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[发明专利]一种硅片转移装置及硅片测试装置-CN201910236940.3有效
发明人：夏秋良;范雪峰 -专利权人：新美光（苏州）半导体科技有限公司
申请日： 2019-03-27 - 公布日： 2021-09-03 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：一种硅片转移装置及硅片测试装置，属于半导体测试领域。硅片转移装置包括：本体、多个机械臂、吸附件。该多个机械臂分别独立可转动地连接于本体。该多个机械臂中的每一个机械臂包括杆体。其中，杆体的两端分别与本体、吸附件连接，吸附件被构造来吸附硅片且允许硅片选择性地脱吸附。该转移装置具有多种工作姿态，并且由此可以使控制的硅片进行多种姿态之间的按需转换，以便达到配合适当设备对硅片进行诸如分选、检测的操作。
一种硅片转移装置测试

[实用新型]一种硅片转移装置-CN201721421762.4有效
发明人：董忠超;储凤舞;刘光献;张小刚;谢宗芳;谢銘勳 -专利权人：太极能源科技(昆山)有限公司
申请日： 2017-10-30 - 公布日： 2018-08-28 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种硅片转移装置，应用于半导体晶体硅硅片载具间产品转移的过程中，其中包括，平台提供一承托面用以承托半导体晶体硅硅片载具；支撑结构，分别设置在每个平台的一侧并与平台一一对应；推拉结构，推拉结构包括推手及推板，推手设置在支撑结构上；导轨，平行于第一平台设置于硅片转移装置的后限位；挡块，挡块包括分别平行于第一平台的第一挡块和第二挡块；固定器，设置于硅片转移装置的左侧；垫板，放置于第一平台的上面。其有益效果在于：本实用新型提供一种硅片转移装置，在两种治具间产品移位的过程中提高工作效率，减少脏污的引入，改善硅片碰撞载具的状况。
硅片转移装置挡块硅片载具半导体晶体硅本实用新型推拉结构支撑结构推手平行产品转移工作效率平台设置平台提供承托面固定器移位承托导轨垫板推板限位脏污治具引入应用

[发明专利]一种硅片转移装置-CN202011526943.X在审
发明人：阴奔野;岳力挽;顾大公;何学涛;郑广磊;张宇;毛智彪;许从应 -专利权人：宁波南大光电材料有限公司
申请日： 2020-12-22 - 公布日： 2021-04-16 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明适用硅片转移技术领域，提供了一种硅片转移装置，包括：底座；设置于底座上、用于放置硅片盒的支架；活动设置于底座上的支撑板，支撑板可相对底座向支架的方向移动或向远离支架的方向移动；支撑于支撑板上、并可相对支撑板升降的支撑主轴；以及与支撑主轴形成转动连接的多层硅片载台，多层硅片载台沿支撑主轴的轴向彼此间隔设置并可分别绕支撑主轴转动。本发明提供的硅片转移装置可以实现硅片盒内的硅片批量转移，方便将硅片盒内的硅片批量转移到另外的硅片盒或将硅片盒内的硅片批量转移出来进行硅片的表面观察检查，无需人工手动逐一将硅片盒内的硅片取出，方便用户使用
一种硅片转移装置

[发明专利]用于硅片烧结炉的上料装置-CN201711217404.6在审
发明人：陈五奎;刘强;冯加保 -专利权人：乐山新天源太阳能科技有限公司
申请日： 2017-11-28 - 公布日： 2018-05-08 - 主分类号： F27D3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种能够准确控制烧结炉入料装置的送料速率的用于硅片烧结炉的上料装置。该用于硅片烧结炉的上料装置，包括硅片转移装置、硅片盒以及运送硅片盒的输送装置；所述输送装置包括支座、输送主辊、输送从动辊，所述输送主辊、输送从动辊均通过支座支撑；所述输送主辊的支座上设置有驱动输送主辊转动的驱动装置；输送主辊和输送从动辊上缠绕有两条平行的传送带；两条平行的传送带之间的间距内设置有升降装置，所述硅片转移装置位于升降装置的正上方；所述硅片转移装置包括壳体、硅片传送带、吸盘；所述壳体上设置有检测硅片盒位于升降装置正上方时制动驱动装置的限位开关采用该用于硅片烧结炉的上料装置能够保证烧结质量，提高烧结效率。
用于硅片烧结炉装置

[实用新型]一种硅片舟翻转及转移装置-CN201820916794.X有效
发明人：潘加永;戴秋喜 -专利权人：苏州映真智能科技有限公司
申请日： 2018-06-13 - 公布日： 2018-12-11 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅片舟翻转及转移装置，包括翻转机构、转移机构及存放机构，其中，所述翻转机构连接在所述转移机构上，用于夹持竖立状态的硅片舟，并将所述硅片舟翻转至横平状态；所述转移机构包括龙门架及设置在所述龙门架上的转移组件，所述转移组件用于带动所述翻转机构沿X轴、Y轴和Z轴移动，以夹持所述存放机构内竖立状态的硅片舟或将所述横平状态的硅片舟放置于所述存放机构内；所述存放机构设置于所述转移机构下方，用于放置硅片舟。所述硅片舟翻转及转移装置，实现了将竖立放置状态的硅片舟横平放置于指定位置处的自动化操作，提高硅片舟的翻转及转移效率，节省人力，降低生产成本。
硅片舟翻转存放机构转移机构翻转机构转移装置竖立状态转移组件龙门架夹持本实用新型自动化操作竖立放置转移效率位置处

[实用新型]一种硅片烘干机和制绒清洗系统-CN202320446247.0有效
发明人：孙林 -专利权人：通威太阳能（金堂）有限公司
申请日： 2023-03-09 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本申请提供了一种硅片烘干机和制绒清洗系统，涉及太阳电池的生产设备领域。硅片烘干机包括转移装置、用于烘干硅片的第一烘干室和第二烘干室，第一烘干室、第二烘干室沿水平方向依次设置，转移装置用于将第一烘干室中的硅片转移至第二烘干室；第一烘干室的顶部设置有若干个用于进风的第一进风口本申请实施例中的硅片烘干机能使得硅片在制绒清洗的过程中容易被烘干，而且硅片的表面也不容易发生氧化。
一种硅片烘干机清洗系统

[发明专利]二维材料垂直生长的硅片反应转移装置-CN202011355450.4在审
发明人：于葛亮;康斯坦丁·诺沃舍洛夫;杨金东;孙正乾;唐阳;王杨华 -专利权人：无锡费曼科技有限公司;无锡墨诺半导体科技有限公司
申请日： 2020-11-27 - 公布日： 2021-03-12 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明涉及一种二维材料垂直生长的硅片反应转移装置，包括硅片座与压盖；在所述硅片座的侧面开设有夹持凹槽，在硅片座的上端面设有呈多边形形状的硅片放置凹腔；所述压盖套在硅片座的上端，在对应硅片放置凹腔位置的压盖上开设有压盖孔，所述硅片放置凹腔的边角位于压盖孔之外。本发明结构简单、操作方便，偏于更换转移硅片，在抽真空和喷淋时，由于压盖压住硅片，硅片不会脱落。
二维材料垂直生长硅片反应转移装置

[实用新型]二维材料垂直生长的硅片反应转移装置-CN202022807355.5有效
发明人：于葛亮;康斯坦丁·诺沃舍洛夫;杨金东;孙正乾;唐阳;王杨华 -专利权人：无锡费曼科技有限公司;无锡墨诺半导体科技有限公司
申请日： 2020-11-27 - 公布日： 2021-07-20 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种二维材料垂直生长的硅片反应转移装置，包括硅片座与压盖；在所述硅片座的侧面开设有夹持凹槽，在硅片座的上端面设有呈多边形形状的硅片放置凹腔；所述压盖套在硅片座的上端，在对应硅片放置凹腔位置的压盖上开设有压盖孔，所述硅片放置凹腔的边角位于压盖孔之外。本实用新型结构简单、操作方便，偏于更换转移硅片，在抽真空和喷淋时，由于压盖压住硅片，硅片不会脱落。
二维材料垂直生长硅片反应转移装置

[实用新型]一种光刻机的硅片转移装置-CN201621289611.3有效
发明人：丁桃宝;刘敏洁 -专利权人：张家港晋宇达电子科技有限公司
申请日： 2016-11-29 - 公布日： 2017-05-24 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光刻机的硅片转移装置，包括机架，机架上安装有第一转移架和第二转移架，第一转移架和第二转移架均与同一个水平动力装置传动连接，第一转移架包括第一滑板，第一滑板的底部安装有水平设置的第一转移框，第一转移框上设置有避让校正机构的避让口，第一转移框上设置有与抽气系统连通的吸气孔，机架上设置有校正对射式传感器的发射端，该校正对射式传感器的发射端位置与校正工位位置对应，对应的第一滑板以及第二转移架上的第二滑板上均设置有校正对射式传感器的接收端，机架上还设置有光刻定位装置。该硅片转移装置利用两个错位的转移架配合交替使用，极大的提高了硅片转移的效率，提高了光刻效率。
一种光刻硅片转移装置

[实用新型]一种硅片转移装置-CN201721411948.1有效
发明人：高凤海;党继东;费正洪;李栋 -专利权人：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司
申请日： 2017-10-30 - 公布日： 2018-07-10 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅片转移装置，包括两个上下间隔设置的边框及连接于两个所述边框之间的立柱，每个所述边框的内部平行间隔设置有若干导轨，两个所述边框中的所述导轨一一对应，且相对应的每两个所述导轨之间均连接有一能够沿其长度方向滑动的支柱，每个所述支柱的同一侧均连接有沿其滑动方向延伸的推杆，所述推杆的延伸末端连接有能够卡住硅片的U型触手，同一所述边框中的所述导轨对应的所述支柱联动设置。该硅片转移装置，能够一次性推动数片硅片至承载盒中，减少分片的时间，保证实验条件的一致性。
边框导轨硅片转移装置推杆硅片平行间隔设置上下间隔设置本实用新型滑动方向联动设置实验条件延伸末端承载盒一次性滑动立柱卡住延伸保证

[发明专利]硅片转移装置、转移托环、半导体工艺反应设备-CN201210024579.6有效
发明人：蔡辉;包中诚;吴明龙 -专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
申请日： 2012-02-03 - 公布日： 2017-04-26 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：一种硅片转移装置、转移托环、半导体工艺反应设备，其中硅片转移装置包括圆形基座，所述圆形基座包括第一基盘和第二基盘，所述第一基盘比第二基盘小，且以圆心重合的方式重叠于第二基盘上，所述第一基盘的边缘处设置有向外开口的卡槽；转移托环，所述转移托环包括环状结构，及自环状结构向内延伸、并与所述卡槽相对应的至少两个支撑柱；转移臂，所述转移臂与所述转移托环连接；其中，所述转移托环的材质为耐高温石英、超强C‑C复合材料中的一种，或者为陶瓷所述半导体工艺反应设备具有所述转移托环。本发明提供的转移托环耐腐蚀、耐高温，能够在Al刻蚀后进行的去胶工艺过程中长期使用不变形。
硅片转移装置半导体工艺反应设备

[实用新型]一种料盒分配转移装置-CN202122034833.8有效
发明人：周军;戴秋喜;潘加永;刘光照 -专利权人：苏州映真智能科技有限公司
申请日： 2021-08-27 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： B65G47/52 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种料盒分配转移装置，包括硅片上料机构、料盒出料机构、第一输送线、第二输送线、第三输送线及第四输送线，第一输送线、第三输送线、第二输送线、第四输送线依次首尾相连，所述第一输送线、第二输送线上分别设有多个料盒转移机构，料盒转移机构上设有硅片转移工位，第一输送线的两端与第三输送线的一端、第四输送线的一端之间分别设有升降传动机构，第二输送线的两端与第三输送线的另一端、第四输送线的另一端之间也分别设有升降传动机构，硅片上料机构本实用新型的料盒分配转移装置可自动实现硅片的上料及空料盒的输出，自动化程度较高，提高了工作效率。
一种分配转移装置

[发明专利]一种全自动硅片倒角加工设备及其加工工艺-CN201811292630.5有效
发明人：万喜增;严云;黄笑容;郑六奎 -专利权人：浙江中晶新材料研究有限公司
申请日： 2018-11-01 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： B24B9/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种全自动硅片倒角加工设备及其加工工艺，该全自动硅片倒角加工设备通过分片上料装置和传输自定心装置实现堆叠的硅片的单片分片和自定心，之后由抓取装置将自定心完成的硅片抓取并在硅片转移装置的移动下实现向倒角装置上进行放片，并在倒角装置上实现硅片的倒角后由自动取片装置进行取片后向硅片收集盒内进行硅片的收集，实现一个转移机构配合多台倒角设备的加工方式，节约了人力资源，解决倒角设备中未实现完全自动化、工作效率低下的技术问题；该全自动硅片倒角加工工艺通过利用硅片分片工序与硅片定位工序，实现硅片的快速单片分片和自定心，并利用硅片运输和硅片放片，实现硅片运输至多台倒角设备处进行倒角加工。
一种全自动硅片倒角加工设备及其工艺

[实用新型]一种全自动硅片倒角加工设备-CN201821787994.6有效
发明人：万喜增;严云;黄笑容;郑六奎 -专利权人：浙江中晶新材料研究有限公司
申请日： 2018-11-01 - 公布日： 2019-06-25 - 主分类号： B24B9/06 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种全自动硅片倒角加工设备，该全自动硅片倒角加工设备通过分片上料装置和传输自定心装置实现堆叠的硅片的单片分片和自定心，之后由抓取装置将自定心完成的硅片抓取并在硅片转移装置的移动下实现向倒角装置上进行放片，并在倒角装置上实现硅片的倒角后由自动取片装置进行取片后向硅片收集盒内进行硅片的收集，实现一个转移机构配合多台倒角设备的加工方式，节约了人力资源，解决倒角设备中未实现完全自动化、工作效率低下的技术问题；该全自动硅片倒角加工工艺通过利用硅片分片工序与硅片定位工序，实现硅片的快速单片分片和自定心，并利用硅片运输和硅片放片，实现硅片运输至多台倒角设备处进行倒角加工。
硅片倒角加工设备倒角设备自定心倒角加工倒角装置单片硅片转移装置自动取片装置本实用新型自定心装置抓取定位工序工作效率硅片分片人力资源上料装置抓取装置转移机构收集盒倒角堆叠后向取片运输自动化传输节约移动加工配合

[实用新型]一种多工位硅片转移系统-CN201821787995.0有效
发明人：万喜增;严云;黄笑容;郑六奎 -专利权人：浙江中晶新材料研究有限公司
申请日： 2018-11-01 - 公布日： 2019-07-12 - 主分类号： B65G47/91 文献下载
摘要：本实用新型涉及硅片加工技术领域，尤其涉及一种多工位硅片转移系统，包括传送机构、旋转机构、升降机构及吸附机构，由吸附机构将硅片吸取，由升降机构驱动吸附机构沿竖直方向运动，将硅片提起，由旋转机构驱动升降机构旋转，带动硅片做圆周转动，实现位置转移，由传送机构驱动升降机构沿水平方向做往复运动，从而将硅片转移到加工工位上进行后续加工，整个过程自动化操作、设备结构紧凑、传送过程流畅快捷，实现一个转移机构配合多台加工工位，将代加工硅片分别传送至多个加工工位上，工作效率高，解决了现有技术中存在的传送流程长、耗费时间、无法精准定位、单个转移装置无法对接多台加工工位、工作效率低下、设备结构复杂等问题。
硅片加工工位升降机构吸附机构传送机构设备结构旋转机构转移系统多工位驱动传送竖直方向运动本实用新型工作效率高过程自动化升降机构沿传送过程工作效率硅片加工后续加工精准定位位置转移圆周转动转移机构转移装置紧凑加工配合

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