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- [发明专利]平板玻璃表面的异物检测装置-CN201010141431.1无效
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金贤祐;朴晋弘;金台皓;李昌夏
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三星康宁精密素材株式会社
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2010-03-25
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2011-08-03
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G01N21/956
- 本发明涉及平板玻璃表面的异物检测装置，包括：A面激光束照射装置，从平板玻璃的A面的上部朝向A面，以A面的法线向量为基准且以第一角度照射已向S方向偏光的第1波长的激光束；A面摄像装置，对将激光束照射至平板玻璃的A面上的部位进行拍摄，该激光束是从A面激光束照射装置而照射；B面激光束照射装置，从平板玻璃的A面的上部，以A面的法线向量为基准且以比第一角度更小的第二角度而朝向所述A面照射第2波长的激光束，所述第2波长的激光束是被照射的激光束的大部分在平板玻璃的厚度方向上透过后所得；B面摄像装置，对将激光束照射至平板玻璃的B面上的部位进行拍摄，该激光束是从B面激光束照射装置而照射；以及检测信号处理部。
- 平板玻璃表面异物检测装置
- [发明专利]激光焊接装置以及激光焊接方法-CN200510126955.2无效
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星野要二
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日本先锋公司;日本先锋自动化公司
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2005-11-29
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2006-06-07
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B23K26/20
- 本发明提供一种激光焊接装置和激光焊接方法，可以不延长操作时间而热平衡良好地对工件进行激光焊接。一种激光焊接装置，对工件照射激光束而进行焊接，包括：以规定的脉冲周期射出激光束的激光束射出单元、和按脉冲周期改变对工件照射激光束的位置的照射位置改变单元，照射位置改变单元改变照射激光束的位置，以不在照射激光束的位置的附近连续地照射激光束由此，激光焊接装置，由于在单位时间内对工件的大致同一部分照射激光束的次数减少，因而可以相对工件热平衡良好地进行焊接。此外，由于可以不延长激光束的脉冲周期而减少对工件的大致同一部位照射的次数，因而不会延长焊接操作所需要的时间。
- 激光焊接装置以及方法
- [发明专利]激光焊接装置以及激光焊接方法-CN200510126954.8无效
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星野要二
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日本先锋公司;日本先锋自动化公司
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2005-11-29
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2006-06-07
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B23K26/20
- 一种激光焊接装置和激光焊接方法，可以不延长操作时间而热平衡良好地对工件进行激光焊接。一种激光焊接装置，对多个工件照射激光束而进行焊接，包括：以规定的脉冲周期射出激光束的激光束射出单元、和改变对工件照射激光束的位置的照射位置改变单元，照射位置改变单元改变照射激光束的位置，以使连续进行的激光照射对不同的工件进行，也就是不对同一工件连续地照射激光束。由此，激光焊接装置，由于使一个工件在单位时间内照射激光束的次数减少，因而可以相对工件热平衡良好地进行焊接。此外，由于可以不延长激光束的脉冲周期而减少对一个工件照射激光束的次数，该照射次数减少的部分用于对其他工件进行照射，因而不会延长焊接操作所需要的时间。
- 激光焊接装置以及方法
- [发明专利]激光加工装置-CN200710091637.6有效
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大庭龙吾
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株式会社迪斯科
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2007-04-03
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2007-10-10
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B23K26/06
- 一种激光加工装置，其包括：用于夹持工件的卡盘台；用于对夹持在卡盘台上的工件照射激光束的激光束照射装置；以及用于使卡盘台和激光束照射装置相对于彼此移动的加工进给装置。其中，激光束照射装置包括用于振荡激光束的激光束振荡装置和用于会聚由激光束振荡装置振荡的激光束的聚光器。该聚光器包括：与夹持在卡盘台上的工件相对的聚光透镜；沿激光束照射方向布置在聚光透镜的上游侧的圆柱形透镜；以及用于调节聚光透镜和圆柱形透镜之间的间隙的间隙调节机构。
- 激光加工装置
- [发明专利]晶片的激光加工方法-CN201810295763.1有效
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伴祐人
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株式会社迪思科
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2018-03-30
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2021-10-08
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B23K26/362
- 提供晶片的激光加工方法，抑制因先行的激光束的照射而产生的碎屑等对后续的激光束照射造成妨碍。晶片的激光加工方法使用激光加工装置对晶片进行加工，该晶片由呈格子状设定于正面的多条分割预定线划分，该激光加工装置具有激光束照射单元，该激光束照射单元通过聚光透镜对保持于卡盘工作台的晶片照射由激光束振荡器振荡并由激光束分支单元分支而形成的多个激光束，该晶片的激光加工方法具有加工槽形成步骤，沿着该分割预定线对该晶片照射该多个激光束，在该晶片上形成沿着该分割预定线的加工槽，在该加工槽形成步骤中，使由该激光束分支单元分支而得的该多个激光束呈列状排列在与该多个激光束所照射的该分割预定线的延伸方向非平行的方向上
- 晶片激光加工方法
- [发明专利]激光照射装置-CN201580084314.7有效
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铃木章义;谷山实;若林理
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极光先进雷射株式会社
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2015-12-25
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2022-09-16
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H01L21/268
- 本公开提供一种激光照射装置，其可以具备：照射头部，包括对被照射物照射激光束的第一照射头和第二照射头；激光装置部，包括输出第一激光束的第一激光装置和输出第二激光束的第二激光装置；射束传输部，配置在激光装置部与照射头部之间的光路上，并且切换第一激光束与第二激光束的光路，以使第一激光束和第二激光束的任何一个射入第一照射头和第二照射头的任何一个；第一射束特性可变部，配置在第一激光装置与照射头部之间的光路上；以及第二射束特性可变部，配置在第二激光装置与照射头部之间的光路上
- 激光照射装置
- [发明专利]利用激光的干式净化系统-CN200610083672.9无效
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李锺明
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株式会社IMT
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2006-06-02
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2007-04-04
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B23K26/36
- 本发明是关于利用激光清除洗净对象的污染物的干式净化系统，目的是提供一种利用光能－激光有效地清除洗净对象的污染物，尤其是清除半导体测试座接触部表面的污染物的干式净化系统。根据本发明，利用激光的干式净化系统由以下几个部分组成：激光发生装置：产生激光束；激光束传输装置：传送从上述激光发生装置产生的激光束；激光束照射装置：调整通过上述激光束传输装置传送的激光束的形态，并对洗净对象照射已经过调整的激光束；扫描装置：调整上述激光束照射装置的激光束的照射位置。
- 利用激光净化系统
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