专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种用于光阻喷嘴的清洗槽体结构及其应用-CN201410174612.2有效
  • 汪武平;毛智彪;杨正凯 - 上海华力微电子有限公司
  • 2014-04-28 - 2014-07-30 - B08B3/02
  • 一种用于光阻喷嘴的清洗槽体结构及其应用,包括清洗槽壳体、防清洗飞溅腔、喷嘴清洗腔、清洗排出口、清洗管路、新增清洗管路、氮气吹扫管路和负压抽气管路;清洗沿清洗管路和新增清洗管路向喷嘴清洗腔内部偏下的方向冲洗喷嘴头部,使喷嘴头部得到全面的清洗;倾斜布置的氮气吹扫管路和负压抽气管路能减少清洗飞溅到防清洗飞溅腔的情况,并能防止清洗或者最终清洗残留在喷嘴清洗腔内。本发明的槽体结构及其应用既能保证喷嘴头部的清洗效果,也能避免污染物的残留,保证光阻喷嘴喷光阻时的质量不受影响。
  • 一种用于喷嘴清洗结构及其应用
  • [发明专利]研磨系统及研磨方法-CN202110536151.9在审
  • 闵源;徐永 - 广州粤芯半导体技术有限公司
  • 2021-05-17 - 2021-08-03 - B24B37/04
  • 所述研磨系统包括研磨装置和清洗供给装置,所述研磨装置具有研磨垫,所述清洗供给装置用于提供清洗研磨垫的清洗;其中,清洗供给装置包括加热控制单元,所述加热控制单元用于调控清洗的温度,使得注入到研磨垫上的清洗的温度在高于室温的设定温度范围内利用该清洗供给装置提供的高于室温的清洗清洗研磨垫,可以有效去除研磨垫表面的残留物,有助于提高清洁效果和研磨质量。所述研磨方法采用上述的研磨系统,在清洗前将清洗的温度调控到高于室温的设定温度范围内,可以有效去除研磨垫表面的残留物,有助于提高清洁效果和研磨质量。
  • 研磨系统方法
  • [实用新型]模具清洗设备-CN201220697016.9有效
  • 滑鹏高;任富疆 - 天津联欣盈塑胶科技有限公司
  • 2012-12-14 - 2013-05-22 - B29C33/72
  • 一种模具清洗设备,包括清洗箱、清洗出液管、清洗回流管,净水箱、净水出水管、净水回流管和电机;清洗箱、清洗出液管、模具管道和清洗回流管形成清洗循环管道,净水箱、净水出水管和净水回流管形成净水循环管道;电机与换向阀连接,换向阀分别连接清洗出液管和模具管道。本实用新型可有效地清理管道内残留的污垢,以提高模具的清洗效率和清洗质量。
  • 模具清洗设备
  • [实用新型]清洗装置-CN202320928028.6有效
  • 南忙苍;王兴东;曹辉 - 瑞浦兰钧能源股份有限公司
  • 2023-04-21 - 2023-10-17 - B08B9/032
  • 本实用新型公开了一种清洗装置,包括第一储液装置、第二储液装置和打液驱动结构。第一储液装置与负压化成管连接,内有能将电解液结晶溶解的第一清洗;第二储液装置与第一储液装置并联连接,其内的第二清洗与第一清洗、电解液结晶互溶;打液驱动结构能依次与第一储液装置、第二储液装置连通,以依次驱动两种清洗输入负压化成管内通过采用第一清洗对负压化成管进行预清洗,然后再采用第二清洗对负压化成管进行再次清洗,不仅可以提高清洗效果,并且第二清洗与电解液结晶、第一清洗相溶,还可以使第二清洗能与负压化成管内残留的第一清洗和电解液结晶一同排出,减少杂质残留
  • 清洗装置
  • [发明专利]一种去除残留光刻胶的方法-CN201210452177.6无效
  • 孙庆东 - 孙庆东
  • 2012-11-13 - 2014-05-21 - G03F7/42
  • 本发明涉及一种去除残留光刻胶的方法,其特征在于,所述方法步骤如下:配备清洗:取浓硫酸和双氧水以1:5的比例混合;将配备出的清洗放入自动冷却装置中,打开机械臂开关及循环水开关,使清洗迅速降温至室温,关上开关;将待清洗的芯片放至清洗中,浸泡5分钟;将清洗完的芯片放入烘干机内烘干。本发明能够快速的将清洗冷却至常温,使双氧水能够保持最大的功效,保证了清洗的纯度,从而使残留光刻胶去除的更为彻底,保证了芯片的良率。
  • 一种去除残留光刻方法
  • [发明专利]自动分析装置-CN201980004351.0在审
  • 盐谷圭;赤濑弘树;小西励;坂口昌昭 - 株式会社日立高新技术
  • 2019-01-23 - 2020-12-15 - G01N35/02
  • 在对重复使用的反应容器内进行清洗时,虽然在用清洗针头吸引前进行粗吸,但由于粗吸后的液量与清洗针头的位置、大小的个体差异导致清洗残留,有可能对分析结果造成影响。本发明提供一种自动分析装置,使用光来分析试料,清洗机构包括:将清洗提供给分析后的反应容器的清洗供给喷嘴;对所提供的清洗进行吸引的清洗吸引喷嘴;设置于清洗吸引喷嘴的下端的清洗针头;在用清洗针头进行吸引前预先对反应容器内的液体进行吸引的粗吸喷嘴,在粗吸后,使液体残留以使得反应容器的底面不露出。
  • 自动分析装置

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