“激光干涉光刻系统”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果5264535个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]激光干涉光刻系统-CN201911050180.3有效
发明人：王磊杰;朱煜;张鸣;徐继涛;李鑫;成荣;杨开明;胡金春 -专利权人：清华大学;北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2019-10-31 - 公布日： 2020-11-24 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明属于光学仪器仪表设备技术领域，公开了一种激光干涉光刻系统，包括激光器、第一反射镜、光栅分束器、第二反射镜、第一万向反射镜、第一透镜、第二万向反射镜、第二透镜、分光棱镜、控制模块、角度测量模块、第三透镜和基底；所述控制模块包括信号处理端、控制器和驱动器，信号处理端与角度测量模块连接，控制器分别与信号处理端和驱动器连接，驱动器分别与第一万向反射镜和第二万向反射镜连接；激光器发出光源经过该系统分成两束光聚焦在基底上曝光本发明以扫描干涉光刻方式制作的光栅尺寸不会受到曝光光斑大小的限制，可制造出大尺寸的渐变周期光栅。
激光干涉光刻系统

[发明专利]激光干涉光刻中的曝光光束相位测量方法和光刻系统-CN201911050178.6有效
发明人：王磊杰;朱煜;张鸣;徐继涛;成荣;李鑫;杨开明;胡金春 -专利权人：清华大学;北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2019-10-31 - 公布日： 2020-10-13 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明属于光学仪器仪表设备技术领域，公开了一种激光干涉光刻中的曝光光束相位测量方法，从激光干涉光刻的曝光光束中分离出测量光输入激光相位测量干涉仪对激光干涉光刻的曝光光束进行相位测量，再引入与激光干涉光刻曝光光束同源的参考光束也输入激光相位测量干涉仪，由激光相位测量干涉仪处理形成干涉测量光信号，进行解算得到激光干涉光刻的曝光光束的相位。本发明公开了一种激光干涉光刻系统，包括激光相位测量干涉仪、控制器和相位调制器，采用前述激光干涉光刻中的曝光光束相位测量方法，用激光相位测量干涉仪测量曝光光束相位是否漂移，由控制器控制相位调制器进行相位调制
激光干涉光刻中的曝光光束相位测量方法系统

[发明专利]紫外激光干涉条纹的辅助检测装置及方法-CN201110001219.X无效
发明人：郑凯;赵懿昊;李全宁;熊聪 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2011-01-05 - 公布日： 2011-08-03 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种紫外激光干涉条纹的辅助检测装置及方法。该辅助检测装置在紫外激光全息光刻系统中增加了一套可见性的激光光路，在确定可见激光波长和紫外激光波长的关系后，通过观察可见激光的干涉条纹来对紫外激光干涉条纹周期进行检测，从而简化了在紫外光全息光刻系统中检测紫外激光干涉条纹的过程，缩短了全息光刻工艺的周期，并降低了光刻工艺的成本。
紫外激光干涉条纹辅助检测装置方法

[发明专利]一种激光干涉光刻系统-CN201811433077.2有效
发明人：顾芯铭;刘雨哲;周延民 -专利权人：吉林大学
申请日： 2018-11-28 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请属于微纳结构技术领域，特别是涉及一种激光干涉光刻系统。现有的激光干涉光刻系统分光后光强不相等，分光元件太多，调整困难，系统可靠性低。本申请提供了一种激光干涉光刻系统，包括依次排列的双束激光产生组件、若干光束整形组件和若干干涉组件；所述双束激光产生组件包括若干光束产生单元，所述光束产生单元之间设置有偏振镜和Q开关；所述光束整形组件包括依次排列的扩束准直单元和光束整形单元；所述干涉组件包括分光单元和偏振态调制单元。分光后光强相等，分光元件简洁，容易调整，系统可靠性高。
一种激光干涉光刻系统

[发明专利]光栅基板表面光刻胶涂层在线扫描曝光预处理装置及方法-CN202110184852.0有效
发明人：曹红超;晋云霞;邵建达;孔钒宇;张益彬;王勇禄;汪瑞;王云坤 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2021-02-10 - 公布日： 2021-09-07 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种双光束干涉曝光系统中光栅基板表面光刻胶涂层在线扫描曝光预处理装置，包括：连续紫外激光光源，用于对光栅基板表面光刻胶涂层进行曝光；双光束干涉曝光系统；干涉场扫描测量系统，用于对干涉曝光场的强度分布进行二维扫描测量；扫描曝光预处理系统，将来自连续紫外激光光源的激光光束调制为具有一定空间强度分布和一定宽度的线激光束，并辐照在待处理光栅基板涂覆光刻胶的光刻胶面上。通过控制空间光调制器输出强度分布和一维位移台扫描速度实现光刻胶纳米涂层不同位置、不同曝光剂量的预处理。本发明解决了双光束干涉曝光技术制备衍射光栅中因干涉光束强度分布不均匀导致的光栅掩膜不均匀性的技术难关。
光栅表面光刻涂层在线扫描曝光预处理装置方法

[发明专利]一种激光干涉光刻系统及硅透镜阵列制备方法-CN202210922160.6在审
发明人：吴青晴;邹快盛 -专利权人：苏州大学
申请日： 2022-08-02 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请属于光学技术领域，提出了一种激光干涉光刻系统及硅透镜阵列制备方法，利用激光干涉光刻系统，将微结构图形分批依次写入光刻胶中，再通过后续的显影、热熔、刻蚀工艺加工出大口径的硅透镜阵列；激光干涉光刻系统中利用角度微调楔角镜和相位补偿楔角镜调节全息光路中光束的相对位置改变干涉条纹的间距与占空比本申请激光干涉光刻系统可调整性强、曝光面积大，可一次曝光出大口径的硅基片，最终硅透镜的尺寸最小可达到几百纳米，单次曝光可制作的硅透镜数量多，成本大幅降低，工程实用性强。
一种激光干涉光刻系统透镜阵列制备方法

[发明专利]一种激光曲面加工系统及超疏水、防覆冰和减风阻的制造方法-CN202010992361.4在审
发明人：王作斌;刘日;李理;于化东;许金凯;董莉彤;翁占坤;姜晓琳;迟振东;曹亮;徐征;王璐;宋正勋;许红梅 -专利权人：长春理工大学
申请日： 2020-09-21 - 公布日： 2021-01-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及激光曲面光刻技术领域，提供了一种激光曲面加工系统及超疏水、防覆冰和减风阻的制造方法。本发明利用带有动态聚焦功能的激光扫描系统和激光干涉光刻系统在异形曲面工件上制备图案化复合结构，首先设计特殊功能图案并导入带有动态聚焦功能的激光扫描系统，在曲面上加工出一级图案化结构；再利用五轴位移组件和激光干涉光刻系统，通过对激光干涉光场的控制，在制备的一级图案化结构上获得二级周期结构。
一种激光曲面加工系统疏水防覆冰减风阻制造方法

[发明专利]一种具有图形锁定功能的激光干涉光刻系统-CN201310017803.3有效
发明人：张鸣;朱煜;王磊杰;刘召;杨开明;胡金春;尹文生;穆海华;胡楚雄;徐登峰;成荣 -专利权人：清华大学
申请日： 2013-01-17 - 公布日： 2013-05-08 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种具有图形锁定功能的激光干涉光刻系统，包括激光器、反射镜、分束器、基底台、基底和图形锁定装置；激光器出射的激光经分光镜分为曝光光束和参考光束，曝光光束经分束器后利用反射镜折光在基底台承载的基底上实现干涉，干涉图形通过曝光基底实现图形记录转移；为防止曝光期间图形漂移，光刻系统利用图形锁定装置进行图形锁定。该激光干涉光刻系统具有结构简洁、图形锁定精度高等优点，是实现大面积高精度光栅制造的关键系统。
一种具有图形锁定功能激光干涉光刻系统

[发明专利]采用激光干涉光刻技术制作自清洁表面结构的方法和系统-CN201010101488.9无效
发明人：王作斌;张锦;宋正勋;翁占坤;徐佳;刘国强 -专利权人：长春理工大学;中国科学院光电技术研究所
申请日： 2010-01-27 - 公布日： 2010-09-29 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种采用激光干涉光刻技术制作自清洁表面结构的方法及系统，其特征是用激光干涉光刻系统，将多个相干激光束组合，对干涉场内的光强度分布进行强弱调制，用调制后重新分布的激光能量烧蚀光件材料表面，在大面积范围内产生微米或纳米级密集的柱形或锥形浮雕结构，从而获得超疏水膜，极大地降低粘滞现象，有利于材料表面附着物如灰尘及液体等脱离材料表面，形成自清洁功能，用该方法在材料表面产生的自清洁微细结构，由于没有外来材料，更稳定耐用，并且通过调整干涉光刻系统入射角可以连续调整结构的周期和尺寸从纳米到微米级
采用激光干涉光刻技术制作清洁表面结构方法系统

[发明专利]一种激光倏逝波近场干涉量子光刻制备纳米阵列的方法-CN202111254057.0有效
发明人：黄小平;颜子龙;昌竹;彭奉江;杨镇源;陈若童;赵青 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2021-10-27 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光倏逝波近场干涉量子光刻制备纳米阵列的方法，属于光电技术领域。该方法首先将金属离子与稀土离子掺杂到光刻胶中，得到可在倏逝驻波光的作用下实现量子空间限制作用的复合离子掺杂光刻胶；然后将复合光刻胶旋涂在衬底上，通过多次旋涂和烘干，得到均匀、厚度较薄的光刻胶镀膜；再通过构建激光倏逝驻波近场干涉量子光刻系统，基于近场周期倏逝驻波光场与掺杂光刻胶的量子多光子曝光原理，进行激光倏逝驻波近场干涉量子光刻，得到纳米阵列。
一种激光倏逝波近场干涉量子光刻制备纳米阵列方法

[发明专利]激光干涉纳米光刻中光束入射姿态检测及校准的方法和系统-CN201010511168.0有效
发明人：宋浩;王作斌;徐佳;翁占坤;宋正勋;胡贞;刘兰娇 -专利权人：长春理工大学
申请日： 2010-10-19 - 公布日： 2011-05-04 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种在激光干涉纳米光刻中对光束入射姿态进行检测及校准的方法，其特征在于：在激光干涉纳米光刻中，使用CCD检测每束激光在光刻样品表面形成的光斑并进行计算机图像处理，通过光斑的形状、位置等参数来确定激光束相对于光刻样品表面的入射姿态使用系统的调节装置对光束入射姿态进行相应的校准。在这种方法中，使用CCD检测光斑，计算机处理并确定多束光入射姿态，因此可以精确地检测到激光束相对于光刻样品表面的入射位置、入射角及空间角，使得入射光校准能够保证最终的光刻图案及曝光面积符合设计。该方法安装/操作简单、检测/校准快速，有利于激光干涉纳米光刻在工业生产中的应用。
激光干涉纳米光刻光束入射姿态检测校准方法系统

[发明专利]激光干涉光刻技术制作过滤膜网孔结构的方法和系统-CN201010279175.2有效
发明人：刘洋;王作斌;赵乐;刘兰娇;徐佳;侯煜;翁占坤;宋正勋;胡贞 -专利权人：长春理工大学
申请日： 2010-09-13 - 公布日： 2011-02-23 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种采用激光干涉光刻技术制作过滤膜网孔结构的方法和系统，本系统利用激光干涉光刻技术不同的曝光方法会产生不同间距的图形。通过特定的光束组合方式，来调控干涉场内的光强度分布，用调制后重新分布的激光能量烧蚀被加工材料表面，从而产生光刻图形。本系统由激光器，扩束器，分束器，反射镜，偏振片及上述光学元器件装置的夹持与调节机构所组成，通过变换光学器件的相对摆放位置，改变照射到基片材料表面的相干光束的入射角，从而调整被加工材料表面的微细网孔结构的参数该系统可实现光刻特征尺寸从几纳米到几百微米可调。通过光学移相或机械位移样品，重复曝光或多次曝光插补以实现高密度微纳米过滤膜网孔结构。
激光干涉光刻技术制作滤膜网孔结构方法系统

[发明专利]一种激光双光束干涉光刻系统-CN201711012685.1在审
发明人：严伟;高洪涛;田鹏;李凡星;彭伏平;刘俊伯;何渝;杨帆;吴云飞 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2017-10-25 - 公布日： 2018-01-30 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开一种激光双光束干涉光刻系统，结合激光场调制技术，通过一次曝光或者多次曝光实现大面积、多样化周期结构和复杂结构的快速纳米尺度的加工。该系统包括利用数字微镜元件实现光线选通，空间光调制器或者变形镜调制一路入射光相位，控制调制光和参考光入射空间角，大大增加干涉光束入射角调节自由度和范围，为获得干涉图样的多样性提供了基础。通过本发明的双光束干涉光刻系统，可以在光刻胶上制备周期性或者复杂结构大面积快速纳米结构。
一种激光光束干涉光刻系统

[发明专利]一步织构化改性钛合金种植体表面的激光干涉纳米光刻系统-CN201710033379.X在审
发明人：李文君;王作斌;梁铂坚;曹亮;董莉彤;宋正勋;翁占坤;许红梅 -专利权人：长春理工大学
申请日： 2017-01-18 - 公布日： 2017-06-13 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种一步织构化改性钛合金种植体表面的激光干涉纳米光刻系统，包括大功率激光器、分光系统、波片和偏振片，其特征在于激光干涉纳米光刻系统将二束光相干涉，根据植入位置的不同，控制干涉光束参数，利用二光束激光干涉产生的凹槽图案直接加工钛合金种植体表面
一步织构化改性钛合金种植体表激光干涉纳米光刻系统

[发明专利]一种激光干涉光刻系统-CN201310017811.8有效
发明人：朱煜;王磊杰;张鸣;刘召;杨开明;胡金春;尹文生;穆海华;胡楚雄;徐登峰;成荣 -专利权人：清华大学
申请日： 2013-01-17 - 公布日： 2013-05-08 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种激光干涉光刻系统，用于大面积光栅制造的激光干涉光刻系统。该系统包括激光器、反射镜、分束器和基底台等。激光器出射的激光经反射镜、分束器后分为两束干涉光束，干涉光束经反射镜在基底台承载的基底上实现合光干涉，干涉图形通过曝光基底实现图形记录转移；为防止曝光期间图形漂移，该系统利用一种基于零差测量原理的图形锁定装置进行干涉图形相位锁定本发明具有结构简洁、图形锁定精度高等优点，是实现大面积高精度光栅制造的关键系统。
一种激光干涉光刻系统

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
下一页»
尾页
共 100000 条