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[发明专利]用于单晶硅棒生产的掺杂工艺-CN201510291711.3在审
发明人：李红友;李广哲;周志超;左丙辰;刘建萌;韩佳 -专利权人：宁晋晶兴电子材料有限公司
申请日： 2015-06-01 - 公布日： 2015-09-16 - 主分类号： C30B15/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于单晶硅棒生产的掺杂工艺，包括准备原料、首次装料、第二次装料、加热熔化等操作步骤，通过改变硼族元素合金的掺加方法和掺加时间，控制和缩短了单晶硅棒头部和尾部之间的差距，缩小了单晶硅棒电阻率的差额区间，增加了单晶硅棒优质段的长度，提高了单晶硅棒的产量。
用于单晶硅生产掺杂工艺

[发明专利]一种提拉法生长硅晶棒的装置-CN202310361419.9在审
发明人：高伟 -专利权人：北京通美晶体技术股份有限公司
申请日： 2023-04-06 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： C30B15/30 文献下载
摘要：本发明涉及一种提拉法生长硅晶棒的装置，包括容纳硅晶棒原料熔体的坩埚；加热机构，用于加热坩埚；硅晶棒原料熔体补加机构，将硅晶棒原料熔体补加至所述坩埚内；处于所述坩埚外围的旋转磁场；籽晶杆，位于坩埚上方，其下端部有用于装填籽晶的容纳区；用于籽晶杆的旋转及提升机构；提供保护气体的机构，对由坩埚及籽晶杆形成的晶棒生长空间提供保护气氛；其中，所述籽晶杆的竖向中心轴线与所述坩埚的竖向中心轴线不重合。采用本发明的装置所生产的晶棒可以获得更大尺寸及品质更优的晶片，例如，晶片的掺杂浓度、机械强度、位错密度、电导率、电阻率都更加均匀，对制作大规模集成电路具有非常重要的意义。
一种提拉法生长硅晶棒装置

[实用新型]一种硅棒周转架-CN202220540148.4有效
发明人：吴廷斌;张学强;张建伟;罗银兵;杨另 -专利权人：罗博特科智能科技股份有限公司
申请日： 2022-03-11 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： B62B5/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及硅棒运输附属装置的技术领域，特别是涉及一种硅棒周转架，采用智能搬运机器人IGV加周转车的方式，能自动对硅棒进行运输，降低使用成本，方便管理；包括周转车以及用于驱动周转车进行移动的智能搬运机器人IGV，周转车包括槽体，固定在槽体底部且带有支腿的支架，支腿另一端安装有万向轮，槽体内部安装有若干用于对硅棒进行限位的限位机构，所述限位机构分布于硅棒的两侧。
一种周转

[发明专利]一种用硅钼棒废料生产钼铁的工艺-CN201410439150.2在审
发明人：杨蔚;王树勤 -专利权人：泰州市安达有色金属有限公司
申请日： 2014-08-30 - 公布日： 2016-03-02 - 主分类号： C22B7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用硅钼棒废料生产钼铁的工艺，用硅钼棒废料研磨得到的硅钼金属屑代替部分硅铁，所述硅钼棒废料研磨之前首先清洗干净并去除机械杂质，然后将清理完毕的硅钼棒废料破碎、球磨，并进行烘干。所述工艺采用了硝酸钠配加适量的碳酸钠的高温熔融硅钼金属屑的方法，利用铝粒和硅铁作为还原剂。所述硝酸钠与碳酸钠作为混合熔剂，所述硝酸钠与碳酸钠的重量比的范围为2.8～3.5：1.0。本发明生产的钼铁成品主含量有了很大的提高，硅钼棒中的钼回收率高，产品质量较好；本发明从硅钼棒废料中合理回收钼，实现了资源的二次开发利用。
一种用硅钼棒废料生产工艺

[发明专利]用于轻掺磷多根拉制单晶硅棒掺杂量的计算方法-CN202310590748.0在审
发明人：魏兴彤;芮阳;杨少林;徐慶晧;曹启刚;王黎光;张昆;王忠保;陈亚;赵泽慧 -专利权人：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司;北方民族大学
申请日： 2023-05-24 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： C30B15/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于轻掺磷多根拉制单晶硅棒掺杂量的计算方法，属于直拉单晶硅生产技术领域，该方法考虑到多根拉制时磷母合金与需求阻值的硅熔体中的杂质含量并不对等，需求阻值的硅熔体中的杂质含量偏大的实际情况，提出了新的计算公式，在计算单根之后拉制的硅棒的掺杂量时，以向坩埚内补加的硅料量及补加后的硅熔体中杂质浓度为主进行掺杂量的计算，得到的掺杂量准确性较高，提高了的掺杂量的计算准确性，进而提高了硅棒头部电阻率的打靶准确性
用于轻掺磷多根拉制单晶硅掺杂计算方法

[发明专利]一种单晶硅棒切方工艺-CN201711214396.X在审
发明人：韩勇 -专利权人：四川高铭科技有限公司
申请日： 2017-11-28 - 公布日： 2019-06-04 - 主分类号： B28D1/22 文献下载
摘要：本发明涉及一种单晶硅棒切方工艺，包括下列步骤：选取长度在220～500mm之间，直径在153～160mm之间的单晶硅圆棒并用粘胶垂直粘接在切方机的晶托上；将切方机的晶托和单晶硅圆棒放置在切方机加磁工作台上，编号记录，加磁固定晶托和单晶硅圆棒；校准定位台，设定加工切割参数，开动切方机进行带砂切割；将切割后的半成品脱胶、去除边皮并分离晶托；检验上述经过脱胶并分离晶托处理后的半成品是否合格。
晶托切方机单晶硅圆棒切割单晶硅棒加磁切方脱胶半成品编号记录尺寸控制工作效率切割参数导向轮定位台校准去除粘胶粘接合格率垂直并用修正加工检验保证

[发明专利]一种单晶硅棒切方工艺-CN200910182701.0无效
发明人：杜正兴 -专利权人：无锡尚品太阳能电力科技有限公司
申请日： 2009-09-03 - 公布日： 2010-03-10 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种单晶硅棒切方工艺，包括下列步骤：选取长度在220～500mm之间，直径在153～160mm之间的单晶硅圆棒并用粘胶垂直粘接在切方机的晶托上；将切方机的晶托和单晶硅圆棒放置在切方机加磁工作台上，编号记录，加磁固定晶托和单晶硅圆棒；校准定位台，设定加工切割参数，开动切方机进行带砂切割；将切割后的半成品脱胶、去除边皮并分离晶托；检验上述经过脱胶并分离晶托处理后的半成品是否合格。
一种单晶硅棒切方工艺

[实用新型]一种高频感应加热的硅烷分解炉-CN201320825205.4有效
发明人：李耀文;耿彩军;刘斌;孙佳杰;张增玉 -专利权人：李耀文
申请日： 2013-12-16 - 公布日： 2014-05-14 - 主分类号： C01B33/027 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种高频感应加热的硅烷分解炉，其包括分解炉筒体、加芯热棒、感应线圈以及高频感应配电箱；其中，所述加芯热棒收容于分解炉筒体内，其外表面设有一层耐磨耐高温材料层，于加热芯棒内设有冷却水管；所述感应线圈设置于分解炉筒体内，其通过冷却密封组件与高频感应配电箱相连接；所述加芯热棒插入感应线圈内；所述高频感应配电箱安装于分解炉筒体的一侧。本实用新型的高频感应加热的硅烷分解炉利用高频感应加热的原理，对微硅粉进行加热使其熔化，利用硅液珠将热量传递给硅烷气体使其分解，实现了微硅粉的再利用；同时，耐磨耐高温材料层以及碳化硅内衬组件能防止物料和金属接触
一种高频感应加热硅烷分解

[发明专利]一种多晶硅提纯装置及提纯方法-CN200910112896.1无效
发明人：罗学涛;陈文辉;李锦堂;龚惟扬;沈晓杰;陈朝 -专利权人：厦门大学
申请日： 2009-11-24 - 公布日： 2010-06-09 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：一种多晶硅提纯装置及提纯方法，涉及一种多晶硅。提供一种成本较低、效率较高的多晶硅提纯装置与提纯方法。装置设一、二次熔炼坩埚、一次造渣后盛渣坩埚和二次保温抬包。将硅与渣混匀放入一次熔炼坩埚中，将渣放入二次熔炼坩埚中加热至渣融化；一次熔炼坩埚中的物料融化后搅拌棒预热；反应后升起搅拌棒，加BaCO3；分层后将一次熔炼坩埚向右翻转浇铸，待绝大部分硅液流入二次熔炼坩埚直至开始有渣液流入后停止浇铸，向左翻转浇铸，将二次熔炼坩埚内的渣液倒入一次造渣后盛渣坩埚中凝固；搅拌棒预热，反应后升起搅拌棒，加BaCO3，分层后将二次熔炼坩埚向右翻转浇铸，将熔体全部倒入保温抬包中静置分层凝固；取出硅后粉磨酸洗，
一种多晶提纯装置方法

[发明专利]一种检测区熔多晶硅表面损伤深度的方法-CN202111406144.3在审
发明人：李朋飞;徐岩;王春静;邢阳阳;王露;董永鸽;曹佳佳;韩秀英;张艳玲;左赛虎 -专利权人：陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司
申请日： 2021-11-24 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明公开了一种检测区熔多晶硅表面损伤深度的方法，涉及半导体制造技术领域。该方法的一具体实施方式包括：从机加后的区熔多晶硅棒上切割下一段多晶硅棒；从所述多晶硅棒的外缘上获取多晶硅片；采用蚀刻剂对所述多晶硅片进行蚀刻；采用显微镜采集蚀刻后的所述多晶硅片的表面的损伤图像，从而检测区熔多晶硅表面的损伤深度该实施方式能够解决目前没有可以实现检测区熔多晶硅表面损伤深度的方法的技术问题。
一种检测多晶表面损伤深度方法

[发明专利]一种硅棒的切割方法-CN201911383252.6有效
发明人：郭庆红;李飞龙;熊震 -专利权人：阿特斯光伏电力（洛阳）有限公司;阿特斯阳光电力集团股份有限公司
申请日： 2019-12-27 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅棒的切割方法，所述方法包括采用切片机对硅棒进行双向切割，包括：1)硅棒切割深度达到目标终止位置占比设定值M0时，正向切割，即以先正向再反向的方式切割硅片，且切割时正向的切割线使用量大于反向的切割线使用量；2)硅棒切割深度达到目标终止位置占比≥设定值M0时，反向切割，即以先正向再反向的方式切割硅片，且切割时正向的切割线使用量小于反向的切割线使用量本发明的方法可显著改善停机时硅棒出现切不透的问题，降低加切率、硅片TTV占比、单片耗线量和加工成本，并能提升切割良品率。
一种切割方法

[发明专利]凹凸棒土负载钛硅分子筛催化剂的制备方法及其应用-CN201911124575.3在审
发明人：钱运华;王玉;陆成鑫;王子民;贺凯;华薇;张小卫;凌志强;吴妹;杜卫刚;李东;吴彩金;杨勇;周伟;胡涛;蒯海伟;胡永珂;谭立强;李进;沈古楼;汪涌;刘铭宇 -专利权人：淮阴工学院
申请日： 2019-11-18 - 公布日： 2020-02-04 - 主分类号： B01J29/89 文献下载
摘要：本发明公开了凹凸棒土负载钛硅分子筛催化剂的制备方法，制备步骤如下：（1）将凹凸棒土加入水中浸泡，搅拌后过筛，中加稀盐酸调节pH值，搅拌，静置再用去离子水洗涤至中性，离心分离，烘干，得改性凹凸棒土；（2）将氨水与四丙基溴化铵混合搅拌，滴加硅溶胶，再滴加钛酸四丁酯与异丙醇的混合溶液，滴完继续搅拌，加入步骤（1）制得的改性凹凸棒土，搅拌均匀，加热除去体系中的异丙醇后，倒入晶化釜晶化，晶化后冷却，用去离子水洗涤至中性，干燥后放入马弗炉焙烧，焙烧后冷却，得凹凸棒土负载钛硅分子筛催化剂。本发明提供的催化剂用于催化氨氧化合成丁酮肟时，解决了反应后钛硅分子筛分散在物料体系中，难以进行高效分离的问题。
凹凸棒土催化剂改性凹凸棒土去离子水洗涤焙烧硅分子筛负载钛后冷却异丙醇滴加晶化制备氨水四丙基溴化铵催化氨氧化钛硅分子筛钛酸四丁酯高效分离混合溶液水中浸泡物料体系丁酮肟硅溶胶晶化釜马弗炉稀盐酸烘干放入过筛加热合成

[发明专利]检测硅棒切片到位的方法及硅片切片机粘棒工装-CN201910161049.8在审
发明人：周社柱;杜海文;侯炜强;白杨丰;张瑾;王锋 -专利权人：山西中电科新能源技术有限公司
申请日： 2019-03-04 - 公布日： 2019-06-25 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本发明涉及太阳能级硅片切割技术领域，公开了检测硅棒切片到位的方法及硅片切片机粘棒工装；有效解决了不能及时快速检测硅棒切片是否加工到位所带来的影响产品质量的问题；粘棒工装包括钢托、树脂基板和硅棒，树脂基板内设置有电阻丝，电阻丝与一具有报警功能的通断检测设备相串联，通断检测设备设置在树脂基板的外部；当金刚线切割到树脂基板内的电阻丝后，通断检测仪器在检测到电阻丝切断时会马上发出报警提示，说明硅棒切片加工完成；本发明避免人为判断造成的质量事故，提高准确性和及时性；避免由于硅棒尺寸变动或导轮尺寸变动等因素导致的一次性切割不到位，通过反复加切导致硅片质量下降。
硅棒切片树脂基板电阻丝工装粘棒通断检测设备硅片切片机尺寸变动硅棒检测切割技术领域太阳能级硅片一次性切割报警功能报警提示快速检测通断检测影响产品有效解决质量事故质量下降线切割硅片导轮钢托加工串联外部

[实用新型]一种高硼硅玻璃溶液搅拌桨-CN201320803799.9有效
发明人：胡耿政 -专利权人：湖北华扬玻璃有限公司
申请日： 2013-12-10 - 公布日： 2014-05-07 - 主分类号： C03B5/187 文献下载
摘要：一种高硼硅玻璃溶液搅拌桨，它由钼棒下部加工成螺旋状构成，所述钼棒设有轴阶凹台，在轴阶凹台上镶嵌有耐火材料构成的外套，外套与钼棒的间隙中设有耐高温材料构成的填充剂，所述外套上端通过紧固件密封。本实用新型一种高硼硅玻璃溶液搅拌桨，由于搅拌桨使用金属钼棒制成，其熔点为2610℃。克服了玻璃液对钼棒的侵蚀，耐热冲击性高，安装方便。钼棒上方加耐高温填充剂、镶嵌上耐火材料外套，使其不被氧化，延长搅拌桨使用寿命。
一种高硼硅玻璃溶液搅拌

[实用新型]一种硅片切片机粘棒工装-CN201920270395.5有效
发明人：周社柱;杜海文;侯炜强;白杨丰;张瑾;王锋 -专利权人：山西中电科新能源技术有限公司
申请日： 2019-03-04 - 公布日： 2020-01-07 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及太阳能级硅片切割技术领域，公开了一种硅片切片机粘棒工装；有效解决了不能及时快速检测硅棒切片是否加工到位所带来的影响产品质量的问题；粘棒工装包括钢托、树脂基板和硅棒，树脂基板内设置有电阻丝，电阻丝与一具有报警功能的通断检测设备相串联，通断检测设备设置在树脂基板的外部；当金刚线切割到树脂基板内的电阻丝后，通断检测仪器在检测到电阻丝切断时会马上发出报警提示，说明硅棒切片加工完成；本实用新型避免人为判断造成的质量事故，提高准确性和及时性；避免由于硅棒尺寸变动或导轮尺寸变动等因素导致的一次性切割不到位，通过反复加切导致硅片质量下降。
树脂基板电阻丝通断检测设备本实用新型尺寸变动硅棒切片工装硅棒粘棒切割技术领域太阳能级硅片硅片切片机一次性切割报警功能报警提示快速检测通断检测影响产品有效解决质量事故质量下降线切割硅片导轮钢托加工串联检测外部

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