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[发明专利]一种碳化硅炉管清洗工艺-CN202310691212.8在审
发明人：杨从飞;孙德付 -专利权人：无锡升滕半导体技术有限公司
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： F27D25/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种碳化硅炉管清洗工艺，涉及碳化硅炉管清洗技术领域。本发明清洗工艺包括如下步骤：将碳化硅炉管依次在纯水、氢氟酸溶液、清洗液中清洗；水洗、干燥，检测表面颗粒物数量达标，碳化硅炉管清洗完成。本申请可以对碳化硅炉管表面的有机杂质、重金属离子以及碱金属离子进行有效快速的清洗。
一种碳化硅炉管清洗工艺

[实用新型]一种卧式炉管进出舟系统-CN201720443476.1有效
发明人：阮韦伟 -专利权人：苏州同冠微电子有限公司
申请日： 2017-04-25 - 公布日： 2017-12-12 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：一种卧式炉管进出舟系统，包括设置在炉管一侧的碳化硅桨组件，设置在碳化硅桨组件一侧的连动杆，及设置在连动杆一侧的感应机构，所述碳化硅桨组件包括碳化硅桨及夹桨座，所述碳化硅桨能够在推舟机构的推动下朝炉管方向运行，所述连动杆在靠近炉管处固定设置有挡板，所述挡板位于连动杆靠近碳化硅桨的一侧，所述感应机构与所述推舟机构电连接，所述夹桨座移动能够抵持在挡板上，并带动连动杆触发感应机构。本实用新型所述的一种卧式炉管进出舟系统，利用感应机构定位碳化硅桨的输送位置，使得碳化硅桨能够准确的将硅片送至正常工艺位置，保证了产品质量。
一种卧式炉管进出系统

[实用新型]碳化硅浆位调整检具-CN201720567833.5有效
发明人：吴俊;张凯胜;姚伟忠 -专利权人：常州亿晶光电科技有限公司
申请日： 2017-05-19 - 公布日： 2017-12-29 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种碳化硅桨位调整检具，在使用时，在碳化硅浆的两端均卡设本实用新型的检具，第一卡板上的凸起与碳化硅浆的内腔重合，第二卡板上的第一开口与碳化硅浆的外表面重合，第一卡板和第二卡板卡和后呈圆柱形，石英炉管的横截面形状也为圆形，当卡设有本实用新型检具的碳化硅浆进入石英炉管后，对相应碳化硅浆位或炉管位进行调整，确保本实用新型的检具的外圆周面与炉管的内圆周面之间的间距均匀后，碳化硅浆调试完成，本实用新型的检具调试简单，提升了调试效率，提高了调试精度，减小了调试误差，避免因调试误差导致的异常损失，为各炉管之间提供了统一的判定依据，避免了各炉管之间的调试差异，方便定期维护时进行检测。
碳化硅调整

[发明专利]一种在碳化硅材料上制造栅极氧化层的方法-CN201911006243.5在审
发明人：费晨曦;柏松;王谦;黄润华;陈征;张宏伟 -专利权人：中国电子科技集团公司第五十五研究所
申请日： 2019-10-22 - 公布日： 2020-02-11 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种在碳化硅材料上制造栅极氧化层的方法，包括以下步骤：(1)将碳化硅衬底上载至高温炉管中；(2)在第一温度下，氧气的气氛中，在碳化硅衬底表面形成初始氧化层；(3)在第二温度下，氩气气氛中，将碳化硅衬底进行第一次高温热退火处理；(4)将碳化硅衬底卸载；(5)将碳化硅衬底上载至低压炉管腔体中，在第三温度下使用低压化学气相淀积法形成主体氧化层；(6)将碳化硅衬底卸载；(7)将碳化硅衬底上载至高温炉管中；(8)在第二温度下，氩气气氛中，将碳化硅衬底进行第二次高温热退火处理；(9)将碳化硅衬底卸载。
碳化硅衬底氧化层卸载栅极氧化层高温炉管氩气气氛次高温热退火界面态密度碳化硅材料衬底表面低压化学固定电荷低压炉淀积法管腔体氧气制造

[发明专利]扩散设备-CN202211048145.X在审
发明人：宋修扬;孙军旗;赵利;孙玉群;任宏志 -专利权人：北海惠科半导体科技有限公司
申请日： 2022-08-30 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： H01L21/22 文献下载
摘要：本申请公开了一种扩散设备，包括碳化硅桨、炉管、固定支架和底座，底座的一端与炉管连接，碳化硅桨的一端与固定支架连接，另一端朝向炉管的炉口；扩散设备还包括抬升装置，抬升装置设置在底座靠近炉管的位置，且位于碳化硅桨的正下方，碳化硅桨上设置有角度传感器和计算模块；角度传感器与计算模块连接，计算模块与抬升装置连接；其中，以平行于所述底座的面为水平面，角度传感器用于记录碳化硅桨空载状态下与所述水平面之间的角度，以及碳化硅桨装载状态下与所述水平面之间的角度；计算模块用于计算碳化硅桨空载状态下和装载状态下的角度差值，并将信号传输给所述抬升装置；抬升装置将碳化硅桨抬升一预设角度，且预设角度等于角度差值。本申请能够改善由碳化硅桨装载晶圆后出现过度弯曲导致的位置误差。
扩散设备

[实用新型]固定装置以及炉管-CN202021126046.5有效
发明人：侯淇文;赵爱爽;卞英豪 -专利权人：晶澳太阳能有限公司
申请日： 2020-06-17 - 公布日： 2021-01-15 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型涉及太阳能电池生产领域，提供了一种固定装置以及炉管，包括基座以及设于基座上的碳化硅棒固定部；其中，基座具有弧形底面，用于与炉管的内壁面接触；碳化硅棒固定部包括固定座和抱箍，固定座上开设有固定槽，该固定槽为用于支撑碳化硅棒的开放式凹槽，且开口的朝向背离基座的弧形底面；而抱箍则可拆卸地设于固定槽槽口的一侧，半封闭式地将碳化硅棒紧固于开放式凹槽中。该固定装置与炉管连接的更加紧密，避免其发生位移而造成碳化硅棒的偏移。
固定装置以及炉管

[发明专利]一种碳化硅炉管材料的炉管固定式粉末活性炭再生炉-CN201910414026.3在审
发明人：薛红兵 -专利权人：上海合源环境科技有限公司
申请日： 2019-05-17 - 公布日： 2019-07-23 - 主分类号： B01J20/34 文献下载
摘要：本发明提供一种碳化硅炉管材料的炉管固定式粉末活性炭再生炉，包括：炉体、搅拌装置、排烟装置、电加热装置，所述炉体内设有搅拌装置、电加热装置，所述炉体尾部上侧设有排烟装置，电加热装置设置在搅拌装置的外侧，出料口上端的炉体上设有烟气排放口，炉体内设有碳化硅炉管，碳化硅炉管内设有搅拌装置，本发明解决炉管回转式再生炉设备体积大，回转传动功率大，并且在回转过程中炉体会由于滚轮滚圈的安装不同心造成炉体上下窜动，炉体的所有重量都放在滚轮滚圈上，滚轮滚圈的使用寿命短，而采用炉管固定式结构，仅仅需要搅拌轴做回转运动，要求的回转功率小，炉体炉管固定设备结构简单，安装可靠，炉子的使用寿命长，维护方便。
碳化硅炉管搅拌装置炉管炉体电加热装置滚轮滚圈粉末活性炭排烟装置使用寿命固定式再生炉体内回转式再生炉固定式结构烟气排放口固定设备回转传动回转过程回转运动炉体尾部上下窜动维护方便出料口搅拌轴炉体炉上端炉子回转同心

[发明专利]一种高质量的SiC MOSFET器件栅氧化层的制作方法-CN202210850146.X在审
发明人：朱家从;甘新慧;计建新;王磊 -专利权人：绍兴澎芯半导体有限公司
申请日： 2022-07-20 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： H01L21/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种高质量的SiC MOSFET器件栅氧化层的制作方法，包括如下步骤：(1)在碳化硅晶圆推入高温炉管后，在高温炉管升温阶段通入小流量氧气，使得碳化硅晶圆表面形成二氧化硅薄层；(2)在所述高温炉管升温阶段通入二氧化硅腐蚀气体，去除所述二氧化硅薄层中的疏松表面膜层，形成基础缓冲层；(3)关闭所述高温炉管内的所述小流量氧气和所述二氧化硅腐蚀气体，然后通入大流量氧气，形成栅氧化层。本发明采用在高温炉管升温阶段同时通入小流量氧气和二氧化硅腐蚀气体，使得碳化硅晶圆表面二氧化硅薄层形成的期间，其中比较疏松的表面膜层被二氧化硅腐蚀气体去除，进而通入大流量氧气实现高质量的栅氧化层，提高了SiC
一种质量 sic mosfet 器件氧化制作方法

[发明专利]PERC太阳能电池的镀膜方法-CN202010103879.8在审
发明人：吴娟;梁杭伟;鲍亚平;李家兰 -专利权人：东莞南玻光伏科技有限公司
申请日： 2020-02-20 - 公布日： 2020-06-23 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种PERC太阳能电池的镀膜方法，包括：对石墨舟进行预处理；将装载有硅片的预处理后的石墨舟置于PECVD炉管内，使用PECVD炉管对硅片背离石墨舟壁的一面沉积复合膜，硅片通过卡点固定在所述石墨舟上；其中，预处理的步骤包括在石墨舟表面形成碳化硅膜，以及在碳化硅膜表面形成氮化硅膜。本发明对硅片背面镀膜前先在石墨舟表面形成碳化硅膜、在碳化硅膜表面形成氮化硅膜，该碳化硅膜使得石墨舟壁表面具有较好的平坦度，能够使得在硅片背面镀氮化硅膜的步骤中形成的氮化硅膜均匀成膜。并且石墨舟表面镀上氮化硅膜后，能够缓解在硅片背面镀氮化硅膜的步骤中氮化硅镀到石墨舟和卡点上导致的硅片边角和卡点处出现的色差。
perc 太阳能电池镀膜方法

[实用新型]一种碳化硅炉管材料的炉管固定式粉末活性炭再生炉-CN201920707685.1有效
发明人：薛红兵 -专利权人：上海合源环境科技有限公司
申请日： 2019-05-17 - 公布日： 2020-04-17 - 主分类号： B01J20/34 文献下载
摘要：本实用新型提供一种碳化硅炉管材料的炉管固定式粉末活性炭再生炉，包括：炉体、搅拌装置、排烟装置、电加热装置，所述炉体内设有搅拌装置、电加热装置，所述炉体尾部上侧设有排烟装置，电加热装置设置在搅拌装置的外侧，出料口上端的炉体上设有烟气排放口，炉体内设有碳化硅炉管，碳化硅炉管内设有搅拌装置，本实用新型解决炉管回转式再生炉设备体积大，回转传动功率大，并且在回转过程中炉体会由于滚轮滚圈的安装不同心造成炉体上下窜动，炉体的所有重量都放在滚轮滚圈上，滚轮滚圈的使用寿命短，而采用炉管固定式结构，仅仅需要搅拌轴做回转运动，要求的回转功率小，炉体炉管固定设备结构简单，安装可靠，炉子的使用寿命长，维护方便。
一种碳化硅炉管材料固定粉末活性炭再生

[实用新型]一种碳化硅桨安装定位装置-CN201220591563.9有效
发明人：李华;胡树雷 -专利权人：英利能源（中国）有限公司
申请日： 2012-11-09 - 公布日： 2013-04-17 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种碳化硅桨安装定位装置，其包括：能够与扩散炉的固定部件接触的标记杆；设置在所述标记杆底部，且可与碳化硅桨固定连接的支撑部件，所述支撑部件底端设置有梯形开口以与所述碳化硅桨配合连接，所述支撑部件的顶端设置有与所述标记杆配合连接的顶端开口本实用新型提供的碳化硅桨安装定位装置，采用标记杆快速找正定位的方式来精确定位碳化硅桨的安装位置，避免了碳化硅桨反复进出炉管的调整操作，大大简化了操作过程，显著的节省了安装时间。
一种碳化硅安装定位装置

[发明专利]改善铜互连工艺中丘状凸起缺陷的方法-CN202010877270.6在审
发明人：魏想 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2020-08-27 - 公布日： 2020-12-04 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：本发明公开了一种改善铜互连工艺中丘状凸起缺陷的方法，包括：步骤S1，形成铜衬底图形的半导体器件；步骤S2，在半导体器件的表面沉积300℃～350℃的碳化硅薄膜作为作为铜溢出阻挡层；步骤S3，碳化硅薄膜沉积后利用300℃～350℃低温炉管工艺进行热退火处理，步骤S4，在铜溢出阻挡层的表面沉积作为刻蚀阻挡层的高温氮化硅薄膜。本发明在铜CMP之后400℃高温沉积氮化硅薄膜之前低温沉积一薄层的碳化硅薄膜并以其作为铜溢出阻挡层，还在铜溢出阻挡层形成后进行低温炉管退火处理，利用碳化硅层阻挡铜的溢出，降低铜的扩散，而且退火处理后的碳化硅层可以更好地与铜表面发生粘附
改善互连工艺中丘状凸起缺陷方法

[实用新型]一种炉管用碳化硅桨-CN202120616589.3有效
发明人：袁华斌 -专利权人：常州亿晶光电科技有限公司
申请日： 2021-03-25 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： F27D1/18 文献下载
摘要：本实用新型涉及太阳能电池片生产设备技术领域，尤其是一种炉管用碳化硅桨，包括置于炉管内的桨臂，桨臂端部连接炉门，炉管下方设有驱动机构，桨臂下端可拆卸连接有炉温检测机构，桨臂上端面，且位于与炉门连接端连接有承重加强块本实用新型的一种炉管用碳化硅桨，控制驱动机构打开炉门，炉门带动桨臂移出炉管，在其桨臂上放置装满待反应硅片的舟件，然后通过驱动机构将其放置有舟件的桨臂输送进炉管内，炉门盖合在炉管内，进而完成硅片在炉管内的舟件上的加工工艺
一种炉管碳化硅

[发明专利]一种碳化硅炉管材料的粉末活性炭再生炉-CN201910210506.8在审
发明人：薛红兵 -专利权人：上海合源环境科技有限公司
申请日： 2019-03-20 - 公布日： 2019-05-31 - 主分类号： B01J20/34 文献下载
摘要：本发明提供一种碳化硅炉管材料的粉末活性炭再生炉，包括：进料装置、旋转密封装置、炉体、冷却装置、传动装置，所述进料装置设置在炉体一端；所述炉体设有碳化硅炉管、耐火保温材料，钢结构，以及加热装置；旋转密封装置是动静转换的密封饱和粉末活性炭通过进料装置进料、炉体加热装置加热使活性炭吸附的有机物脱附，高温蒸汽活化以及冷却装置冷却完成再生，本发明解决炉管采用310S耐高温不锈钢在再生饱和粉末活性炭时的使用寿命仅有半年的问题，而采用碳化硅材料做炉管的粉末活性炭再生炉的使用寿命可以达到
粉末活性炭炉体旋转密封装置碳化硅炉管进料装置冷却装置再生炉传动装置使用寿命炉管饱和密封圈耐高温不锈钢耐火保温材料活性炭吸附碳化硅材料再生高温蒸汽加热装置炉体加热旋转密封钢结构连接管有机物活化炉头炉尾脱附加热轴承密封冷却转换

[实用新型]一种碳化硅炉管材料的粉末活性炭再生炉-CN201920353459.8有效
发明人：薛红兵 -专利权人：上海合源环境科技有限公司
申请日： 2019-03-20 - 公布日： 2020-01-14 - 主分类号： B01J20/34 文献下载
摘要：本实用新型提供一种碳化硅炉管材料的粉末活性炭再生炉，包括：进料装置、旋转密封装置、炉体、冷却装置、传动装置，所述进料装置设置在炉体一端；所述炉体设有碳化硅炉管、耐火保温材料，钢结构，以及加热装置；旋转密封装置是动静转换的密封饱和粉末活性炭通过进料装置进料、炉体加热装置加热使活性炭吸附的有机物脱附，高温蒸汽活化以及冷却装置冷却完成再生，本实用新型解决炉管采用310S耐高温不锈钢在再生饱和粉末活性炭时的使用寿命仅有半年的问题，而采用碳化硅材料做炉管的粉末活性炭再生炉的使用寿命可以达到10年。
炉体粉末活性炭旋转密封装置进料装置冷却装置本实用新型碳化硅炉管传动装置使用寿命再生炉炉管密封圈饱和耐高温不锈钢耐火保温材料再生活性炭吸附碳化硅材料高温蒸汽加热装置炉体加热旋转密封钢结构连接管有机物活化炉头炉尾脱附加热轴承密封冷却转换

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