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[发明专利]监控退火设备出现小颗粒尺寸缺陷的方法-CN201410469249.7在审
发明人：何理;许向辉 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2014-09-15 - 公布日： 2014-12-24 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供一种监控退火设备出现小尺寸颗粒缺陷的方法，用于在半导体设备进行工艺监控，包括；提供监控用半导体衬底以及生产用半导体衬底，所述监控用半导体衬底没有图形；将所述监控用半导体衬底以及生产用半导体衬底按照相同的半导体工艺流程在所述半导体设备中进行半导体工艺；在半导体工艺之后，将所述监控用半导体衬底上形成氧化层；基于形成有氧化层的监控用半导体衬底进行缺陷扫描判断，获得所述半导体设备的小尺寸颗粒缺陷的情况。
监控退火设备出现颗粒尺寸缺陷方法

[发明专利]半导体器件和半导体系统-CN201811183044.7有效
发明人：竹内干;小西信也;土屋文男;岛田将树 -专利权人：瑞萨电子株式会社
申请日： 2018-10-11 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本发明涉及半导体器件和半导体系统，目的在于提供可以消除共因故障的复制监控电路的技术。一种半导体器件具有：第一监控电路，监控半导体器件的温度或电压在正常操作范围内；以及第二监控电路，监控第一监控电路的正常操作。第一和第二监控电路基于不同的原理生成温度或电压的信息。
半导体器件半导体系统

[发明专利]功率半导体电路-CN201410295545.X有效
发明人：哈拉尔德·科波拉;冈特·柯尼希曼;京特·卡岑贝格尔;雅伊尔·多·纳西门托-辛格 -专利权人：赛米控电子股份有限公司
申请日： 2014-06-26 - 公布日： 2018-08-31 - 主分类号： H03K17/687 文献下载
摘要：本发明涉及一种功率半导体电路，其具有：多个电并联的功率半导体开关，其中，功率半导体电路构造成：在其中单个功率半导体开关中对涉及的功率半导体开关的出现在第一和第二负载电流接头之间的功率半导体开关电压进行监控，和驱控单元，其构造用以产生用于驱控功率半导体开关的驱控信号，驱控单元与功率半导体开关的控制接头和第二负载电流接头电连接，其中，共模扼流圈分别电联接在功率半导体开关电压不被监控的功率半导体开关与驱控单元之间，并且没有共模扼流圈电联接在功率半导体开关电压被监控的功率半导体开关与驱控单元之间。本发明的功率半导体电路实现了功率半导体开关间尽可能均匀的电流分布及对其中一个开关上的开关电压的可靠监控。
功率半导体电路

[发明专利]用于清洁印刷装置的装置和方法-CN201880090916.7在审
发明人：达维德·科莱 -专利权人：应用材料意大利有限公司
申请日： 2018-03-22 - 公布日： 2020-10-23 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：一种用于生产半导体电池的设备，所述设备包括：印刷装置，用于在半导体电池上印刷；监控装置，经构造以监控所述印刷的半导体电池的特征；和清洁装置，经构造为用于基于所述半导体电池的监控的特征来清洁印刷装置的至少一个部分
用于清洁印刷装置方法

[实用新型]用于生产半导体电池的设备和用于清洁印刷装置的清洁装置-CN201820392369.5有效
发明人：达维德·科莱 -专利权人：应用材料意大利有限公司
申请日： 2018-03-22 - 公布日： 2019-02-15 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种用于生产半导体电池的设备，所述设备包括：印刷装置，用于在半导体电池上印刷；监控装置，经构造以监控所述印刷的半导体电池的特征；和清洁装置，经构造为用于基于所述半导体电池的监控的特征来清洁印刷装置的至少数个部分
半导体电池印刷装置清洁装置印刷监控装置清洁监控生产

[发明专利]一种半导体器件及其制备方法-CN202111351375.9在审
发明人：杨天应;刘丽娟;吴文垚 -专利权人：深圳市时代速信科技有限公司
申请日： 2021-11-16 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： H01L29/778 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体器件及其制备方法，涉及半导体器件技术领域，本发明的半导体器件，包括衬底，以及设置于衬底上的半导体层，半导体层包括有源区和位于有源区外围的无源区；有源区包括:源极、栅极、漏极，无源区设置有栅极焊盘、漏极焊盘和温度监控焊盘，栅极与栅极焊盘连接，漏极与漏极焊盘连接，还包括设置在温度监控焊盘和源极之间的温度传感器，温度监控焊盘用于连接温度监控电路。本发明提供的半导体器件及其制备方法，能够使得温度传感器的温度变化与半导体器件结温同步，实现准确的温度监控。
一种半导体器件及其制备方法

[发明专利]光刻胶质量检测方法-CN201611008674.1在审
发明人：范荣伟;陈宏璘;龙吟;倪棋梁 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2016-11-16 - 公布日： 2017-04-19 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供一种光刻胶质量检测方法，包括提供形成有膜层结构的监控半导体衬底，所述膜层结构与当前工艺的半导体衬底的膜层结构相对应；利用所述监控半导体衬底进行光刻工艺，所述光刻工艺利用待检测的光刻胶进行；利用刻蚀工艺去除所述待待检测的光刻胶；在刻蚀工艺后，在所述监控半导体衬底上进行半导体薄膜沉积工艺，在所述监控半导体衬底上形成半导体膜层；对所述半导体膜层进行检测，基于检测结果判断光刻胶质量。
光刻胶质检测方法

[发明专利]一种半导体设备的监控方法、装置及系统-CN201910927544.5在审
发明人：汪世军;邢家川;张万龙;王晓峰 -专利权人：深圳赛意法微电子有限公司
申请日： 2019-09-27 - 公布日： 2020-01-31 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体设备的监控方法、装置及系统，应用于监控装置，所述监控方法包括：获取所述半导体生产设备的状态数据，其中，所述半导体生产设备设置有信号采集器及RAAS接口；根据所述状态数据控制显示屏显示对应的状态图标，其中，所述状态图标具有显示特征，以通过所述显示特征识别所述半导体生产设备的当前运行状态。本发明所提供的监控方法通过利用监控装置获取半导体生产设备的状态数据，并根据状态数据控制显示屏显示于状态数据对应的状态图标，以通过状态图标所对应的显示特征识别对应半导体生产设备的运行状态，从而可以通过显示屏及时获知一个或多个半导体生产设备的生产状态，以便及时作出相应半导体生产设备管理措施。
半导体生产设备状态数据状态图标显示特征控制显示屏监控装置运行状态监控半导体设备信号采集器装置及系统管理措施生产状态获知显示屏应用

[发明专利]一种监控电流可调的半导体激光器及封装方法-CN202110714481.2在审
发明人：晏骁哲 -专利权人：山东华光光电子股份有限公司
申请日： 2021-06-25 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： H01S5/0683 文献下载
摘要：本发明涉及一种监控电流可调的半导体激光器及封装方法，属于半导体激光器封装技术领域。包括激光器和PD芯片，激光器内设置有PD芯片，通过PD芯片接收激光器芯片后腔面漏光，感光产生监控电流。本发明在半导体激光器内部安装PD芯片，通过PD芯片接收激光器芯片后腔面漏光，感光产生监控电流，根据监控电流大小确认半导体激光器出光功率变化，并且可以调节监控电流大小，保证监控效果的同时确保半导体激光器的正常使用
一种监控电流可调半导体激光器封装方法

[发明专利]离子注入设备及监控方法-CN201610608697.X有效
发明人：邱裕明;肖天金 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2016-07-29 - 公布日： 2018-08-24 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明提供一种离子注入设备及其监控方法，包括：工艺腔体和位于工艺腔体内的承载台，所述承载台用于放置监控半导体衬底，还包括：电磁场提供单元，设置在承载台的两侧，用于在承载台两侧形成电磁场，所述电磁场用于在监控离子注入设备时过滤离子束中的二次电子；接地单元，用于在监控离子注入设备时将监控半导体衬底接地；电子计数器，与所述接地单元电连接，用于在监控离子注入设备时计算监控半导体衬底中的掺杂离子的剂量。本发明解决了利用监控半导体衬底进行高能离子注入监控时由于半导体衬底自身差异、退火工艺不稳定、测量机台不稳定等外界干扰，并且，能够检测检测半导体衬底中实际的掺杂离子的剂量。
离子注入设备监控方法

[实用新型]一种适用于半导体机台的远程控制装置-CN202122844154.7有效
发明人：耿庆栋;吴芳梅;沈光;于朋飞 -专利权人：杭州银湖冠天智能科技有限公司
申请日： 2021-11-18 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： G05B19/042 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种适用于半导体机台的远程控制装置，包括若干台半导体机台，半导体机台的输出端通过交换机与控制装置的输入端相连，还包括有远程监控装置，远程监控装置的监控端通过交换机与半导体机台的受控端相连，控制装置和远程监控装置为独立的装置；远程监控装置包括远程处理模块、远程报警模块、远程操控模块以及远程监控模块，远程监控模块的输入端通过交换机与半导体机台的输出端相连，远程监控模块的输出端与远程处理模块的输入端相连，远程处理模块的输出端与远程报警模块的输入端相连，远程操控模块的控制端通过远程处理模块和交换机与半导体机台的受控端相连。本实用新型可以实现对设备的监控和操控，提高远程协调性。
一种适用于半导体机台远程控制装置

[发明专利]一种用于半导体制造流程的动态监控方法及系统-CN202210143870.9有效
发明人：邹明蓓;朱佰喜;薛抗美;蒋彪;蒋旭霞 -专利权人：广州志橙半导体有限公司
申请日： 2022-02-17 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G06Q10/0639 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于半导体制造流程的动态监控方法及系统，其方法包括：确定待制造半导体，并从制造流程数据库中调取待制造半导体的制造流程，并获取制造流程中的制造指标；按照制造指标对待制造半导体相关的历史制造数据进行类型分析，得到每个制造指标的历史数据集，并基于数据分析模型，确定对应制造指标存在的制造异常事件；确定对应异常指标在制造流程中的贯穿流程线，并基于制造异常事件确定贯穿流程线中的异常线程段，并构建异常线程段的异常监控集合；将异常监控集合以及正常监控集合，构建待制造半导体的动态监控集合，实现对待制造半导体在制造过程中的动态监控。通过异常分析，确定异常线程段，并设置监控集合，实现有效动态监控。
一种用于半导体制造流程动态监控方法系统

[发明专利]具有实时温度监控功能的功率半导体器件及其制作方法-CN202111557640.9在审
发明人：胡盖;黄传伟;李健 -专利权人：江苏东海半导体科技有限公司
申请日： 2021-12-19 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： H01L23/544 文献下载
摘要：本申请公开了一种具有实时温度监控功能的功率半导体器件及其制作方法，涉及半导体技术领域，所述功率半导体器件包括：功率半导体芯片和热电偶元件；所述功率半导体芯片的划片道区域中设置有至少一个沟槽；所述热电偶元件设置在所述沟槽中；所述功率半导体芯片的源极和栅极对应连接至封装管脚，所述热电偶元件的正负极用于与外部器件连接。解决了现有技术中不能实时监控器件内部的温度进而导致现有的功率半导体器件会存在热失效的问题，达到了可以实时监控温度，进而避免功率半导体器件热失效的效果。
具有实时温度监控功能功率半导体器件及其制作方法

[实用新型]一种基于web的自动化智能监控系统-CN201520860012.1有效
发明人：魏亚东;李康 -专利权人：南京汉森思物联网科技有限公司
申请日： 2015-10-30 - 公布日： 2016-06-01 - 主分类号： H04N7/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于web的自动化智能监控系统，包括服务器终端、多个数据采集终端和多个web移动监控终端，所述数据采集终端通过服务器终端连接web移动监控终端；所述数据采集终端包含微控制器模块以及与微控制器模块连接的半导体制冷模块、温度传感器、显示模块和电源模块；所述半导体制冷模块包含依次连接的半导体热端、P型半导体、N型半导体和半导体冷端,本实用新型将传统的LED灯管散热控制与移动多媒体技术相结合，真正实现了移动视频监控。
一种基于 web 自动化智能监控系统

[实用新型]一种监控设备的温控结构和监控设备-CN201621380603.X有效
发明人：陈健;张烁;谢东杰 -专利权人：浙江大华技术股份有限公司
申请日： 2016-12-15 - 公布日： 2017-07-14 - 主分类号： G05D23/20 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种监控设备的温控结构和监控设备，用以提高监控设备的散热效果，便于图像传感器在合适的温度下工作。一种监控设备的温控结构，监控设备包括壳体，设置在壳体内的图像传感器，监控设备的温控结构包括位于壳体内的供电单元；位于壳体内、且与供电单元电连接的半导体制冷器，半导体制冷器的第一接点处与图像传感器导热连接，半导体制冷器的第二接点处与壳体导热连接。本实用新型提供的监控设备的温控结构，通过设置半导体制冷器以及直接将半导体制冷器设置为与图像传感器导热连接，可以通过半导体制冷器直接给图像传感器制冷或加热，便于图像传感器在合适的温度下工作。
一种监控设备温控结构

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