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[实用新型]气体分配盘拆卸装置和刻蚀设备-CN202020969949.3有效
发明人：不公告发明人 -专利权人：广州粤芯半导体技术有限公司
申请日： 2020-06-01 - 公布日： 2021-02-05 - 主分类号： B25B27/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种气体分配盘拆卸装置和刻蚀设备，所述气体分配盘拆卸装置用于将第一气体分配盘从第二气体分配盘上拆卸下来，所述气体分配盘拆卸装置包括：可拆卸地设置于所述第二气体分配盘上且环绕于所述第一气体分配盘的外围的支撑板；可拆卸地环绕设置于所述第一气体分配盘的外周上的内环卡套，以在所述内环卡套向上移动时带动所述第一气体分配盘向上移动；以及，用于带动所述内环卡套向上移动的施力把手，所述施力把手可拆卸地设置于所述支撑板上，本实用新型的技术方案能够提高气体分配盘的拆卸速度以及避免导致气体分配盘的相关零部件损坏。
气体分配拆卸装置刻蚀设备

[实用新型]半导体设备的气体分配盘-CN200720070545.5有效
发明人：肖建民;朱立顶 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日： 2007-06-01 - 公布日： 2008-05-28 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半导体设备的气体分配盘，涉及半导体制造设备领域。该气体分配盘包括数个气体注射管，每一气体注射管都具有数个通气孔，其中一个气体注射管安装在气体分配盘的中心位置。与现有技术相比，本实用新型气体分配盘的中心位置将气体注射管代替了现有的密封件，不仅可以有效避免残留聚合物污染晶圆表面，而且使得气体分配盘的中心也可以流通气体，有效清除晶圆表面残留颗粒。
半导体设备气体分配

[实用新型]一种包装检漏机用组合式气体分配装置-CN202021927661.6有效
发明人：刘旭 -专利权人：常州亚迪机械有限公司
申请日： 2020-09-07 - 公布日： 2021-04-16 - 主分类号： G01M3/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种包装检漏机用组合式气体分配装置，解决了现有技术中气体分配装置的固定盘和转动盘之间发生漏油的问题。一种包装检漏机用组合式气体分配装置，一种包装检漏机用组合式气体分配装置，包括转动盘，还包括：气体通道管，所述气体通道管环形阵列在转动盘内，所述气体通道管的进气端延伸至转动盘的侧端面，所述气体通道管的出气端贯穿至转动盘的下端面本实用新型通过两个环形油槽在固定盘内形成循环通道，环形油槽的深度大于二分之一固定盘的厚度，因而润滑油溢出环形油槽的可能性低，因而该组合式气体分配盘装置漏油的可能性低，与现有技术相比，本专利中气体分配盘装置密封性好
一种包装检漏组合式气体分配装置

[发明专利]一种钛材质气体分配盘及其加工工艺-CN202211430194.X在审
发明人：姚力军;潘杰;黄艾东;张萍萍 -专利权人：宁波江丰芯创科技有限公司
申请日： 2022-11-15 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供了一种钛材质气体分配盘及其加工工艺。所述工工艺包括如下步骤：(1)热处理金属钛，而后进行机械加工得到气体分配盘坯件；(2)对步骤(1)所得气体分配盘坯件依次进行电解抛光以及清洁处理后得到所述气体分配盘。本发明过对产品主要材质的调整，设计出一款钛合金加工成型的气体分配盘产品，弥补铝制产品的寿命低和重复利用困难的问题，同时减少过程中的离子析出，提高芯片制程良率。
一种材质气体分配及其加工工艺

[发明专利]化学沉积反应器及其喷洒装置-CN201010264060.6有效
发明人：申石根;闵丙敦 -专利权人：上海博恩世通光电股份有限公司
申请日： 2010-08-24 - 公布日： 2012-03-14 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明揭示了一种化学沉积反应器及其喷洒装置，所述喷洒装置包括若干气体输送单元，用以分别输入不同的气体；所述若干气体输送单元中，至少有一气体输送单元包括设置在所述喷洒装置中央的气体输送通道，该气体输送通道的一端为气体入口，另一端设置气体分配盘；所述气体分配盘设置多个通孔，流经所述气体输送通道的气体通过所述通孔流出；气体分配盘侧面通孔的孔径比气体分配盘中部通孔的孔径小，气体分配盘侧面的通孔倾斜设置。
化学沉积反应器及其喷洒装置

[发明专利]正负压气体分配装置-CN201310443933.3有效
发明人：张盛耿;郑初平;周诗敏;陈宏时;陈志鹏;黄镇明;杨伟文 -专利权人：汕头市新青罐机有限公司
申请日： 2013-09-26 - 公布日： 2014-03-12 - 主分类号： F16K11/085 文献下载
摘要：发明公开了一种正负压气体分配装置，其特征在于：包括轴式正压气体连接器、盘式负压气体连接器和转盘式正负压气体分配器；上述盘式负压气体连接器和转盘式正负压气体分配器分别套在轴式正压气体连接器上，上述盘式负压气体连接器位于转盘式正负压气体分配器的上面，上述盘式负压气体连接器不可转动地设在轴式正压气体连接器上；上述转盘式正负压气体分配器的内侧面与轴式正压气体连接器的外侧面密封地转动配合，上述转盘式正负压气体分配器的上表面与盘式负压气体连接器的下表面密封地转动配合因此，本正负压气体分配装置能够同时输送正压气体和负压气体，从而为包装容器的高精度检漏奠定了良好的基础。
正负压气分配装置

[实用新型]一种正负压气体分配装置-CN201320596885.7有效
发明人：张盛耿;郑初平;周诗敏;陈宏时;陈志鹏;黄镇明;杨伟文 -专利权人：汕头市新青罐机有限公司
申请日： 2013-09-26 - 公布日： 2014-03-12 - 主分类号： F16K11/085 文献下载
摘要：实用新型公开了一种正负压气体分配装置，其特征在于：包括轴式正压气体连接器、盘式负压气体连接器和转盘式正负压气体分配器；上述盘式负压气体连接器和转盘式正负压气体分配器分别套在轴式正压气体连接器上，上述盘式负压气体连接器位于转盘式正负压气体分配器的上面，上述盘式负压气体连接器不可转动地设在轴式正压气体连接器上；上述转盘式正负压气体分配器的内侧面与轴式正压气体连接器的外侧面密封地转动配合，上述转盘式正负压气体分配器的上表面与盘式负压气体连接器的下表面密封地转动配合因此，本正负压气体分配装置能够同时输送正压气体和负压气体，从而为包装容器的高精度检漏奠定了良好的基础。
一种正负压气分配装置

[发明专利]化学气相沉积设备-CN202110874025.4有效
发明人：张保龙 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2021-07-30 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C23C16/54 文献下载
摘要：该化学气相沉积设备包括反应腔体、供气组件、气体分配盘、气体控制组件。其中，反应腔体具有多个用于承载晶圆的承载台。供气组件，用于提供反应气体。气体分配盘，数量为多个且与多个承载台一一对应设置。气体控制组件，数量为多个且与多个气体分配盘一一对应设置。气体分配盘与供气组件之间，通过对应的气体控制组件连接。这样能够通过气体控制组件调节反应气体的流量或者通气时间，以控制对应的气体分配盘的气体流量或者通气时间，减小在不同晶圆表面沉积薄膜膜厚的差异，从而可以提高在晶圆上所沉积薄膜的质量，进而降低成本。
化学沉积设备

[实用新型]一种气路连通装置-CN201822169999.9有效
发明人：李武州;吴云;吴李立;闫丽娟 -专利权人：无锡市同至人机械设备制造有限公司
申请日： 2018-12-24 - 公布日： 2020-02-07 - 主分类号： B01D33/80 文献下载
摘要：一种气路连通装置，包括气体分配盘和接转接支撑盘，所述气体分配盘的一面抵接转接支撑盘，所述气体分配盘上设置有抽真空管和吹气管；所述气体分配盘抵接转接支撑盘的一面设置有第一弧形槽和第二弧形槽，所述滤液管的一端贯穿转接支撑盘后正对着第一弧形槽或第二弧形槽，所述第一弧形槽和第二弧形槽分别通过第一通孔和第二通孔连通抽真空管和吹气管；所述转接支撑盘转动配合气体分配盘能够使得滤液管交错接通抽真空管和吹气管。本技术方案中，转接支撑盘能够支撑从其中穿过的主轴和滤液管，同时转接支撑盘转动配合气体分配盘能够使得滤液管交错接通抽真空管和吹气管。气路连通装置结构简单，更加稳定可靠。
转接支撑盘气体分配盘弧形槽抽真空管吹气管滤液管转动配合抵接通孔接通交错连通装置气路连通装置结构正对连通穿过贯穿支撑

[实用新型]一种气体分配盘钻孔加工模板-CN202221284874.0有效
发明人：姚力军;潘杰;昝小磊;王学泽;陈春磊;郭周承 -专利权人：宁波江丰芯创科技有限公司
申请日： 2022-05-25 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： B23B47/28 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种气体分配盘钻孔加工模板，所述气体分配盘钻孔加工模板包括第一钻模板，所述第一钻模板内设置有第一通孔，所述第一通孔内设置有第一环形台阶，气体分配盘固定于所述第一环形台阶的环形台阶面上；所述第一钻模板的一侧表面设置有与第一环形台阶连接的第二钻模板本实用新型所述气体分配盘钻孔加工模板能够从气体分配盘的两侧对气体分配盘进行打孔，加工精度较高，结构简单且制备成本较低。
一种气体分配钻孔加工模板

[实用新型]真空设备的气体扩散装置-CN201220202352.1有效
发明人：黄泳钊;郑博仁;张延任;谢昆山 -专利权人：北儒精密股份有限公司
申请日： 2012-05-08 - 公布日： 2012-12-05 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种真空设备的气体扩散装置，包含一个门板、至少一个安装于门板底面的气体分配盘，及一个罩盖该气体分配盘地安装于门板底面的气体扩散盘。该气体扩散盘与该门板相配合界定出一个与该气体分配盘的分配孔连通的气体扩散空间，并具有多个供该气体扩散空间内的气体排出的扩散孔，该气体扩散盘内部还穿设有一个延伸分布于扩散孔间并可供控温流体流通的流体通道。通过在该气体扩散盘中设置可用于输入控温流体的流体通道的设计，可方便调节注入反应腔室的制程气体的温度，而有助于提高该中空设备制造的产品的质量与良率的稳定性。
真空设备气体扩散装置

[实用新型]一种气体分配盘用管路保护机构-CN202320012755.8有效
发明人：钱永明;凌晓仁;徐文彬;孙海兵 -专利权人：吉姆西半导体科技（无锡）有限公司
申请日： 2023-01-05 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： F17D3/01 文献下载
摘要：本实用新型涉及气体分配盘技术领域，尤其涉及一种气体分配盘用管路保护机构，一种气体分配盘用管路保护机构，包括套板，所述套板的端壁开设有板槽，且板槽的内侧安置有橡胶条，所述套板的端壁穿设有螺丝，且套板的外侧安装有海绵条本实用新型通过为圆弧形状的板槽套接在气体分配盘管路的端侧时，拧紧螺丝，用于锁紧、限位气体分配盘管路和套板，方便套板安装，而套板前端侧的海绵材质的海绵条、海绵套，分布用于缓冲七个套板的前端侧，防止物品喷撞到套板的前端侧，造成气体分配盘损伤，进而影响洁净气体输送。
一种气体分配管路保护机构

[其他]流化床反应器-CN87103282无效
发明人：福克·恩格斯特龙;朱安尼·艾萨克森;赖齐·凯瓦莱南 -专利权人：阿尔斯特罗姆公司
申请日： 1987-04-30 - 公布日： 1987-11-18 - 主分类号： B01J8/24 文献下载
摘要：流化床反应器1，该反应器包括一个设有气体分配盘5的反应室4，用分配盘5输入第一气体，而所述分配盘的上部空间，用设有放气口9的间壁7分隔成小室6。第二气体通过放气口9输入循环床。
流化床反应器

[发明专利]流化床反应器-CN87103282.1无效
发明人：福克·恩格斯特龙;朱安尼·艾萨克森;赖齐·凯瓦莱南 -专利权人：阿尔斯特罗姆公司
申请日： 1987-04-30 - 公布日： 1990-11-28 - 主分类号： B01J8/24 文献下载
摘要：流化床反应器1，该反应器包括一个设有气体分配盘5的反应室4，用分配盘5输入第一气体而所述分配盘的上部空间，用设有放气口9的间壁7分隔成小室6，第二气体通过放气口9输入循环床。
流化床反应器

[发明专利]一种半导体气体分配盘的焊接方法及气体分配盘-CN202210458609.8在审
发明人：姚力军;潘杰;昝小磊;王学泽;王少平;郭周承 -专利权人：宁波江丰芯创科技有限公司
申请日： 2022-04-24 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供了一种半导体气体分配盘的焊接方法及气体分配盘，所述的焊接方法包括：(Ⅰ)在气体分配盘的基座的表面开设第一预留槽；(Ⅱ)在气体分配盘的分配板靠近基座一侧的焊接面开设第二预留槽；(Ⅲ)将分配板放入基座内
一种半导体气体分配焊接方法

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