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- [发明专利]接近式曝光装置及接近式曝光方法-CN201210285246.9有效
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汤口悟;佐藤雅之
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恩斯克科技有限公司
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2012-08-10
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2013-03-06
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G03F7/20
- 该掩模载置台（1）具有：将掩模（M）真空吸附并保持于其下表面的掩模保持架（26）；保持于掩模保持架（26）上表面侧的玻璃盖片（32）；对由掩模保持架（26）、掩模（M）及玻璃盖片（32）界定的空间（33）内的空气进行抽吸，使空间（33）内部减压的抽吸机构（40）；和从外部向减压空间（33）内供给空气的至少一条空气导入槽（35）。在将掩模（M）真空吸附并保持于掩模保持架（26）的下表面，并由抽吸机构（40）抽吸空间（33）内压力的状态下，经空气导入槽（35）向空间（33）供给外部空气，将空间（33）内压力调节为规定压力。
- 接近曝光装置方法
- [发明专利]药剂运送装置-CN201680051060.3有效
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藤井隆行
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株式会社高园科技
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2016-08-31
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2020-12-04
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A61J3/00
- 本发明为药剂运送装置，具有：对药剂M进行临时贮留的多个贮留容器33…33；和使所述多个贮留容器33…33沿循环路径循环一圈的循环驱动部，在所述循环路径上设定有导入位置及排出位置P3，构成为对来到所述导入位置P1的各贮留容器33分别导入药剂M，从来到所述排出位置的所述多个贮留容器分别排出药剂M，具有从所述导入位置P1到所述排出位置P3的一方向路径、和从所述导入位置P1到所述排出位置P3的与所述一方向路径不同的另一方向路径，所述循环驱动部在将所述多个贮留容器33…33从所述导入位置P1运送至所述排出位置P3时，根据操作者的通过所述一方向路径还是通过所述另一方向路径的选择，使所述多个贮留容器33…33沿所述被选择的路径循环
- 药剂运送装置
- [发明专利]超声传感器-CN200610171234.8有效
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奥田泰行;吉田贵彦;杉浦真纪子;寺亮之介;长谷部雄太
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株式会社电装
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2006-12-21
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2007-06-27
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H04R17/00
- 一种超声传感器(60、70、80、90、100)包括发送元件(19)，用于发送超声波到要探测的物体(M)；接收部分(30、31、32、33)，用于接收这个物体(M)反射的超声波；振动部分(15、85)，所述接收部分(30、31、32、33)暴露在所述物体(M)所在的空间。所述接收部分(30、31、32、33)和所述振动部分(15、85)通过所述支撑部分(11a)连接，从而使所述接收部分(30、31、32、33)收到的超声波通过所述支撑部分(11a)传递到所述振动部分(15所述振动部分(15、85)通过所述支撑部分(11a)与所述接收部分(30、31、32、33)分开。
- 超声传感器
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