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[发明专利]气体供给单元-CN201910922349.3有效
发明人：李洪宰 -专利权人： TES股份有限公司
申请日： 2019-09-27 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种气体供给单元，包括：背板，设置于腔室内部；簇射头，与所述背板的下部隔开设置并朝向所述腔室内部供给工艺气体或清洗气体；挡板单元，设置于所述背板与所述簇射头之间，通过中央部区域供给工艺气体并通过周边区域供给所述工艺气体或所述清洗气体；以及工艺气体供给源与清洗气体供给源，所述工艺气体供给源朝向所述挡板单元供给所述工艺气体，所述清洗气体供给源朝向所述挡板单元供给所述清洗气体。在执行针对大面积基板的各种处理工艺的基板处理装置中，在根据沉积工艺或清洗工艺而向基板处理装置的内部供给各种气体的情况下，气体供给单元可使气体均匀地在基板处理装置的内部分散。
气体供给单元

[发明专利]气体供给单元以及气体供给方法-CN202010115771.0有效
发明人：稲垣竹矢 -专利权人： CKD株式会社
申请日： 2020-02-25 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明实现一种能缩短冷却时间、从而缩短半导体制造装置的工艺时间的气体供给单元。本发明的气体供给单元(1)中，在将控制在第1温度的第1气体经由上部设备(13)供给到腔室(5)之后要将开始化学反应的反应开始温度比第1温度低的第2气体经由上部设备(13)供给至腔室(5)的情况下，在将清洁气体经由上部设备(13)供给至腔室5之前从冷却板构件(3)对形成于基座板(10)与上部设备(13)之间的空间部(S)供给冷却空气，将上部设备(13)冷却至反应开始温度以下。
气体供给单元以及方法

[发明专利]气体供给单元和气体供给系统-CN200680054549.2有效
发明人：守谷修司;长冈秀树;冈部庸之;板藤宽;土居广树;伊藤稔 -专利权人：喜开理株式会社;东京毅力科创株式会社
申请日： 2006-06-02 - 公布日： 2009-05-20 - 主分类号： F16L41/02 文献下载
摘要：小型、经济的气体供给单元和气体供给系统。气体供给单元(11A)安装在工作气体输送管路上，并且具有通过流路模块(12-17)连通且控制工作气体的流体控制装置(2-6，9)。气体供给单元具有第一流路模块(14)，包括在流体控制装置内的入口开关阀(4)固定至其一侧，且气体供给单元还具有第二流路模块(17)，包括在流体控制装置内的净化阀(9)固定至其一侧。第一流路模块(14)和第二流路模块(17)在垂直于工作气体的输送方向的方向上层叠。入口开关阀(4)和净化阀(9)设置在质量流控制器(5)和安装表面之间，其中所述质量流控制器(5)安装在工作气体输送管路上，单元(11A)安装在所述安装表面内。
气体供给单元系统

[发明专利]压缩气体供给单元-CN201310098914.1有效
发明人：小林健一;宇波厚 -专利权人：阿耐思特岩田株式会社
申请日： 2013-03-26 - 公布日： 2017-10-24 - 主分类号： F04C23/00 文献下载
摘要：本发明提供一种压缩气体供给单元，在具备多台涡旋压缩机的压缩气体供给单元中，为了能够相对于频繁的负载变动进行始终保持成恒定的喷出压力的稳定运转，并且减少消耗动力，多台涡旋压缩机(14a～c)的喷出空气在经由主供给路(18)贮存到贮存箱(12)后，从供给路(28)向需求目标(26)供给。控制装置(32)具有对涡旋压缩机(14a～c)的上限转速以及下限转速进行设定的上下限转速设定部(320)；根据压缩气体供给单元(10)的负载算出涡旋压缩机(14a～c)的合计转速的合计转速算出部(322
压缩气体供给单元

[发明专利]气体传感器套件和气体供给单元-CN201780020035.3有效
发明人：鹰取文彦;井上正行;株本宪一郎 -专利权人：日本光电工业株式会社
申请日： 2017-06-02 - 公布日： 2021-05-14 - 主分类号： A61B5/097 文献下载
摘要：一种气体传感器套件，包括：气体传感器，该气体传感器测量患者的呼出气体的气体浓度；和气体供给单元，该气体供给单元将通过管供给的治疗气体供给到患者。在气体传感器中，气体传感器具有在与气体供给单元连接时被支承的凸部，并且气体供给单元具有至少一个锁定爪，当气体供给单元与气体传感器连接时，该至少一个锁定爪支承凸部。
气体传感器套件供给单元

[发明专利]气体供给集成单元-CN200580006774.4有效
发明人：川久保修;武市昭宏;井上贵史;三轮敏一 -专利权人：喜开理株式会社
申请日： 2005-01-20 - 公布日： 2007-11-14 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明课题是提供一种可以容易地增设线路的气体供给集成单元。作为解决该课题的手段，其具有多个气体单元，所述气体单元通过流路块串连一体连接有：在出口流路设置的第一手动阀11；在上述第一手动阀和过程气体共同流路15连通的位置上设置的第二手动阀13；和在第一手动阀11和清洁气体共同流路16连通的位置上设置的第三手动阀14，在该气体供给集成单元中，具有与过程气体共同流路15的端部连通的过程气体共同流路端部手动阀22、和与清洁气体共同流路16的端部连通的清洁气体共同流路端部手动阀
气体供给集成单元

[发明专利]气体供给集成单元-CN200580014989.0无效
发明人：武市昭宏;青山达人;三轮敏一;井上贵史 -专利权人：喜开理株式会社
申请日： 2005-04-15 - 公布日： 2007-04-18 - 主分类号： H01L21/31 文献下载
摘要：本发明目的在于提供一种对在常温常压下容易液化的过程气体进行加热保温同时进行供给的气体供给集成单元。设在出口流路上的第一手动阀22、设在用于连通该第一手动阀22和过程气体共用流路44的位置上的气动阀26、以及用于连通该第一手动阀22和清洁气体共用流路43的位置上的第二手动阀25通过流路块46和单元固定板15串联连成一体而构成气体单元，所述气体供给集成单元包括多个气体单元，其中设有：保持部件18，截面呈コ字形，嵌合有流路块46和单元固定板15；和平面加热器16，夹持固定在保持部件18与流路块46及所述单元固定板
气体供给集成单元

[发明专利]一种气体中毒急救设备-CN201610508847.X有效
发明人：董辉;林小梅;韩东畴 -专利权人：广州蓝仕威克医疗科技有限公司
申请日： 2016-06-29 - 公布日： 2018-11-23 - 主分类号： A61M16/00 文献下载
摘要：本发明属于医疗器械领域，尤其涉及一种气体中毒急救设备。本发明提供了一种气体中毒急救设备，包括：进气单元、气体混合单元、气体供给单元和控制单元；气源通过所述进气单元后，再依次通过所述气体混合单元和所述气体供给单元，所述控制单元分别与所述气体混合单元和所述气体供给单元连接本发明提供的技术方案中，所述控制单元分别与所述气体混合单元和所述气体供给单元连接，控制单元即时监测气体混合单元及气体供给单元的气体组成，并根据预设条件对气体混合单元及气体供给单元做出调节。解决了现有技术中，气体中毒急救设备无法实现按照患者不同的呼吸率供给氧气以及氧气和二氧化碳混合气体，存在着适应性差的技术缺陷。
一种气体中毒急救设备

[实用新型]一种气体中毒急救设备-CN201620683260.8有效
发明人：董辉;林小梅;韩东畴 -专利权人：广州蓝仕威克医疗科技有限公司
申请日： 2016-06-29 - 公布日： 2017-05-17 - 主分类号： A61M16/00 文献下载
摘要：本实用新型属于医疗器械领域，尤其涉及一种气体中毒急救设备。本实用新型提供了一种气体中毒急救设备，包括：进气单元、气体混合单元、气体供给单元和控制单元；气源通过所述进气单元后，再依次通过所述气体混合单元和所述气体供给单元，所述控制单元分别与所述气体混合单元和所述气体供给单元连接本实用新型提供的技术方案中，所述控制单元分别与所述气体混合单元和所述气体供给单元连接，控制单元即时监测气体混合单元及气体供给单元的气体组成，并根据预设条件对气体混合单元及气体供给单元做出调节。解决了现有技术中，气体中毒急救设备无法实现按照患者不同的呼吸率供给氧气以及氧气和二氧化碳混合气体，存在着适应性差的技术缺陷。
一种气体中毒急救设备

[发明专利]臭氧气体加热机构、基板处理装置以及基板处理方法-CN201810100589.0有效
发明人：吉田崇;佐藤健一;矢野哲也 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-02-01 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：提供一种减少由于供给臭氧气体而产生的基板温度的偏差的臭氧气体加热机构、基板处理装置以及基板处理方法。一个实施方式的臭氧气体加热机构具备：气体供给单元，其设置在基板处理装置的处理容器内，能够向基板供给臭氧气体；气体供给配管，其与所述气体供给单元连接，能够向所述气体供给单元供给所述臭氧气体；以及配管加热单元，其设置在所述气体供给配管，用于对所述气体供给配管内的所述臭氧气体进行加热。
臭氧气体加热机构处理装置以及方法

[发明专利]单元堆装置、燃料电池模块及燃料电池模块容纳装置-CN201780063888.5有效
发明人：杉原一成;儿井真 -专利权人：京瓷株式会社
申请日： 2017-10-26 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： H01M8/2485 文献下载
摘要：本公开的单元堆装置的特征在于，具备：单元堆，与单元连接而构成；歧管，用于对单元的下端进行固定，并且向单元的气体流路供给反应气体；和反应气体供给管，与歧管连接，且用于将反应气体供给至歧管，歧管及反应气体供给管由金属构成，歧管具有用于对反应气体供给管进行连接的插入部，并且在该插入部与反应气体供给管之间具有间隙，所述单元堆装置具有将插入部与反应气体供给管接合来密封间隙的一端的第一接合部，在沿着反应气体供给管的插入方向的任意剖面，第一接合部为弯月状，插入方向上的第一接合部与反应气体供给管的接合长度比反应气体供给管的厚度长。
单元装置燃料电池模块容纳

[发明专利]一种用于燃料气产生和燃烧的装置-CN201880078194.3有效
发明人： P·科索斯缇维特;S·革乌銮;P·那克素克;T·科索斯缇维特;K·伊姆山古安 -专利权人： P·科索斯缇维特
申请日： 2018-10-05 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： C10J3/84 文献下载
摘要：一种用于燃料气产生和燃烧的装置，所述装置包括用于接收和供给固体燃料的固体燃料进料单元；连接到所述固体燃料进料单元的气体产生单元，用于接收来自所述固体燃料进料单元的固体燃料；连接到所述气体产生单元的气体供给单元，用于向所述气体产生单元供给空气以引起气化反应；连接到所述气体产生单元的灰分捕捉单元，用于从燃料气中分离飞灰和粉尘；连接到所述灰分捕捉单元的燃烧器单元，用于燃烧燃料气；以及连接到所述气体产生单元和所述灰分捕捉单元的灰分排出单元，且所述灰分排出单元包括底灰排出部件和飞灰排出部件，其特征在于所述气体供给单元包括多个气体供给部件，其中至少一个气体供给部件连接到所述气体产生单元，且至少一个气体供给部件连接到所述灰分捕捉单元。
一种用于燃料产生燃烧装置

[发明专利]培养箱-CN202180018308.7在审
发明人：川崎康司;绪方嘉贵;西胁秀雄;角田大辅;益留纯;矢崎至洋;郭志强;北野司 -专利权人：株式会社爱瑞思
申请日： 2021-04-12 - 公布日： 2022-10-25 - 主分类号： C12M3/00 文献下载
摘要：具有培养室、循环单元、温度调节单元和供给净化用气体或加湿用水蒸气的气体供给单元。气体供给单元具备压缩气体产生单元、净化液供给单元、供水单元、混合气液调节器和产生净化用气体或水蒸气的气化器。在细胞培养前的独立净化时，气体供给单元作为向在循环路径中循环的空气供给净化用气体的净化单元发挥作用，在独立净化后的细胞培养时，气体供给单元作为对在循环路径中循环的空气进行加湿的加湿单元发挥作用。
培养

[发明专利]臭氧水制造装置、水处理装置以及臭氧水制造方法-CN202080101719.8在审
发明人：和田升;谷村泰宏;山内登起子 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2020-06-08 - 公布日： 2023-02-14 - 主分类号： C01B13/10 文献下载
摘要：本公开的臭氧水制造装置(100)具备供给包含氧气的第一气体的氧气供给单元(30)，和供给包含二氧化碳气体、氮气以及氮氧化物气体中的至少1种的第二气体的其他气体供给单元(31)，和通过对包含由氧气供给单元(30)供给的第一气体和由其他气体供给单元(31)供给的第二气体的气体进行放电处理来生成包含臭氧气体的第三气体的臭氧气体生成单元(32)，和通过将第三气体溶解于被溶解水来生成臭氧水的臭氧水生成单元(34
臭氧制造装置水处理以及方法

[发明专利]硫化学发光检测器-CN201980075518.2在审
发明人：山根雅史;中野茂畅 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2019-02-01 - 公布日： 2021-06-25 - 主分类号： G01N21/78 文献下载
摘要：本发明的硫化学发光检测器具备：加热炉，具备有第1供给口及第1供给口下游侧的第2供给口的气体流路，及加热气体流路的加热器；氧化还原用气体供给单元，通过第1供给口向气体流路供给氧化剂气体，通过第2供给口供给还原剂气体；反应池，使通过气体流路的样气与臭氧反应；臭氧供给单元，向反应池内供给臭氧；真空泵，连接反应池；光检测器，检测反应池内产生的光；信号接收部，接收使启动动作开始的启动信号；启动功能部，基于信号接收部接收的启动信号控制各部，使真空泵的抽真空动作、加热器的加热动作、氧化还原用气体供给单元的氧化剂气体供给动作、臭氧供给单元的臭氧供给动作、氧化还原用气体供给单元的还原剂气体供给动作依次执行。
硫化发光检测器

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