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- [发明专利]真空发生装置-CN02146158.9无效
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赵镐英
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韩国气压系统有限公司
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2002-10-30
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2003-05-07
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F04F5/20
- 本发明公开了一种制成喷射泵组式的真空发生装置,其用于在吸附单元如真空输送系统的吸附垫中产生负压。该真空发生装置包括多个具有相同形状和结构、紧密排列在壳体内、并排叠置且彼此接触的喷射泵组件。壳体将喷射泵组件固定在真空发生装置内。用于释放喷射泵组件的真空室内负压的真空关闭单元安装到壳体上。真空发生装置还包括与壳体的第一进气口相连的真空打开螺线管阀和与真空关闭单元的第二进气口相连的真空关闭螺线管阀。单个真空打开螺线管阀执行喷射泵组件的真空打开操作,而单个真空关闭螺线管阀执行喷射泵组件的真空关闭操作。因此该真空发生装置具有简单的结构。
- 真空发生装置
- [实用新型]一种流体喷射单元、流体喷射装置以及流体喷射系统-CN201620368808.X有效
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罗璐
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罗璐
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2016-04-27
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2017-01-18
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B05B1/00
- 本实用新型公开一种流体喷射单元,包括真空管、冷媒管、流体管和喷射结构,所述流体管置于所述冷媒管内部,所述冷媒管置于所述真空管内部,所述喷射结构与所述流体管连通,并且所述喷射结构贯穿所述冷媒管和所述真空管的同时,分别与所述冷媒管和所述真空管密封连接。本实用新型还公开一种流体喷射装置,由若干个所述流体喷射单元顺次对接并密封,使其真空管对接后形成真空通道,使其冷媒管对接后形成冷媒通道,使其流体管对接后形成流体通道。本实用新型所述的流体喷射装置,实现了真空环境下进行冷媒传导和流体喷射的完美结合,使流体喷射和冷媒传导都在真空环境下进行。本实用新型同时公开了一种流体喷射装置的制造方法。
- 一种流体喷射单元装置以及系统
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