专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种气体流量稳定装置-CN202123376093.2有效
  • 朱俊秋;宋森鹏;黄伟;黄世祥;孙友鑫;黄进强 - 山东默锐科技有限公司
  • 2021-12-29 - 2022-06-10 - F17D1/02
  • 本实用新型涉及一种气体流量稳定装置,属于气体传输设备技术领域。装置包括气体制备单元、气体传输管道、流量稳定管道气体使用单元,其中,气体制备单元通过气体传输管道连接有气体使用单元,气体传输管道上并列设置有流量稳定管道,流量稳定管道和并列设置的气体传输管道上均设置有气动阀,气体传输管道末端设置有气体流量计。本实用新型通过管径变化增加管道阻力,进而增加前端的气体压力,从而起到稳定气体流量的作用,提高产品的生产质量,而且气体流量可调,可控性高。
  • 一种气体流量稳定装置
  • [实用新型]一种等离子气体用的传输装置-CN201921658773.3有效
  • 杨逸波 - 无锡英普朗科技有限公司
  • 2019-09-30 - 2020-05-22 - H01J37/32
  • 本实用新型涉及了气体传输技术领域,公开了一种等离子气体用的传输装置,包括:传输管道,所述传输管道的进口端和出口端分别与第一设备和第二设备连通,以将所述等离子气体从所述第一设备传输到所述第二设备中。气体加热器件,所述气体加热器件设于所述传输管道的内部,以对所述传输管道内流动的所述等离子气体进行加热。控制模块,所述控制模块设于所述传输管道外部,所述控制模块与所述气体加热器件电性连接,以对所述气体加热器件进行控制。电源,所述电源与所述控制模块电性连接,以对所述控制模块提供电能。本实用新型一种等离子气体用的传输装置,能够抑制等离子气体传输管道中沉积粉末,从而延长传输管道的维护周期。
  • 一种等离子体用传输装置
  • [实用新型]开松机防尘装置-CN202223230358.2有效
  • 黄信周;周辉;施晓亮 - 海门市苏洋机械制造有限公司
  • 2022-12-03 - 2023-06-30 - D01G9/14
  • 本实用新型公开了开松机防尘装置,包括开松机机架,开松机机架的顶端设置有开松机挡尘罩,开松机挡尘罩的内部连接有第一气体传输管道,第一气体传输管道的一端设置有气体传输箱,气体传输箱的一端设置有第二气体传输管道,第二气体传输管道的一端连接有开松机气泵,开松机气泵的底部设置有气泵支撑台,开松机气泵的一侧连接有第三气体传输管道,第三气体传输管道的一端设置有开松机除尘水箱,开松机除尘水箱上端的内部设置有除尘水箱挡板,开松机除尘水箱的顶部连接有气体排出管道;该开松机防尘装置,通过设置开松机除尘水箱、气体排出管道、液体导入管道、液体导出管道、导出管道进液口,实现了该开松机防尘装置的吸尘功能。
  • 开松机防尘装置
  • [实用新型]一种气体分布装置-CN202120712889.1有效
  • 张夏冬;邬冠群;朱辰;赵良 - 南京大学;南京浦世环境科技发展有限公司
  • 2021-04-08 - 2021-11-19 - B01J4/00
  • 本实用新型涉及一种气体分布装置,包括筒体和与筒体外壁相连的进气管道,所述筒体内设有若干水平排列的相互独立的气体分布管,各气体分布管的下方均设有出气孔,各气体分布管的中部设有气体进口,所述气体进口通过连接管与气体传输管道相连,所述气体传输管道与进气管道相连,所述进气管道通过进气口向气体传输管道输送气体气体经由气体传输管道进入连接管,并通过连接管进入气体分布管,由气体分布管的出气孔处排入筒体。上述技术方案中提供的气体分布装置,能有效解决现有反应过程中气液相反应物难以充分接触、影响反应速率的问题。
  • 一种气体分布装置
  • [实用新型]一种泄露气体类型判断设备-CN202122518399.0有效
  • 潘全梅 - 浙江圣安安全环保科技有限公司
  • 2021-10-19 - 2022-03-08 - G01N33/00
  • 本实用新型公开了一种泄露气体类型判断设备,属于泄露判断领域,一种泄露气体类型判断设备,包括安全防护罩、运输管道、防泄漏管道传输管、收集管、气体收纳瓶、阻隔挡板和收集单向阀;安全防护罩内设有安全防护腔;运输管道包括进入管道和输出管道;可以实现在化工气体传输过程中,将从运输管道和防泄漏管道内泄露出的化工气体收集在安全防护罩内,避免泄露气体暴露在空气中影响环境,同时将泄露的气体传输传输管内,并通过阻隔挡板阻隔,使得气体收集在气体收纳瓶内,以便于工作人员进行对泄露气体的检验和判断,实验分析得出泄露气体的变化类型,避免泄露的气体传输至输出管道内。
  • 一种泄露气体类型判断设备
  • [发明专利]一种气体检漏装置和方法-CN201610888994.4在审
  • 王保全;黄传涛;黄秋桦;周鹏 - 华霆(合肥)动力技术有限公司
  • 2016-10-11 - 2017-02-15 - G01M3/20
  • 本发明涉及检测技术领域,具体涉及一种气体检漏装置和方法,气体检漏装置包括箱体和检测连接管路。箱体具有容纳空间,检测连接管路连接有被检测产品,检测连接管路和被检测产品设置于容纳空间。箱体设置有气体输入接口,气体输入接口与检测连接管路连接。检测连接管路包括气体传输管道气体传输接口和用于连通或封堵气体传输管道的开关器件。气体传输管道的一端与气体输入接口连接、另一端通过气体传输接口与被检测产品连接。开关器件设置于气体传输管道并位于气体输入接口与气体传输接口之间。如此设置,可有效降低检漏成本,且操作性强。
  • 一种气体检漏装置方法
  • [发明专利]气体传输装置及具有其的基片处理设备-CN201110088632.4无效
  • 张秀川 - 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
  • 2011-04-08 - 2012-10-17 - C23C16/455
  • 本发明提出一种气体传输装置,包括:气体传输通路,气体传输通路中设有用于通入各反应气体的反应气体管道组和用于通入不与所述各反应气体相互反应的隔离气体的隔离气体管道;和至少一个气体喷口,所述气体喷口设置在所述气体传输通路上,且每个所述气体喷口包括沿所述气体传输通路的横截面方向排气的多层气孔,其中,所述多层气孔中的顶层气孔与所述隔离气体管道连通,所述多层气孔中所述顶层气孔以下的各层气孔匹配地与所述反应气体管道组中的各管道连通根据本发明的具有该气体传输装置的基片处理设备防止在顶盖和托盘底部发生沉积,并有效防止顶盖和托盘底部薄膜脱落导致颗粒污染。
  • 气体传输装置具有处理设备
  • [实用新型]管路清洗装置-CN201621425486.4有效
  • 裴家旺;王晓晨 - 中芯国际集成电路制造(天津)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
  • 2016-12-23 - 2017-07-28 - B08B9/032
  • 本实用新型提供了一种管路清洗装置,包括清洗液槽,所述清洗液槽通过一液体泵与传输管道的接入端连接,所述传输管道的另一端连接待清洗管路后通入所述清洗液槽;所述传输管道的接入端还连接一气体泵,所述传输管道的接入端通过管道选择装置与所述液体泵连通或者与所述气体泵连通本实用新型提供的管路清洗装置,通过液体泵可使得清洗液槽内的清洗液进入传输管道以及与传输管道连接的待清洗管路中,实现对于待清洗管路的清洗工作;使用后的清洗液再通入至所述清洗液槽中实现循环清洗的功能;通过控制管道选择装置来选择连通气体泵,然后可通过气体泵向传输管道以及与传输管道连接的待清洗管路内通入气体来吹干已清洗的管路。
  • 管路清洗装置

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