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[实用新型]真空系统-CN201620064173.4有效
发明人：谭险峰 -专利权人：成都瑞柯林工程技术有限公司
申请日： 2016-01-22 - 公布日： 2016-08-31 - 主分类号： F04B37/14 文献下载
摘要：真空系统，涉及一种真空系统，尤其涉及一种真空冶炼系统。本实用新型旨在提供一种工作效率高且安全可靠的真空系统。为实现上述目的，本实用新型所提供的真空系统包括真空容器和真空泵，其中位于真空容器和真空泵之间设有气体过滤装置；所述系统中位于真空泵前端设置有将气体温度控制在45℃以下的冷却器。有鉴于此，上述真空系统通过在真空泵前端设置冷却器进而实现提高真空系统的安全可靠性，同时能有效提高真空系统的工作运行效率。
真空系统

[发明专利]真空系统-CN200680035479.6无效
发明人：托马斯·艾泽勒;沃尔特·沙夫 -专利权人： J.施迈茨有限公司
申请日： 2006-08-08 - 公布日： 2008-09-24 - 主分类号： B65G47/91 文献下载
摘要：本发明涉及一种真空系统，特别是真空抓取系统，其具有至少一个用于抓取工件的真空抓取装置和/或真空部件，特别地具有用于检测真空抓取系统和/或部件之一内的状态和用于产生状态数据的传感器，其中所述真空抓取装置和/或至少一个部件设置有能量产生装置，其用于产生未储存在真空系统内的新电能以驱动消耗电能的组件。
真空系统

[发明专利]真空系统-CN201510904072.3有效
发明人： M·迪亚博格;M·库鲁门;R·西多夫;S·西多夫 -专利权人：塞莫费雪科学(不来梅)有限公司
申请日： 2015-12-09 - 公布日： 2018-11-16 - 主分类号： H01J49/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种真空系统，该真空系统包括第一真空室和第二真空室，通过第一真空泵、特别是涡轮分子泵将该第一真空室抽真空，该第一真空室和该第二真空室通过通路连接，其中该通路被密封安排包围，该密封安排包括内部密封件和外部密封件，其中压力通风室位于该内部密封件与该外部密封件之间，该压力通风室通过辅助真空泵抽真空，并且其中该内部密封件的至少一个密封面由该第一或该第二真空室的壁材料组成，特别是该内部密封件通过该第一真空室的壁材料与该第二真空室的壁材料之间的直接接触形成此外，本发明涉及一种质谱系统。
真空系统

[发明专利]真空系统-CN201410145842.6有效
发明人：托拜厄斯·斯托尔;罗伯特·瓦茨;迈克尔·施维赫夫 -专利权人：普发真空有限公司
申请日： 2014-04-11 - 公布日： 2017-04-12 - 主分类号： F16J15/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种真空系统，其具有至少一个真空泵和至少一个容器，其中在真空泵和容器之间设置可拆性的连接部，同时在大气侧设置至少一个弹性密封件并且在真空侧方向上设置至少一个间隙密封件用于密封所述连接部，同时在弹性密封件与间隙密封件之间设有至少一个抽吸通道和
真空系统

[发明专利]真空系统-CN202010890035.2有效
发明人：郝瀚;周亮 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2020-08-28 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： B66C1/02 文献下载
摘要：本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及真空系统，包括正压气路、负压气路和吸附气路，正压气路与负压气路均与吸附气路连通，正压气路在连通吸附气路的一端设置第一阀体，负压气路在连通吸附气路的一端设置第二阀体，第一阀体与第二阀体分别用于控制正压气路与负压气路的通断通过负压与正压气体的配合能够实现吸附气路的真空吸附压力的精确调节，真空系统正常工作时，首选使用正压气路，厂务正压气体比厂务负压耗能耗资少，因此能够节约厂务耗能耗资。
真空系统

[发明专利]真空系统-CN202010474186.X有效
发明人： T·斯托尔;M·施魏格霍费尔;J·霍夫曼;J·L·伯奇 -专利权人：普发真空有限公司;安捷伦科技有限公司
申请日： 2020-05-29 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种真空系统，其包括：优选为涡轮分子泵的真空泵以及至少一个真空室，其中，真空泵包括：至少第一入口、第二入口和共用出口；至少第一泵级和第二泵级，每个泵级包括至少一个布置在共用转子轴上的转子元件，其中第一入口连接至第一泵级的上游端并且第二入口连接至第二泵级的上游端；导向元件，用于防止气体从第一泵级的下游端流向第二入口；导管，其具有导管入口和导管出口，其中导管入口连接到第一泵级的下游端，并且导管出口连接到第二泵级的下游的位置；其中，真空泵的第一入口和第二入口连接到同一真空室
真空系统

[实用新型]真空系统-CN201320647404.0有效
发明人：尹智勇;凌军 -专利权人：上海和鹰机电科技股份有限公司
申请日： 2013-10-18 - 公布日： 2014-05-28 - 主分类号： B01D53/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空系统，其包括一真空箱和一设置在一腔体内的除尘装置，所述真空箱包括一真空泵，所述真空泵和所述除尘装置通过一管路连接装置连通。通过本实用新型的运用，节约了空间，减少了真空系统的安装难度，提高了密封性，降低了噪音。
真空系统

[实用新型]真空系统-CN201320014502.0有效
发明人： M.A.加尔特里;G.T.莱格 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2013-01-11 - 公布日： 2013-10-23 - 主分类号： C21C7/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于抽空冶金处理系统的室（12）的真空系统（10）。所述系统包括用于从室中抽气的真空泵送布置（14），将真空泵送布置与室相连接的前级管道，位于前级管道（16）中用于过滤沿着前级管道从室中抽出的气体的过滤器体积和将真空泵送布置与室相连接且被布置用以根据监测到的除气室或真空系统的特性选择性绕过过滤器体积的旁通管道
真空系统

[实用新型]真空系统-CN201120333830.8有效
发明人：张德强 -专利权人：江门市兆业科技有限公司
申请日： 2011-09-07 - 公布日： 2012-05-23 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空系统，包括并排设置的上密封室和下密封室，所述上密封室通过管路依次接通上室罗茨泵和上室旋片泵，所述上室罗茨泵与上密封室之间的管路上还设有上室精抽阀和上室电阻规，所述上密封室还通过管路接通放气阀
真空系统

[实用新型]真空系统-CN201920425756.9有效
发明人：梅丽荣;宋祥禄;欧阳文武 -专利权人：江西蓝星星火有机硅有限公司
申请日： 2019-03-29 - 公布日： 2019-12-03 - 主分类号： B01D5/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空系统，其包括一级喷射器、一级冷凝器、二级喷射器、二级冷凝器和真空分离罐；所述一级喷射器的喷射口连接有一级冷凝器，所述一级冷凝器的冷凝物出口连接于真空分离罐；所述二级喷射器的进料口连接于所述一级冷凝器的气体出口；所述二级喷射器的喷射口连接有二级冷凝器，所述二级冷凝器的冷凝物出口连接于真空分离罐，所述二级冷凝器的气体出口连接有放空管。本实用新型的真空系统在工作时，一级冷凝器因为有二级喷射器的抽气，因此一级冷凝器的物料不会长时间停留，在二级喷射器中使用不可压缩气体，有一定的推动力，使得物料无法在二级冷凝器中停留，同时没有温度，化学反应速率降低
一级冷凝器二级冷凝器二级喷射器真空分离罐本实用新型冷凝物出口气体出口真空系统喷射口喷射器化学反应不可压缩速率降低停留放空管进料口抽气推动力检修

[外观设计]真空系统-CN202030722261.0有效
发明人：叶锦强 -专利权人：清远钰晨环保新材料有限公司
申请日： 2020-11-26 - 公布日： 2021-04-06 - 主分类号： 23-01 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：真空系统。2.本外观设计产品的用途：一种纸浆模塑产品去吸走水分装置。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
真空系统

[发明专利]真空系统-CN201080036003.0有效
发明人： I.D.斯通斯 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2010-03-30 - 公布日： 2012-05-23 - 主分类号： H01J49/24 文献下载
摘要：本发明提供一种真空系统（12），包括串联连接的多个真空腔室（14，16，18，20）和用于有差别地泵送所述腔室的真空泵送装置（10）。所述真空泵送装置包括：主泵（22），所述主泵具有被连接用于泵送第一真空腔室（14）的入口（23）和用于在大气压处或周围排放的出口（25）；增压泵（24），所述增压泵具有被连接用于泵送第二真空腔室（16）的入口（27）和连接到主泵入口（23）的出口（29）；和次级泵（26，28），所述次级泵具有被连接用于泵送第三真空腔室（18，20）的入口（31，33）和连接到增压泵入口（27）的出口（35，37）。
真空系统

[实用新型]一种真空脱碳装置-CN202220374541.0有效
发明人：霍志东;余学龙;蔡子坚;辛瑞 -专利权人：浙江杭真能源科技股份有限公司
申请日： 2022-02-24 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： C21C7/068 文献下载
摘要：本申请涉及一种真空脱碳装置，包括真空室装置、真空管道系统、真空动力装置、电控系统、介质系统，真空室装置、真空管道系统、真空动力装置依次连通，介质系统包括氩气系统、冷却水系统、氮气系统、氧气系统，电控系统设置有控制器，控制器与真空室装置、真空管道系统、真空动力装置、氩气系统、冷却水系统、氮气系统、氧气系统均连接，真空室装置包括真空盖、真空罐、气动挡板机构、真空加料装置、氧枪装置，真空加料装置、氧枪装置安装在真空盖上并与真空罐连通，氩气系统连通至真空罐内，冷却水系统、氮气系统与真空管道系统连接，气动挡板机构用来防护真空罐上的密封圈，真空动力装置采用机械真空泵组。
一种真空脱碳装置

[实用新型]一种聚己内酯多元醇的真空控制系统-CN201922199104.0有效
发明人：方文拓;沈勇;张泳良 -专利权人：湖南东为化工新材料有限公司
申请日： 2019-12-10 - 公布日： 2020-09-22 - 主分类号： B01J3/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种聚己内酯多元醇的真空控制系统，包括冷凝真空罐、干式真空系统、水环真空系统，水环真空系统与干式真空系统以并联的方式分别与冷凝真空罐连接。水环真空系统由水环真空泵、罗茨真空泵、冷凝器、收集罐组成；干式真空系统由螺杆真空泵、冷凝器和收集罐组成。本实用新型的真空控制系统采用水环真空系统与干式真空系统并联方式配置，在绝对真空高于等于3KPa时使用水环真空系统、绝对真空低于3KPa时切换至干式真空系统。本装置既可以保证真空系统稳定运行又可以保证系统的绝对真空度。该系统操作、控制、使用方便，提高稳定性并提高品质。
一种内酯多元真空控制系统

[发明专利]一种真空传输装置-CN201510009908.3在审
发明人：李学威;赵治国;边弘晔;何书龙;曲征辉;管莉娜 -专利权人：沈阳新松机器人自动化股份有限公司
申请日： 2015-01-06 - 公布日： 2016-08-03 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空传输装置，包括：真空传输系统、真空传输压力调节系统和真空传输温度调节系统；其中，所述真空传输系统，用于真空传输平台提供高真空度；所述真空传输压力调节系统，用于真空传输平台提供稳定的真空度及调节压力；所述真空传输温度调节系统，用于真空传输平台工作环境提供稳定的温度。本发明采用真空传输系统、以及稳定真空传输平台真空度的真空传输压力调节系统，以及稳定真空传输平台环境温度的真空传输温度调节系统；真空传输系统有益于高真空度及高洁净度的获得，真空传输压力调节系统有益于真空度稳定及调节，真空传输温度调节系统有益于真空传输平台传输环境温度的稳定，从而有效提高半导体产品合格率。
一种真空传输装置

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