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[发明专利]双面消影氧化铟锡磁控溅射镀膜生产线-CN201410184791.8在审
发明人：郭爱云 -专利权人：红安华州光电科技有限公司
申请日： 2014-05-05 - 公布日： 2014-09-03 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供了一种工作效率高、设计合理的双面消影氧化铟锡磁控溅射镀膜生产线，包括机架，所述机架上依次设置有进口真空腔体、进口缓冲真空腔体、进口过渡腔体、工艺真空腔体、出口真空腔体、出口缓冲真空腔体和出口过渡腔体；所述机架上、贯穿上述腔体设置有触摸屏基片输送带；所述工艺真空腔体为9个，所述每个工艺真空腔体都布置有2对阴极，所述9个工艺真空腔体可布置18对阳极，所述18对阳极中，含有18对Nb2Ox阳极；或1到8对SiOx阳极；或1到6对Ito阳极；所述进口真空腔体内配备有1到2组低真空抽气系统；所述进口缓冲真空腔体和出口缓冲真空腔体内配备1到2组高真空抽气系统；所述工艺真空腔体内配备2到3组维持高真空抽气系统
双面氧化磁控溅射镀膜生产线

[实用新型]双面消影氧化铟锡磁控溅射镀膜生产设备-CN201420224365.8有效
发明人：郭爱云 -专利权人：红安华州光电科技有限公司
申请日： 2014-05-05 - 公布日： 2014-11-26 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种工作效率高、设计合理的双面消影氧化铟锡磁控溅射镀膜生产设备，包括机架，所述机架上依次设置有进口真空腔体、进口缓冲真空腔体、进口过渡腔体、工艺真空腔体、出口真空腔体、出口缓冲真空腔体和出口过渡腔体；所述机架上、贯穿上述腔体设置有触摸屏基片输送带；所述工艺真空腔体为9个，所述每个工艺真空腔体都布置有2对阴极，所述9个工艺真空腔体可布置18对阳极，所述18对阳极中，含有18对Nb2Ox阳极；或1到8对SiOx阳极；或1到6对Ito阳极；所述进口真空腔体内配备有1到2组低真空抽气系统；所述进口缓冲真空腔体和出口缓冲真空腔体内配备1到2组高真空抽气系统；所述工艺真空腔体内配备2到3组维持高真空抽气系统
双面氧化磁控溅射镀膜生产设备

[实用新型]真空缓冲装置、连接装置和柔性太阳能电池生产设备-CN201821167134.2有效
发明人：刘宇;闫风 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2018-07-23 - 公布日： 2019-09-03 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种真空缓冲装置，包括外腔室和缓冲腔体；所述缓冲腔体一端连接真空设备，另一端连接外腔室；所述外腔室一端连接大气环境，另一端连接缓冲腔体；所述外腔室和缓冲腔体连接处设置有第一对辊，所述第一对辊带动膜材输送；所述外腔室面向大气端设有第二对辊，所述第二对辊与外腔室之间设有第一密封圈；所述缓冲腔体内还设置有其他对辊，将缓冲腔体分隔为多个真空腔室，所述多个真空腔室分别与不同的真空泵连接。该真空缓冲装置避免了沉积完吸收层后的收卷步骤，也不需要花时间破真空，从而实现了从吸收层到缓冲层之间的连续生产。
外腔室缓冲腔体对辊一端连接真空缓冲装置真空腔室吸收层密封圈柔性太阳能电池本实用新型真空泵连接大气环境连接装置生产设备真空设备大气端缓冲层缓冲腔破真空膜材收卷沉积分隔体内

[实用新型]具有缓冲对接的真空贴合腔体-CN201921560073.0有效
发明人：黄奕宏;刘驰;秦超;尹国伟;刘瑶林;方明登;韩宁宁;曹术;陈锦杰;杨杰;黄贤波;庄庆波;林锋;黄露;徐星明;温业锋;陈浩;梁继强 -专利权人：深圳市深科达智能装备股份有限公司
申请日： 2019-09-18 - 公布日： 2020-07-24 - 主分类号： B32B37/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空贴合腔体的技术领域，公开了具有缓冲对接的真空贴合腔体，具有缓冲对接的真空贴合腔体，包括上腔体以及下腔体，下腔体处于上腔体的下方，上腔体的上端设有受丝杠驱动上下移动的固定板，上腔体与固定板之间通过缓冲结构连接；丝杠驱动固定板以使上腔体朝向下腔体移动，上腔体与下腔体对接时，缓冲结构起缓冲作用；上腔体通过缓冲结构连接在固定板的下方，随着固定板一起上下移动；下腔体处于上腔体的下方，当丝杠驱动固定板使得上腔体朝向下腔体移动，且上腔体与下腔体对接时，缓冲结构起到缓冲作用，避免上腔体与下腔体之间发生硬性冲击而损坏上腔体和下腔体，对上腔体与下腔体具有保护作用，延长其使用寿命。
具有缓冲对接真空贴合

[发明专利]亚真空低温等离子体在线连续材料处理装置-CN201811310125.9在审
发明人：万京林;李瞳玥;万良淏 -专利权人：南京苏曼等离子科技有限公司
申请日： 2018-11-06 - 公布日： 2019-08-16 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：一种亚真空低温等离子体在线连续材料处理装置，包括放卷机构、亚真空低温等离子体材料处理设备和放卷机构，亚真空低温等离子体材料处理设备包括一个以上的主腔体和多级真空缓冲腔体，主腔体位于中间，各级缓冲腔体对称分布于主腔体两侧，沿着材料的走向依次排布，所述主腔体与缓冲腔体之间或相邻缓冲腔体之间通过隔板封闭，隔板中部设有通孔，亚真空低温等离子体材料处理设备的电极组贯穿主腔体和各缓冲腔体，材料从电极组的放电间隙中穿过，所述主腔体的真空范围为本发明可实现在亚真空环境下，对一定宽幅范围内的材料的连续处理，且相较于常压低温等离子体处理装置对材料具有更好的处理效果，工作效率高，工作稳定。
亚真空主腔体低温等离子体缓冲腔体材料处理设备处理装置隔板放卷机构连续材料电极组常压低温等离子体真空缓冲腔体工作效率高对称分布放电间隙工作稳定连续处理宽幅排布通孔穿过封闭贯穿

[实用新型]亚真空低温等离子体在线连续材料处理装置-CN201821813985.X有效
发明人：万京林;李瞳玥;万良淏 -专利权人：南京苏曼等离子科技有限公司
申请日： 2018-11-06 - 公布日： 2019-11-05 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：一种亚真空低温等离子体在线连续材料处理装置，包括放卷机构、亚真空低温等离子体材料处理设备和放卷机构，亚真空低温等离子体材料处理设备包括一个以上的主腔体和多级真空缓冲腔体，主腔体位于中间，各级缓冲腔体对称分布于主腔体两侧，沿着材料的走向依次排布，所述主腔体与缓冲腔体之间或相邻缓冲腔体之间通过隔板封闭，隔板中部设有通孔，亚真空低温等离子体材料处理设备的电极组贯穿主腔体和各缓冲腔体，材料从电极组的放电间隙中穿过，所述主腔体的真空范围为本实用新型可实现在亚真空环境下，对一定宽幅范围内的材料的连续处理，且相较于常压低温等离子体处理装置对材料具有更好的处理效果，工作效率高，工作稳定。
亚真空主腔体低温等离子体缓冲腔体材料处理设备处理装置隔板放卷机构连续材料电极组常压低温等离子体真空缓冲腔体本实用新型工作效率高对称分布放电间隙工作稳定连续处理宽幅排布通孔穿过封闭贯穿

[发明专利]双极板氦气检漏测试装置及其测试方法-CN202110972827.9在审
发明人：程志国;洪浩祯;蔚永欢 -专利权人：律致新能源科技（上海）有限公司
申请日： 2021-08-24 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： G01M3/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种双极板氦气检漏测试装置，包括：双极板氦气检漏测试装置上方设置上底板半腔部件；在上底板半腔部件的上方，通过密封结构与上底板半腔部件之间形成真空缓冲腔体；在真空缓冲腔体内设置快换工装；真空缓冲腔体与快换工装之间连通；在快换工装的上方通过定位装置固定双极板；双极板贴合在快换工装上，并与快换工装之间密封，通过设置在所述底板半腔部件下方的连通口，进行检漏测试；采用真空缓冲腔体结构，构成真空缓冲腔体，依靠密封结构，将双极板密封在真空缓冲腔体中，利用快换工装安装双极板，对双极板测试进行密封，解决了现有的测试方法，测试时间较长、测试精度低、浪费了大量的能源，抽真空时的功率消耗较大的技术问题。
极板氦气检漏测试装置及其方法

[实用新型]双极板氦气检漏测试装置-CN202122009672.7有效
发明人：程志国;洪浩祯;蔚永欢 -专利权人：律致新能源科技（上海）有限公司
申请日： 2021-08-24 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： G01M3/20 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种双极板氦气检漏测试装置，包括：双极板氦气检漏测试装置上方设置上底板半腔部件；在上底板半腔部件的上方，通过密封结构与上底板半腔部件之间形成真空缓冲腔体；在真空缓冲腔体内设置快换工装；真空缓冲腔体与快换工装之间连通；在快换工装的上方通过定位装置固定双极板；双极板贴合在快换工装上，并与快换工装之间密封，通过设置在所述底板半腔部件下方的连通口，进行检漏测试；采用真空缓冲腔体结构，构成真空缓冲腔体，依靠密封结构，将双极板密封在真空缓冲腔体中，利用快换工装安装双极板，对双极板密封性测试，解决了现有的测试方法，测试时间较长、精度低、浪费了大量的能源，抽真空时的功率消耗较大的技术问题。
极板氦气检漏测试装置

[实用新型]一种防止液体回流的缓冲池装置-CN201821665710.6有效
发明人：林学祥;陈亮;高燕;潘龙龙 -专利权人：深圳湃尔生物科技有限公司
申请日： 2018-10-12 - 公布日： 2019-11-22 - 主分类号： B01J19/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种防止液体回流的缓冲池装置，包括反应杯，所述反应杯连接有缓冲腔体，所述缓冲腔体连接有液体导流管，所述液体导流管连接真空室，所述真空室与缓冲腔体之间安装有开关阀，所述真空室设有废液排出口通过控制缓冲腔体与试剂杯之间的气压相等，防止液体导流管中的液体回流或者试剂杯中的液体下流，污染试剂。
液体导流管缓冲腔体真空室液体回流反应杯试剂杯本实用新型废液排出口控制缓冲污染试剂缓冲池开关阀腔体气压相等

[实用新型]真空腔充气组件-CN201821488833.7有效
发明人：林继柱 -专利权人：君泰创新（北京）科技有限公司
申请日： 2018-09-12 - 公布日： 2019-06-07 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本申请涉及一种真空腔充气组件，用于向真空腔体定义的真空腔内充气，包括充气组件和与所述充气组件密闭连通的充气缓冲管。所述充气组件设置于所述真空腔体，用于向所述真空腔内部注入气体。所述充气缓冲管设置于所述真空腔内，所述充气缓冲管包括管状腔体，所述管状腔体外表面开设有多个匀气通孔组合，所述匀气通孔组合与所述管状腔体连通。上述真空腔充气组件，通过设置所述充气缓冲管，并在所述充气缓冲管的管状腔体开设所述多个匀气通孔组合，可有效地控制气体经过所述充气组件后流入所述真空腔的位置和方向，同时保证充气均匀性。
充气组件真空腔充气缓冲管状腔体通孔匀气真空腔体充气磁控溅射设备位置和方向有效地控制真空腔内部工作效率密闭连通注入气体均匀性节拍连通申请保证

[实用新型]一种微波真空抽气系统-CN201320695254.0有效
发明人：苏许昌;董浩杰;张治宇 -专利权人：河南勃达微波设备有限责任公司
申请日： 2013-11-06 - 公布日： 2014-05-28 - 主分类号： F04B37/14 文献下载
摘要：本实用新型涉及微波真空抽气系统，可有效解决现有的微波真空腔体使用时真空状态不稳定的问题，其解决的技术方案是，包括微波真空腔体，微波真空腔体经管道与缓冲罐相连，缓冲罐经管道与气液分离器相连，缓冲罐与气液分离器之间的管道上装有第一电磁阀，气液分离器经管道与微波真空腔体相连，气液分离器与微波真空腔体之间的管道上装有第二电磁阀，气液分离器上装有进气管和出液管，进气管上装有第三电磁阀，出液管上装有第四电磁阀，缓冲阀与真空泵相连，结构新颖独特，使用效果好，能充分的保证微波真空的真空环境。
一种微波真空系统

[发明专利]一种吸取分离一体的吸唛装置-CN202010387260.4在审
发明人：陈晓升;吴进良 -专利权人：广东慧衣智能科技有限公司
申请日： 2020-05-09 - 公布日： 2020-07-24 - 主分类号： B65H3/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种吸取分离一体的吸唛装置，所述吸唛装置依次包括气嘴、第一和第二真空发生器组件、吸盘、中空结构的腔体和缓冲杆，气嘴设置有气管接头，第二真空发生器组件与腔体连接处设置有第一密封圈，腔体与缓冲杆连接处设置有第二密封圈，腔体和缓冲杆内部还设置有弹簧，缓冲杆远离腔体一侧末端设置有吸盘和垫圈，本发明通过设置气嘴、真空发生器、腔体、缓冲杆和吸盘构成吸唛装置，压缩空气从气嘴进入，通过第一和第二真空发生器组件后逸出，当吸盘被挡住时，腔体内产生负压，令缓冲杆收入腔体，当吸盘吸附的物体脱离时，腔体内负压解除，缓冲杆伸出腔体，操作简单，实用性强，另外密封圈增强气密性，整体体积小、可应用场景广泛。
一种吸取分离一体装置

[实用新型]一种用于餐桌面板的钢化玻璃-CN202021542213.4有效
发明人：肖发坤;王义军;纪文欣;黄奕训 -专利权人：惠州市万业隆玻璃科技有限公司
申请日： 2020-07-30 - 公布日： 2021-04-20 - 主分类号： B32B17/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于餐桌面板的钢化玻璃，包括玻璃板体，玻璃板体内开设有真空腔体，真空腔体内设置有硅胶缓冲垫，硅胶缓冲垫为网体结构，硅胶缓冲垫的底面与真空腔体相抵，硅胶缓冲垫的顶面和真空腔体之间连接有遮挡片相比于现有的钢化玻璃，本实用新型通过板体内的真空腔体以及网体结构的硅胶缓冲垫相互组合的结构，能够在保证玻璃板体轻薄的同时，使得玻璃板体具有良好的隔热和缓冲减震性能。
一种用于餐桌面板钢化玻璃

[实用新型]一种真空缓冲吸收装置-CN201922089096.4有效
发明人：张茂华;胡嗣敏;尹伊 -专利权人：福建博鸿新能源科技有限公司
申请日： 2019-11-28 - 公布日： 2020-08-07 - 主分类号： B01D3/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空缓冲吸收装置，包括真空缓冲罐、金属波纹管、气体吸收罐和真空泵，气体吸收罐罐体内部通过隔板分为上腔体和下腔体，真空缓冲罐通过金属波纹管连通至气体吸收罐罐体的下腔体，下腔体通过连通器与上腔体连通，下腔体上设有液位计，真空缓冲罐上设有第一压力表，气体吸收罐上设有第二压力表，气体吸收罐连接真空泵，本实用新型能避免化工生产减压蒸馏过程中腐蚀性废气进入真空泵，保证工艺过程正常进行，在突发情况下如真空泵停止工作或突然停电下
一种真空缓冲吸收装置

[发明专利]一种电容式触摸屏磁控溅射镀膜生产线-CN201210488658.2有效
发明人：郭爱云;黄国兴;孙桂红;祝海生;梁红;黄乐 -专利权人：湘潭宏大真空技术股份有限公司
申请日： 2012-11-27 - 公布日： 2013-02-27 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种电容式触摸屏磁控溅射镀膜生产线，包括真空镀膜腔体和多个腔体支架，所述的真空镀膜腔体安装在多个腔体支架上，内部设有内传送系统，真空镀膜腔体依次分为进口真空段、进口缓冲真空段、进口过渡真空段、工艺镀膜真空段、出口过渡真空段、出口缓冲真空段和出口真空段七段；每段均设有抽气系统。本发明真空腔体之间采用插板阀隔开，可以实现有效隔断，稳定工艺气体；传送系统采用磁导向，平稳性好；本发明实现了电容式触摸屏连续批量生产，生产效率高。
一种电容触摸屏磁控溅射镀膜生产线

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