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[实用新型]真空镀膜机-CN202320547291.0有效
发明人：卢鹏;马淑莹 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2023-03-20 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本实用新型属于真空镀膜技术领域，具体公开了一种真空镀膜机。真空镀膜机，包括镀膜机体，镀膜机体内部设置有镀膜腔，还包括真空调节机构，真空调节机构用于调节镀膜腔的真空度，真空调节机构包括：过渡腔体，具有过渡腔、连通口及抽气口，连通口间隔设置有至少两个，且连通口能够连通过渡腔和镀膜腔，抽气口与过渡腔连通；调节组件，至少部分连通口处设置有调节组件，调节组件用于调节对应连通口的开度；真空泵，与抽气口对接，以通过过渡腔对镀膜腔抽真空。本实用新型公开的真空镀膜机，能够在不改变真空泵运行状态的基础上，镀膜过程中实时对真空度进行调节，提高调节效率和调节便利性，且能够提高镀膜腔内的真空均匀性，提高镀膜效果。
真空镀膜

[实用新型]真空镀膜机-CN201821835459.3有效
发明人：王昆 -专利权人：天津富可达塑胶制品加工有限公司
申请日： 2018-11-08 - 公布日： 2019-10-01 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种真空镀膜机，涉及真空镀膜的技术领域，真空镀膜机包括真空镀膜室、蒸发加热装置以及基片固定装置；所述真空镀膜室位于机架上且外接抽真空装置，所述蒸发加热装置和所述基片固定装置均位于所述真空镀膜室内部且为对应设置；所述蒸发加热装置和所述基片固定装置之间设置有用于使薄膜材料喷发均匀的网状物；所述真空镀膜室外部设置有隔热层；所述隔热层外部设置有冷却通道，并且所述真空镀膜室内部与制冷装置连通，以能够同时冷却所述真空镀膜室的内部和外壁本实用新型解决了真空镀膜不均匀冷却不到位的技术问题。
真空镀膜基片固定装置真空镀膜机真空镀膜室加热装置蒸发本实用新型隔热层室内部冷却抽真空装置薄膜材料冷却通道外部设置制冷装置不均匀室外部网状物外壁外接连通

[实用新型]真空镀膜机-CN202320546417.2有效
发明人：裴蓓;渡边优;余龙;吕启蒙;曹永军 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2023-03-20 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空镀膜机，涉及真空镀膜技术领域。该真空镀膜机包括真空镀膜室、导轨和靶材移动小车，靶材移动小车上安装有靶材单元，靶材移动小车滑设于导轨，以使靶材单元能够进出真空镀膜室。靶材单元通过靶材移动小车运送至真空镀膜室内，为真空镀膜提供溅射靶材。在对靶材单元进行维护时，靶材移动小车将靶材单元移出真空镀膜室。
真空镀膜

[发明专利]真空镀膜机-CN201811140551.2在审
发明人：李贵扬 -专利权人：东莞市腹灵竞技电子有限公司
申请日： 2018-09-28 - 公布日： 2018-12-18 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开一种真空镀膜机，真空镀膜机包括镀膜筒体、抽真空装置、供镀膜材料蒸发用的蒸发室以及供镀膜材料裂解用的裂解室，镀膜筒体开设有容置腔，抽真空装置与镀膜筒体的容置腔相连通，裂解室连通于蒸发室和镀膜筒体的容置腔之间，真空镀膜机还包括连通管、收集装置及冷却装置，连通管的首端与容置腔连通，连通管的末端与冷却装置连通，收集装置设于连通管位于镀膜筒体与冷却装置之间的部位上，收集装置还与连通管相连通。使得容置腔内不会积聚有过多的镀膜材料；同时，当镀膜材料从容置腔内被导出并且在连通管内运动的时候，在冷却装置的作用下会聚集并且沉积在收集装置处，便于操作人员后续的处理。
连通管容置腔镀膜筒体真空镀膜机镀膜材料冷却装置收集装置连通抽真空装置裂解室蒸发室导出裂解腔内首端沉积积聚蒸发

[实用新型]真空镀膜机-CN201220720688.7有效
发明人：郑维隆;郑裕泡;李初转;金影群;刘中位 -专利权人：温州百盛工艺品有限公司
申请日： 2012-12-24 - 公布日： 2013-06-19 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：真空镀膜机，包括箱体，所述箱体内设置有真空镀膜室，所述箱体上设置有抽真空接口，所述箱体顶端设置有蒸发控制系统控制器、膜厚控制系统控制器、温度控制系统控制器，所述蒸发控制系统控制器与设置在真空镀膜室内的电弧蒸发装置连接，所述温度控制系统控制器与设置在箱体内的加热器及测温器电连接，所述膜厚控制系统控制器与蒸发装置及设置在真空镀膜室内中部的挡板的驱动装置连接，所述箱体一侧开设有密封门。本实用新型的有益效果：本实用新型提供的真空镀膜机镀膜质量监控及调节系统比较完善，使镀膜层质量提高，不易脱落。
真空镀膜

[实用新型]真空镀膜机-CN202221439703.0有效
发明人：任泽明;余长勇;廖骁飞;吴攀;王号;贺超;唐志奇;杨进仕;杨帆 -专利权人：广东思泉新材料股份有限公司
申请日： 2022-06-09 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： C23C16/509 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空镀膜机，其包括结构本体、料架、电极、镀膜原料发生装置和真空发生装置，所述结构本体具有一镀膜腔室，所述料架和电极各安装于所述镀膜腔室内，所述料架呈托盘式结构，所述料架适于承载一个工件，所述镀膜原料发生装置适于往所述镀膜腔室输送工艺气体，所述真空发生装置与所述镀膜腔室连通并用于使所述镀膜腔室形成真空环境。本实用新型的真空镀膜机具有生产灵活，且加工经济环保的优点。
真空镀膜

[发明专利]真空镀膜机-CN202110693607.2在审
发明人：郑新源;戴铭志;牛晶华;程爽;张莉;袁青松;刘园园 -专利权人：上海天马有机发光显示技术有限公司
申请日： 2021-06-22 - 公布日： 2021-10-12 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请提供了一种真空镀膜机，属于显示屏电子元件镀膜技术领域，该真空镀膜机包括腔体；支撑柱，设置在腔体内；载盘，包括连接部件和载板，载板通过连接部件与支撑柱连接，以使载板可沿支撑柱的轴向转动，载板呈环状并具有第一镂空部本申请所提供的真空镀膜机中第一晶振能够更靠近基板承载区，由于基板放置于基板承载区，因此第一晶振能够更靠近基板，第一晶振检测到的蒸镀速率与镀膜厚度与基板实际的蒸镀速率与镀膜厚度更接近，从而第一晶振能够更准确检测基板的蒸镀速率与镀膜厚度
真空镀膜

[实用新型]真空镀膜机-CN201521109097.6有效
发明人：段元成;毛祖献;容春华 -专利权人：苏州金研光电科技有限公司
申请日： 2015-12-29 - 公布日： 2016-05-25 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空镀膜机，其包括一真空室，所述真空室内设置一用于承载产品的承载支架以及一镀膜用的电子枪，所述承载支架和电子枪之间设置一镀膜材料，其特征在于：包括一中空的防污罩，所述镀膜材料设置在所述防污罩中本实用新型的真空镀膜机在电子枪前加装一个防污罩，挡住向坩埚周围挥发的膜料分子，使真空室衬板保持清洁，在防污罩脏污后更换一个防污罩继续生产，节省了清洁衬板的时间。
真空镀膜

[外观设计]真空镀膜机-CN202030617960.9有效
发明人：廖良生;黄稳;武启飞;李涛 -专利权人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司
申请日： 2020-10-16 - 公布日： 2021-03-30 - 主分类号： 15-09 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：真空镀膜机。2.本外观设计产品的用途：用于真空镀膜。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。
真空镀膜

[外观设计]真空镀膜机-CN202130108455.6有效
发明人：张毅平 -专利权人：苏州凯瑞纳米科技有限公司
申请日： 2021-02-26 - 公布日： 2021-06-22 - 主分类号： 15-09 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：真空镀膜机。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品安用于真空镀膜。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
真空镀膜

[外观设计]真空镀膜机-CN201930732232.X有效
发明人：张小平 -专利权人：深圳市立恒美电子科技有限公司
申请日： 2019-12-26 - 公布日： 2020-06-19 - 主分类号： 15-09 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：真空镀膜机。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于真空镀膜。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
真空镀膜

[实用新型]真空镀膜机-CN201820146490.X有效
发明人：黄启泰;倪颖;任建锋;王毅 -专利权人：苏州六三二八光电科技有限公司
申请日： 2018-01-29 - 公布日： 2018-11-27 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型提供一种真空镀膜机，具体涉及真空镀膜机领域，镀膜机本体包括第一釜体和第二釜体，第一釜体和第二釜体的一端铰接，第一釜体和第二釜体的另一端两侧通过夹具相接，夹具包括中空状的导向筒和转动轴，转动轴贯穿导向筒的侧壁本实用新型不仅夹持牢靠，可方便的将真空镀膜机闭合。
移动块釜体转动轴真空镀膜机夹块导向筒夹具本实用新型闭合镀膜机中空状侧壁齿合夹持铰接贯穿

[实用新型]真空镀膜机-CN201120356043.5有效
发明人：林建利 -专利权人：漳州市天利达计时有限公司
申请日： 2011-09-22 - 公布日： 2012-05-30 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种真空镀膜机，其特征在于：包括半圆柱形镀膜室，所述半圆柱形镀膜室的两侧均铰接有与半圆柱形镀膜室相配合的半圆柱形工件室，所述半圆柱形工件室内设有用于放置工件的工件架，所述工件架的旋转轴由半圆柱形镀膜室上方的电机驱动旋转，所述半圆柱形镀膜室的侧壁上设有用于抽真空的排气口，所述排气口经排气管路与真空气泵相连接，所述半圆柱形镀膜室的底板上设有用于熔融工件架上金属丝的电源接柱。该真空镀膜机的结构简单，不仅镀膜效果好，而且工作效率高。
真空镀膜

[外观设计]真空镀膜机-CN202130800334.8有效
发明人：晏海燕;虞文韬;谢振岗;薛涛;王来泉;王修才 -专利权人：维达力实业(深圳)有限公司
申请日： 2021-12-03 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： 15-09 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：真空镀膜机。2.本外观设计产品的用途：用于真空镀膜。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。5.仰视图为不常见面，省略仰视图。
真空镀膜

[发明专利]真空镀膜机-CN00113303.9无效
发明人：张石权;任小明;黄国兴 -专利权人：张石权;黄国兴
申请日： 2000-03-03 - 公布日： 2001-09-05 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于装饰镀的真空镀膜机,它主要由两个真空室,采用粗、精抽分离的双路排气系统对两个真空室交替排气组成,它占地面积小,设备成本及电力配备比现有的镀膜机下降,且产量由传统的24－30轴/小时提高到
真空镀膜

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