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- [发明专利]差压传感器-CN202111440699.X在审
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谢一飞;郭飚;刘文斌;孙建;佟志权;成广权;郑成科
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浙江中控技术股份有限公司;浙江中控传感技术有限公司
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2021-11-30
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2022-04-05
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G01L13/06
- 本发明提供了一种差压传感器,包括基座、中心膜片、测量电容极板和参考电容极板:中心膜片将腔体分隔成第一测量腔室和第二测量腔室,第一测量腔室和第二测量腔室分别与第一通道孔和第二通道孔连通;第一测量腔室和第二测量腔室内部填充有绝缘介质;测量电容极板和参考电容极板之间绝缘连接;测量电容极板设置在中心膜片两侧且靠近中心膜片的中心区域并形成测量电容,其中,测量电容的数量不少于两个;参考电容极板设置在中心膜片两侧且远离中心膜片的中心区域并形成参考电容,其中,参考电容的数量不少于两个。本发明中通过增加参考电容,并且将参考电容设置在远离中心膜片的中心区域的位置,基本能消除由于温度变化和静压变化导致的测量误差。
- 传感器
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