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[发明专利]一种空气轴承结构及其实现气膜厚度补偿的方法-CN200910236484.9无效
发明人：卢明臻;高思田;施玉书;杜华;崔建军 -专利权人：中国计量科学研究院
申请日： 2009-10-22 - 公布日： 2010-04-14 - 主分类号： B25H1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种空气轴承结构及其实现气膜厚度补偿的方法，该空气轴承结构安装于一气浮工作台与一基座之间形成支撑，空气轴承结构包括：微位移传递机构，装设于气浮工作台与基座之间；补偿气浮垫，面向气浮工作台的底面，装设于微位移传递机构形成的杠杆的一端，工作时该补偿气浮垫与气浮工作台之间形成润滑气膜；工作气浮垫，面向基座的表面，装设于微位移传递机构形成杠杆的另一端，工作时该工作气浮垫与基座表面之间形成润滑气膜；加载机构，用于对空气轴承结构进行加载，使补偿气浮垫与工作气浮垫的工作状态相同；当供气压力变化时，通过微位移传递机构将补偿气浮垫润滑气膜的变化反向叠加到工作气浮垫上，补偿工作气浮垫气膜厚度的变化。
一种空气轴承结构及其实现厚度补偿方法

[实用新型]一种花岗石气浮垫-CN202020216321.6有效
发明人：李伟;曾繁民;孟凡刚 -专利权人：济南晶磊精密机械有限公司
申请日： 2020-02-27 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种花岗石气浮垫，包括气浮垫主体，进气孔，堵气塞，气浮孔和气浮槽，所述的气浮垫主体设置为正方体状，该气浮垫主体的侧面的中间位置开设有进气孔；所述的气浮槽开设在气浮垫主体的上表面；所述的堵气塞至少采用3个，均与进气孔配合连接，本实用新型，充分利用石材的稳定性和气浮原理，来配合气浮导轨的使用，从而提高了测量效率；本实用新型，可避免气浮导轨直接与被测产品接触，因为隔着气浮垫在起吊和下落时可有效的保护产品不受损伤
一种花岗石气浮垫

[实用新型]一种精密双向定位立卧两用气浮导轨机构-CN202121728997.4有效
发明人：潘流平;黄世海;刘建刚 -专利权人：贵阳新天光电科技有限公司
申请日： 2021-07-28 - 公布日： 2022-01-18 - 主分类号： F16C32/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种精密双向定位立卧两用气浮导轨机构，包括双定位花岗岩导轨、精密气浮机构和气浮平衡连接板，双定位花岗岩导轨上设置精密气浮机构，精密气浮机构上设置气浮平衡连接板；所述精密气浮机构包括左气浮支撑座、中气浮支撑座、右气浮支撑座，左气浮支撑座、中气浮支撑座、右气浮支撑座用平衡固定轴组合成呈U型的固定框；左气浮支撑座内设有两个气浮垫，中气浮支撑座内设有四个气浮垫、右气浮支撑座内也设有两个气浮垫；中气浮支撑座上设有多个连接头与气压流道气管给气浮垫供气
一种精密双向定位两用导轨机构

[发明专利]一种多区域微调节气浮垫-CN202110698133.0有效
发明人：单晓杭;章衡;叶必卿;张利 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2021-06-23 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： F16C32/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种多区域微调节气浮垫，包括气浮垫本体，所述气浮垫本体生成气膜的表面上通过十字槽划分出四个区域，每个区域均包括独立的节流孔、进气通道和均压槽；所述进气通道设置在每个区域的气浮垫本体的侧面，均压槽设置在每个区域形成气膜的表面上，节流孔设置在均压槽内，所述节流孔与进气通道相连通；本发明可通过独立控制各区域进气通道，实现气浮垫各区域气膜厚度微调，进而达到在不平整平面上对气浮垫调平的功能；相对于多个气浮垫，本发明多区域微调节气浮垫结构更为简洁，同时可有效避免因安装等因素所造成的误差远大于气浮垫所能微调的距离的问题。
一种区域微调节气

[实用新型]长行程运动气浮模组及应用其的曝光台-CN201120570758.0有效
发明人：徐涛;江旭初;李生强;王鑫鑫;张凤磊;曹若愚 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2011-12-30 - 公布日： 2012-09-05 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种长行程运动气浮模组及应用其的曝光台。长行程运动气浮模组包括侧向球铰式气浮垫、侧向自适应球铰式气浮垫以及垂向球铰式气浮垫。侧向球铰式气浮垫一端具有球铰，连接U型导轨的第一侧边，另一端具有气浮垫，连接基座。侧向球铰式气浮垫具有Ry与Rz向旋转解耦功能。侧向自适应球铰式气浮垫一端具有球铰，连接U型导轨的第二侧边，另一端具有气浮垫，连接基座。侧向自适应球铰式气浮垫具有Ry与Rz向旋转解耦功能且能够沿X向作微小位移补偿。垂向球铰式气浮垫一端连接U型导轨的端面，另一端具有气浮垫，连接基座。本实用新型可大大降低导向零件的设计复杂度、加工制造难度以及装配精度。
行程运动模组应用曝光

[发明专利]特征尺寸测量用扫描电镜的气浮系统和扫描电镜-CN202111049008.3在审
发明人：彭超 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2021-09-08 - 公布日： 2022-01-04 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：该发明公开了一种特征尺寸测量用扫描电镜的气浮系统和扫描电镜，所述气浮系统包括：量测腔体、监测装置、气浮装置和控制装置，监测装置用于实时监测量测腔体的位置；气浮装置包括固定气浮垫和多个调整气浮垫，固定气浮垫设在量测腔体的底部以用于承载量测腔体，调整气浮垫设在量测腔体的底部以用于承载量测腔体和调整量测腔体的位置，调整气浮垫的进气口连接有电磁阀以控制调节进气量；控制装置分别与监测装置和气浮装置相连，以根据监测装置的监测信息控制电磁阀的开关以调节调整气浮垫的进气量气浮系统能够及时快速地调整量测腔体使其保持平衡，且不需要频繁更换阀门，还能够实现提前预警并做出预防动作。
特征尺寸测量扫描电镜系统

[实用新型]一种高精密气浮垫研磨装置-CN202222218401.7有效
发明人：周华军 -专利权人：昆山圣威诺精密模具有限公司
申请日： 2022-08-23 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： B24B37/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高精密气浮垫研磨装置，包括底板，所述底板上固定连接有支撑杆，所述支撑杆上固定连接有固定板，所述固定板上固定连接有气缸，所述气缸的输出端与固定板滑动连接，所述气缸的输出端设置有第一电机本实用新型通过设计螺杆与夹块的螺纹连接，通过转动转盘带动螺杆转动可使夹块对气浮垫进行夹持固定，可对气浮垫的水平方向进行限位，同时通过连接套的作用，当气缸向下移动时可使连接套挤压气浮垫，可对气浮垫的竖直方向进行限位，从而提高了对气浮垫的定位效果，可有效防止气浮垫的偏移，提高气浮垫研磨精度。
一种精密气浮垫研磨装置

[发明专利]气浮转台及其工作方法-CN202211153859.7有效
发明人：王强;刘百川;孙志超;于光明;庭玉超 -专利权人：江苏京创先进电子科技有限公司
申请日： 2022-09-21 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： F16C32/06 文献下载
摘要：本发明属于晶圆减薄机技术领域，公开了气浮转台及气浮转台的工作方法。气浮转台包括机架、转台和气浮垫，转台用于承载待加工的工件，转台转动设置于机架上，且转台能够在垂直机架的方向上相对机架移动。气浮垫设置于转台与机架之间，气浮垫上朝向转台的一侧设置有多个气孔，通过气孔向转台吹气能够使转台与气浮垫之间间隔预设距离，停止向转台吹气转台将回落至气浮垫上，通过气孔抽真空能够将转台吸附于气浮垫上。通过设置气浮垫对转台吹气，提高了转台转动过程中的平稳度；并通过抽真空将转台吸附于气浮垫上，防止因减薄件对晶圆施加磨削力而造成转台翘起，从而保证减薄作业的尺寸精度。
转台及其工作方法

[发明专利]一种可组装式气垫导轨-CN201910385697.1在审
发明人：陈万群;杨凯 -专利权人：南京艾提瑞精密机械有限公司
申请日： 2019-05-09 - 公布日： 2019-07-19 - 主分类号： F16C32/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种可组装式气垫导轨，包括导轨、设置在导轨上的溜板和实现气体节流的气浮垫，溜板与导轨之间通过气浮垫连接，气浮垫设置在导轨的上端面和两侧端面；气浮垫上开设有出气孔和进气孔，气浮垫开有出气孔的一面靠近导轨的外表面，气浮垫开有进气孔的一面靠近溜板。由于气浮垫实现气体节流，在其与导轨接触的一面底部形成空气薄层，使溜板与导轨之间形成不产生接触摩擦，由于无需在溜板上设置节流孔，可使得溜板尺寸减小、刚性提高，使装置整体具有更高的灵活性。
气浮垫导轨溜板可组装式气垫导轨气体节流出气孔进气孔尺寸减小接触摩擦节流孔上端面薄层

[实用新型]一种可组装式气垫导轨-CN201920665265.1有效
发明人：陈万群;杨凯 -专利权人：南京艾提瑞精密机械有限公司
申请日： 2019-05-09 - 公布日： 2019-12-24 - 主分类号： F16C32/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种可组装式气垫导轨，包括导轨、设置在导轨上的溜板和实现气体节流的气浮垫，溜板与导轨之间通过气浮垫连接，气浮垫设置在导轨的上端面和两侧端面；气浮垫上开设有出气孔和进气孔，气浮垫开有出气孔的一面靠近导轨的外表面，气浮垫开有进气孔的一面靠近溜板。由于气浮垫实现气体节流，在其与导轨接触的一面底部形成空气薄层，使溜板与导轨之间形成不产生接触摩擦，由于无需在溜板上设置节流孔，可使得溜板尺寸减小、刚性提高，使装置整体具有更高的灵活性。
气浮垫导轨溜板气体节流出气孔进气孔本实用新型尺寸减小接触摩擦可组装式气垫导轨节流孔上端面薄层

[发明专利]气浮垫组件、气浮导轨组件及所述气浮导轨组件的校对方法-CN202011609791.X在审
发明人：陈万群;滕翔宇;霍德鸿;陈高强 -专利权人：江苏集萃精凯高端装备技术有限公司
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2021-05-18 - 主分类号： F16C32/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种气浮垫组件，包括具有节流气道的气浮垫、设置在所述气浮垫内节流气道里的第一节流器、设置在所述气浮垫内与所述第一节流器的出气口连通的气腔、设置在所述节流气道出气口处的第二节流器，所述第二节流器的进气口与所述气腔连通本发明的气浮导轨组件及气浮垫组件，通过设置串联的第一节流器和第二节流器，从而可以提高气浮导轨组件的刚度和稳定性。
气浮垫组件导轨述气浮校对方法

[发明专利]气浮轴承抗弯能力测试装置-CN201310124115.7有效
发明人：单晓杭;孙建辉;周海清 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2013-04-10 - 公布日： 2013-08-14 - 主分类号： G01M13/04 文献下载
摘要：一种气浮轴承抗弯能力测试装置，包括机架、气浮垫、电磁铁、力传感器和铁磁体，所述机架包括水平布置的底座和竖直布置的支架，所述支架底部安装在底座上，所述气浮轴承的气浮轴套装在气浮套内，所述气浮套套装在气浮套座内，所述气浮套座通过连接件固定在支架上，所述铁磁体套装在气浮轴的底端，所述气浮垫安装在底座上，所述气浮垫与气浮轴同心，所述铁磁体位于所述气浮垫上且两者之间气浮式连接，所述电磁铁与力传感器连接，所述力传感器与固定座连接本发明的加载机构与气浮轴承不直接接触、动态检测、操作方便。
轴承能力测试装置

[实用新型]气浮轴承抗弯能力测试装置-CN201320180650.X有效
发明人：胡建德;孙建辉;单晓杭;周海清 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2013-04-10 - 公布日： 2013-11-06 - 主分类号： G01M13/04 文献下载
摘要：一种气浮轴承抗弯能力测试装置，包括机架、气浮垫、电磁铁、力传感器和铁磁体，所述机架包括水平布置的底座和竖直布置的支架，所述支架底部安装在底座上，所述气浮轴承的气浮轴套装在气浮套内，所述气浮套套装在气浮套座内，所述气浮套座通过连接件固定在支架上，所述铁磁体套装在气浮轴的底端，所述气浮垫安装在底座上，所述气浮垫与气浮轴同心，所述铁磁体位于所述气浮垫上且两者之间气浮式连接，所述电磁铁与力传感器连接，所述力传感器与固定座连接本实用新型的加载机构与气浮轴承不直接接触、动态检测、操作方便。
轴承能力测试装置

[实用新型]一种花岗石气浮垫-CN202320802755.8有效
发明人：俄立健;李之锋;焦崇;陈玉国 -专利权人：济南鑫德石通精密机械有限公司
申请日： 2023-04-07 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： F16C32/06 文献下载
摘要：本申请公开了一种花岗石气浮垫，涉及花岗石构件技术领域，改善堵气塞拔出后需要单独存放，容易丢失，使用时再寻找较为不便的问题，包括气浮垫本体，所述气浮垫本体的表面开设有气浮槽，所述气浮垫本体的四周均开设有进气孔，所述气浮垫本体四周位于进气孔的下方均开设有容纳槽，所述容纳槽内插接有用于堵塞进气孔的堵气塞。本申请通过容纳槽能够对不使用的堵气塞进行容纳，可减少堵气塞丢失的情况，方便在使用时快速拿取，通过限位块、插接杆、插接槽和卡接件的设置，能够对堵气塞进行固定，可减少堵气塞从容纳槽内脱出的情况发生。
一种花岗石气浮垫

[发明专利]一种气体静压气浮垫及气浮导轨-CN201911290414.1在审
发明人：陈万群;王斌;霍德鸿;丁辉 -专利权人：江苏集萃精凯高端装备技术有限公司
申请日： 2019-12-16 - 公布日： 2020-02-28 - 主分类号： F16C32/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种气体静压气浮垫及气浮导轨，所述气浮垫包括：壳体、固定在壳体内的支撑块、固定在支撑块下端面上的多孔质材料层，所述支撑块内开设有进气通道、和与所述进气通道相贯通的节流通道，所述节流通道上等间距安装有若干个延伸至支撑块下端面的小孔节流器通过上述方式，本发明采用小孔节流、多孔质材料节流、均压槽表面节流相组合的节流方式，能够使气浮垫达到国际上微孔节流型气浮垫的性能指标，并且本发明气浮垫结构简单，制造成本低；同时本发明气浮垫可以应用在导轨平台上，制成气浮导轨。
一种气体静压气浮垫导轨

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