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[实用新型]石墨舟-CN201820462189.X有效
发明人：李茂元 -专利权人：茂迪（马鞍山）新能源有限公司
申请日： 2018-04-03 - 公布日： 2019-02-19 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提供一种石墨舟，包含：若干个第一石墨舟片；若干个第二石墨舟片，第二石墨舟片与第一石墨舟片交替错位排布，且第二石墨舟片与第一石墨舟片平行相隔有间距；若干个用于连接第一石墨舟片的第一连接块，第一连接块位于石墨舟的一端，且位于相邻第一石墨舟片之间；若干个用于连接第二石墨舟片的第二连接块，第二连接块位于石墨舟的另一端，且位于相邻的第二石墨舟片之间。本实用新型的石墨舟可以大大减少连接块及接线凸耳的数量，降了石墨舟的重量，有利于提升生产效率；第一接线凸耳与第二接线凸耳分别位于石墨舟的两端，二者的位置错开布置，更方便接线；采用具有翼板的陶瓷杆来支撑相邻石墨舟片的间隙
石墨舟片石墨舟接线凸耳本实用新型错位排布生产效率位置错开陶瓷杆翼板平行相隔节约支撑制作

[实用新型]石墨舟-CN202020151820.1有效
发明人：张鹤;姚良;王亨;张良俊 -专利权人：江苏微导纳米科技股份有限公司
申请日： 2020-02-04 - 公布日： 2020-08-25 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：一种石墨舟，包括若干在横向方向上平行延伸且在纵向方向上依次交错分布的第一石墨舟片和第二石墨舟片。所述第一石墨舟片于横向方向上的左右两端部处套装有第一舟脚石墨块，所述第二石墨舟片于横向方向上的左右两端部处套装有第二舟脚石墨块。所述第一舟脚石墨块上设有若干第一通孔，所述第二舟脚石墨块上设有若干第二通孔。本实用新型在舟脚石墨块上开孔后，不会阻挡特气流动，特气可以更顺畅的流入石墨舟片，从而极大地提高了镀膜均匀性。
石墨

[实用新型]石墨舟-CN202320013629.4有效
发明人：董哲;董亮;李灵军 -专利权人：晶澳太阳能有限公司
申请日： 2023-01-04 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本申请提供的石墨舟，包括多个石墨舟片，在石墨舟片的延伸方向上石墨舟具有相对的两端，两端的竖向上均设置有上电极部和下电极部；上电极部包括上正极单元、上负极单元及上绝缘块；下电极部包括下正极单元、下负极单元及下绝缘块；石墨舟片包括相邻且间隔设置的正极导向舟片和负极导向舟片，两端包括第一端和第二端，正极导向舟片与位于第一端的上绝缘块和下绝缘块接触设置，负极导向舟片与位于第二端的上绝缘块和下绝缘块接触设置，以使石墨舟每一端的上正极单元和下正极单元错位，石墨舟每一端的上负极单元和下负极单元错位，石墨舟通电时，石墨舟中每两相邻的石墨舟片电性相反。该石墨舟避免采用炉口下压式电极连接方式时正负电极短接。
石墨

[实用新型]石墨舟-CN201920725112.1有效
发明人：罗西佳;孟祥熙;梅晓东 -专利权人：常州时创能源科技有限公司
申请日： 2019-05-21 - 公布日： 2019-11-15 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种石墨舟，包括：通过陶瓷棒串接在一起的一排竖置石墨舟片；石墨舟片上设有：可承载单个竖置硅片的卡点组；同一卡点组中的卡点包括：一设于石墨舟片底部的底卡点，一对设于石墨舟片下部的下卡点，一设于石墨舟片竖向中部的中卡点，以及一对设于石墨舟片上部的上卡点；石墨舟片还设有：用于安装中卡点的条孔；中卡点安装于条孔中，且中卡点可沿条孔滑动。本实用新型石墨舟，其既能承载硅片整片，又能承载该硅片整片所分割出的半片。
石墨舟片卡点硅片本实用新型石墨舟承载竖置条孔整片沿条陶瓷棒滑动半片串接底卡上卡竖向下卡分割

[实用新型]石墨舟-CN201220404149.2有效
发明人：吴建洪 -专利权人：常州市立新石墨有限公司
申请日： 2012-08-15 - 公布日： 2013-03-13 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种石墨舟，包括石墨舟片（1）、陶瓷杆（2）、石墨舟工艺钉（3），石墨舟片（1）的数量为两片或两片以上，所述石墨舟片（1）之间的间距为15mm，本实用新型结构简单；且合理的石墨舟片的间距，
石墨

[实用新型]石墨舟-CN201822057004.X有效
发明人：李兵;陈瑶;陈海燕;刘运宇 -专利权人：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司
申请日： 2018-12-07 - 公布日： 2019-05-31 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提供一种石墨舟，用于管式PECVD镀膜，石墨舟包括至少两个沿第一方向间隔设置的石墨舟片组，每一石墨舟片组包括多个沿第二方向间隔设置且沿上下方向延伸的石墨舟片，第一方向与第二方向相垂直，相邻的石墨舟片组中的石墨舟片一一对应；沿第一方向相邻的两个石墨舟片上相对的一侧设有用以固定硅片的固定件；位于石墨舟内的硅片的正面以及背面均无遮挡，在镀膜时，等离子体可分别沉积在硅片的正面以及背面，实现硅片的正面及背面同时镀膜，降低了镀膜时间，能够提高产能，同时，相较于现有的石墨舟，本实用新型中的石墨舟对硅片镀膜时，不需要进行翻片处理，可以有效减少多次插硅片对硅片的边缘造成的擦伤。
石墨舟片石墨舟硅片镀膜背面本实用新型方向间隔等离子体管式PECVD镀膜上下方向延伸固定硅片硅片镀膜有效减少擦伤固定件无遮挡产能翻片沉积垂直

[实用新型]石墨舟-CN202222571362.9有效
发明人：张勇;李学文;刘兵吉;王凯;王郴意;张文 -专利权人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2022-09-27 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了石墨舟，该石墨舟包括：多个第一石墨片以及多个第二石墨片，第一石墨片和第二石墨片交替地间隔排列，多个第一石墨片当中的至少两个相邻的第一石墨片之间，以及多个第二石墨片当中的至少两个相邻的第二石墨片之间，均形成有安装空间；间隔块组件，具有多个第一间隔块以及多个第二间隔块，多个第一间隔块分别被夹持在相邻的两个第一石墨片之间并分别和与其相邻的两个第一石墨片接触，多个第二间隔块分别被夹持在相邻的两个第二石墨片之间并分别和与其相邻的两个第二石墨片接触；多个舟脚，各舟脚均具有绝缘性，舟脚分别被安装在安装空间中。本实用新型的石墨舟能够改善石墨舟的舟脚的位置产生电弧的情况。
石墨

[实用新型]石墨舟-CN201620544106.2有效
发明人： -专利权人：
申请日： 2016-06-07 - 公布日： 2017-01-04 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种石墨舟，包括位于两端的上舟脚以及下舟脚、位于两侧与下舟脚相连接的直角外舟片、等距设置于两侧直角外舟片之间的若干圆弧角内舟片，圆弧角内舟片与上舟脚相连接，直角外舟片与圆弧角内舟片之间穿插有若干横向设置的陶瓷管，直角外舟片与圆弧角内舟片的两侧分别设置有若干卡点，卡点呈菱形或者两端带有圆弧的矩形，下舟脚上设置有用于清理石墨舟内的硅片残渣的清理机构，清理机构包括吸尘管、与吸尘管通过清理管道相连接的负压风机，吸尘管的两端闭合，吸尘管的侧壁上开设有吸尘口，吸尘口正对石墨舟的空腔，通过设置清理机构能够自动清理石墨舟内的硅片碎片。
石墨

[发明专利]石墨舟-CN201210217045.5无效
发明人：沈文伟 -专利权人：沈文伟
申请日： 2012-06-28 - 公布日： 2014-01-15 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本发明涉及一种PECVD设备的技术领域，尤其是一种石墨舟。其包括舟体、石墨片、插孔、硅片放置区和陶瓷棒，舟体上设有石墨片，石墨片上设有插孔和硅片放置区，插孔内设有陶瓷棒，硅片放置区为镂空型。这种石墨舟结构简单、紧凑并且合理，装配方便快捷，连接可靠，提高了使用的安全性，镀膜沉积快，提高了生产效率，同时提高了镀膜的质量，大大提高了石墨舟工作的可靠性，易于使用推广。
石墨

[实用新型]石墨舟-CN201220306990.8有效
发明人：沈文伟 -专利权人：沈文伟
申请日： 2012-06-28 - 公布日： 2013-01-23 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种PECVD设备的技术领域，尤其是一种石墨舟。其包括舟体、石墨片、插孔、硅片放置区和陶瓷棒，舟体上设有石墨片，石墨片上设有插孔和硅片放置区，插孔内设有陶瓷棒，硅片放置区为镂空型。这种石墨舟结构简单、紧凑并且合理，装配方便快捷，连接可靠，提高了使用的安全性，镀膜沉积快，提高了生产效率，同时提高了镀膜的质量，大大提高了石墨舟工作的可靠性，易于使用推广。
石墨

[实用新型]石墨舟-CN202120649198.1有效
发明人：殷文杰;康剑锋;殷科平;金俊强;吴晓龙;郑博;史鹏程 -专利权人：浙江爱旭太阳能科技有限公司;天津爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技有限公司
申请日： 2021-03-30 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型适用于太阳能电池技术领域，提供了一种石墨舟。石墨舟包括本体和设于本体的三维标识部，三维标识部包括基板和设于基板的多个三维标识件，多个三维标识件在基板的正投影形成二维码，每个三维标识件均包括曲面。如此，多个三维标识件在基板的正投影形成二维码，使得石墨舟可以基于二维码被识别，避免了人工输入的繁琐和易错。这样，有利于石墨舟被高效且准确地识别。
石墨

[实用新型]石墨舟-CN200620051014.7无效
发明人：梁光佳;梁元焕 -专利权人：梁光佳
申请日： 2006-05-18 - 公布日： 2007-04-25 - 主分类号： C01B31/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种石墨舟，这种石墨舟由上下仓组合而成。本实用新型石墨舟可以将WO₃+C+H₂直接碳化生产碳化钨用于实际生产中，能得到粒度均匀、碳量稳定、达到质量标准要求的WC产品；能缩短WO₃与C、H₂的整个反应时间，加快反应速度，在相同的工作时间内增加碳化炉的推舟次数，提高WC的产量；能提高H₂ (氢气)有效利用率，从而减少H₂
石墨

[实用新型]石墨舟-CN202121669440.8有效
发明人：尹士平;郭晨光;黄雪丽;黄治成;熊聪 -专利权人：安徽光智科技有限公司
申请日： 2021-07-21 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： F27D5/00 文献下载
摘要：本公开提供一种石墨舟，其包括石墨本体和石墨挡板，石墨本体具有内周面、外周面、上表面和第一凹槽，第一凹槽具有底面，上表面将内周面和外周面连接，内周面、外周面和底面在轴向的投影为同心的半圆形，第一凹槽在内周面和上表面开口；石墨挡板具有板体，板体的外周面在轴向的投影为半圆形，板体的在周缘处收容于第一凹槽，板体的外周面接触第一凹槽的底面，石墨挡板还具有两限位部，各限位部具有第一限位段，第一限位段从板体的顶表面的一端沿径向向外延伸，第一限位段在石墨本体的上表面处从上方遮挡对应的第一凹槽并抵靠石墨本体的上表面上。无论是石墨挡板围绕轴向试图逆时针旋转还是顺时针旋转都会被限制。
石墨

[外观设计]石墨舟-CN201930582808.9有效
发明人：林佳继;徐栋;刘群;林依婷 -专利权人：深圳市拉普拉斯能源技术有限公司
申请日： 2019-10-25 - 公布日： 2020-07-17 - 主分类号： 08-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：石墨舟。2.本外观设计产品的用途：用于半导体或光伏材料加工过程中放置代加工材料。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。
石墨

[外观设计]石墨舟-CN202030526825.3有效
发明人：朱建平 -专利权人：朱建平
申请日： 2020-09-08 - 公布日： 2021-10-15 - 主分类号： 08-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：石墨舟。2.本外观设计产品的用途：用于盛装物料进行真空高温处理。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：设计1立体图1。
石墨

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