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- [发明专利]气化器和成膜装置-CN200880022567.1有效
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田中澄;二村宗久
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东京毅力科创株式会社
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2008-08-20
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2010-03-31
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H01L21/31
- 在使液体原料的液滴通过通气性部件气化时,将整个通气性部件的温度均匀,防止未完全气化而引起堵塞。具有:导入液滴状的液体原料的导入口(354);板状的通气性部件(410),其与导入口对置地配置,由具有借助通电发热的电阻的部件构成;以夹持通气性部件的方式对置配置的一对电极(420、430);经由一对电极使通气性部件通电发热的交流电源(380);将原料气体送到外部被的送出口(132),该原料气体是使来自导入口的液滴状的液体原料通过发热的通气性部件的内部来气化而生成的。
- 气化装置
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