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- [实用新型]石英舟-CN201620058709.1有效
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宋贤
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苏州市富同石英科技有限公司
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2016-01-21
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2016-06-22
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H01L31/18
- 本实用新型公开了一种石英舟，包括支撑腿、设置在支撑腿上的石英框架以及设置在石英框架上的上层石英柱组以及下层石英柱组，上层石英柱组包括两根水平设置的上石英柱，两根上石英柱开设有槽口相对的上石英舟槽；下层石英柱组包括两根水平设置的下石英柱，下石英柱开设有开口向上的且与上石英舟槽对应的下石英舟槽；上石英舟槽彼此平行且等距，上石英舟槽的数量为25～500个；下石英舟槽彼此平行且等距，下石英舟槽的数量与上石英舟槽的数量相同；硅片放置在下石英舟槽以及上石英舟槽内，相对于传统的100槽的石英舟，本实用新型的石英舟单次扩散工序能够完成的硅片数量增多，在不增加时间以及耗能的条件下，最多将产能提升400％，能够降低耗能。
- 石英
- [实用新型]石英管以及石英容器-CN202320559522.X有效
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苏湛;李康;狄聚青
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安徽光智科技有限公司
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2023-03-17
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2023-08-01
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C30B28/06
- 提供一种石英管以及石英容器。石英管包括石英筒体以及石英挡板，石英筒体具有周壁和端壁，周壁和端壁围成收容腔，收容腔具有封闭端和开口端；石英挡板设置在收容腔内且位于封闭端和开口端之间，石英挡板包括顶面和曲面，曲面位于顶面的下方并连接于顶面，曲面密封连接于石英筒体的周壁；石英筒体的内外表面的除与石英封泡焊接的焊接部位外镀有碳膜；石英筒体的封闭端和石英挡板之间的部分用于将碲化镉多晶的水平合成的物料收容在其内且不溢出石英挡板。石英容器包括石英封泡以及前述的石英管，石英筒体的开口端用于供石英封泡插入以使石英封泡与石英筒体进行真空热熔焊接；石英封泡的内外表面的除与石英筒体焊接的焊接部位外镀有碳膜。
- 石英管以及石英容器
- [实用新型]高纯石英砂冷却装置-CN202022873507.1有效
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何成功;李卫;李常国;王海东;谭小丽
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宁夏富乐德石英材料有限公司
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2020-12-02
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2021-08-27
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F25D1/02
- 高纯石英砂冷却装置包括石英砂承载输送机构、石英砂驱动机构、水冷降温机构，所述石英砂承载输送机构的两端敞开，石英砂承载输送机构的进料口与外界的石英砂煅烧装置的进料口连通，石英砂承载输送机构的外侧与石英砂驱动机构传动连接，水冷降温机构位于石英砂承载输送机构的上方，并能够向石英砂承载输送机构喷出冷水进行降温，所述石英砂承载输送机构包括用于盛放石英砂的石英砂冷却管、从动转盘，所述石英砂冷却管与从动转盘套设连接且过盈配合，所述从动转盘与石英砂驱动机构传动连接，以使石英砂驱动机构带动石英砂冷却管转动，所述石英砂冷却管内设有若干石英杆，石英杆与石英砂冷却管焊接，以带动石英砂冷却管内的石英砂转动。
- 高纯石英砂冷却装置
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