有效
发明人：郝江南;高超;王玉玲;武斌;索涛 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2014-11-05 - 公布日： 2015-04-08 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种吸力峰位置可控等离子体激励器系统，其特征在于：每个双极性等离子体激励器包括发射极和接收极，发射极通过一个开关与高压电源的一个电极连接，接收极与通过一个开关与高压电源的另一个电极连接，每一个开关受控于一个继电器与现有的激励器相比较，吸力峰位置可控等离子体激励器系统通过改变激励器第一个出现等离子体发射极的位置，可以达到改变激励器吸力峰位置的效果。此种激励器可以在物体表面大范围内形成一个向下游不断运动的吸力峰。
一种吸力位置可控等离子体激励系统

[发明专利]射频阴极中和器-CN202110085599.3有效
发明人：刘伟基;冀鸣;赵刚;易洪波 -专利权人：中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2021-01-22 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01J37/30 文献下载
摘要：本申请涉及一种射频阴极中和器，包括：电离腔室，靶材，维持极，发射极，以及磁铁组件；靶材通过第一绝缘部件设置在电离腔室底部，维持极和发射极设于电离腔室顶部，靶材连接射频电源，磁铁组件向电离腔室提供磁场；在工作中，向电离腔室通入工作气体，利用磁铁组件产生的磁场和射频电源输出的射频电磁波对工作气体进行电离产生等离子体；维持极和发射极用于分离等离子体中的正离子和负电子，并将负电子输出；该技术方案，使用了电容性射频驱动的方式驱动中和器，射频负载面对地直流绝缘，对地等效为电容，具有更高匹配效率，设备结构更加简单；而且通过引入磁场和射频电共同作用，使得等离子体更加活泼，也提高了电离效率。
射频阴极中和

[发明专利]单侧放电等离子体发射极的密封和冷却方法-CN202310804044.9在审
发明人：徐子一;戴浩宇;贺增燚;江雷 -专利权人：北京蕴超仿生智能科技发展有限公司
申请日： 2023-06-30 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本发明提供了一种单侧放电等离子体发射极的密封和冷却方法，包括如下步骤：步骤S1，提供单侧放电等离子体发射极；所述单侧放电等离子体发射极包括刚性绝缘板，以及设置在所述刚性绝缘板一侧的至少一组金属电极；步骤根据本发明的单侧表面等离子体发生器结构简单、造价低廉、使用寿命长。
放电等离子体发射极密封冷却方法

[发明专利]一种发射极及其制备方法和应用-CN202310318739.6在审
发明人：曹建伟;王树林;李鹏飞;王英杰 -专利权人：浙江求是半导体设备有限公司
申请日： 2023-03-23 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本申请提出一种发射极及其制备方法和应用，其中发射极的制备方法包括：采用等离子体增强化学气相沉积法在清洗制绒后的硅片正面依次沉积硼硅玻璃和掩膜层，获得含有硼硅玻璃、掩膜层的硅片；采用激光在所述含有硼硅玻璃、掩膜层的硅片的正面制作选择性重掺杂发射极，获得含有硼硅玻璃、掩膜层、选择性重掺杂发射极的硅片。本申请所述发射极的制备方法，等离子体增强化学气相沉积法沉积硼硅玻璃完成后，采用激光制作选择性重掺杂发射极时，由于沉积的硼硅玻璃很薄且硼原子含量高，激光可将硼硅玻璃中的硼原子推进到硅表面。
一种发射极及其制备方法应用

[发明专利]具有保护套的热离子发电实验装置-CN201910663894.5有效
发明人：钟武烨;雷华桢;韩永超;郑剑平;吕征;张吉峰 -专利权人：中国原子能科学研究院
申请日： 2019-07-22 - 公布日： 2021-03-09 - 主分类号： H02N3/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种具有保护套的热离子发电实验装置，其包括用于发射电子的发射极组件、与发射极组件对准地设置并用于接收由发射级组件发射的电子的接收极组件以及设置在发射极组件与接收极组件之间并且形成使电子穿过的空间的电极连接组件，在接收极组件的端部设置有保护套，保护套用于防止发射极组件与接收极组件之间的等离子体外溢。根据本发明的热离子发电实验装置能够通过保护套消除发射到接收极组件的接收端面的外边缘的电子，由此使得仅发射极和接收极对准的中心位置处的电子射入接收极，由此防止了等离子体的外溢，有利于消除热离子发电实验装置的电极边缘效应，保证发射面与接收面特性的一致性并且具有严格设定的正对面积，确保采用电流密度进行数据处理的精度。
具有护套离子发电实验装置

[发明专利]低温等离子体空气净化单元及低温等离子空气净化装置-CN201510307660.9有效
发明人：李凤臣 -专利权人：上海屹申环保科技有限公司
申请日： 2015-06-08 - 公布日： 2017-09-26 - 主分类号： F24C1/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种低温等离子体空气净化单元，涉及低温等离子体空气净化技术领域，包括设置在安装支架上的发射极和接收极及配套控制电路，关键在于所述发射极包括平行且对称设置、截断面是多边形的两个金属管，所述接收极包括位于两金属管中心的中垂面上另外本发明还提供了一种基于上述的低温等离子体空气净化单元的低温等离子体空气净化装置。本发明的有益技术效果是采用丝管结构，结构简单；金属管的截断面是多边形，便于对离子风进行导向；接收极的金属丝为多股金属丝螺旋缠绕在一起形成的金属线，增大了空气净化接触面积，使得接收极具有较强的吸附能力，采用低温等离子技术
低温等离子体空气净化单元等离子装置

[实用新型]一种多级过滤的低温等离子体废气净化设备-CN202120535486.4有效
发明人：张罗通 -专利权人：江苏天达环保设备有限公司
申请日： 2021-03-15 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： B01D53/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多级过滤的低温等离子体废气净化设备，包括底座、净化罐主体和顶板，所述底座顶部的四角位置处皆安装有支撑脚，且支撑脚的顶端固定有净化罐主体，所述净化罐主体的一侧连通有进气管，且净化罐主体远离进气管的一侧连通有排气管该多级过滤的低温等离子体废气净化设备，通过顶板底部的一侧均匀设置有多组过滤板，使得气体在通过等离子发射极棒组件主体进行净化之前可以被多级过滤，进而避免气体中的杂质容易附着在等离子发射极棒组件主体上对等离子发射极棒组件主体造成损坏
一种多级过滤低温等离子体废气净化设备

[发明专利]一种氢等离子体处理制备N型电池选择性发射极的方法-CN202210167071.5在审
发明人：刘文峰;周继承 -专利权人：中南大学
申请日： 2022-02-23 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种氢等离子体处理制备N型电池选择性发射极的方法，涉及太阳能电池技术领域。方法包括以下步骤：N型硅片在硼扩散过程中实现重掺杂；采用氢等离子体处理，通过掩膜版的方式，让暴露在氢等离子体环境中的硅片表面活性硼离子与氢离子结合形成中性稳定的硼氢对，从而降低PN结中活性B原子的掺杂浓度本发明方法无需激光设备，不会对发射极造成损伤；且通过掩膜版的方式，能够实现重掺杂区域的尺度可控，有望实现产业化。
一种等离子体处理制备电池选择性发射极方法

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