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[实用新型]一种探测气体传输管路中液体和泡沫的装置及系统-CN201320808783.7有效
发明人：王庆;梁敬;陈璐;董芳;杨名名;侯爱霞;张锦茂 -专利权人：北京瑞利分析仪器有限公司
申请日： 2013-12-10 - 公布日： 2014-07-16 - 主分类号： G01V1/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种探测气体传输管路中液体和泡沫的装置及系统，该装置包括第一气体传输管路、传感器、流路切换阀、第二气体传输管路、液体传输管路和控制单元，该第一气体运输管路出气口与该流路切换阀进气口相连，该流路切换阀的出气口与该第二气体传输管路的进气口相连，该流路切换阀的出液口与该液体传输管路进液口相连；该传感器安装在该第一气体传输管路上，该传感器和该流路切换阀分别与该控制单元之间电气连接，该探测装置用于气体检测装置，该气体检测装置的气体发生器出气口与该第一气体传输管路进气口相连，该第二气体传输管路出气口与该气体检测装置的气体检测器相连，该液体传输管路出液口与废液杯相连。
一种探测气体传输管路液体泡沫装置系统

[发明专利]一种气体传输管路升温方法、半导体工艺设备-CN202011332301.6有效
发明人：陈志敏;董曼飞;冯金瑞 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2020-11-24 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： C23C16/52 文献下载
摘要：本申请实施例提供了气体传输管路升温方法、半导体工艺设备，该方法包括：基于每一个气体传输管路的在预设时间段的结束时刻的温度，确定每一个气体传输管路对应的加热元件的用于同步升温的输出功率，其中，在预设时间段，每一个气体传输管路对应的加热元件以相同的预设初始输出功率输出；对于每一个气体传输管路，在预设时间段之后控制气体传输管路对应的加热元件的输出功率为气体传输管路的用于同步升温的输出功率。
一种气体传输管路升温方法半导体工艺设备

[实用新型]自清洗管路及晶圆处理装置-CN201920466634.4有效
发明人：丁洋;刘家桦;叶日铨;张文福 -专利权人：德淮半导体有限公司
申请日： 2019-04-08 - 公布日： 2020-01-21 - 主分类号： B08B9/032 文献下载
摘要：该实用新型涉及一种自清洗管路及晶圆处理装置，其中自清洗管路包括：循环管路，首尾相连，并连通至化学品源，用于供自化学品源流出的化学品流动；传输管路，连通到循环管路，将循环管路内流动的化学品排出至腔体；清洗液源，连通至传输管路，提供清洗传输管路用的清洗液；干燥气体源，连通至传输管路，用于提供干燥传输管路用的干燥气体；三通阀，连通至传输管路，以及连通至清洗液源和干燥气体源，用于控制清洗液和干燥气体流入至传输管路；四通阀，连通至循环管路的首尾、传输管路，以及三通阀，用于控制化学品、清洗液或干燥气体流入至传输管路。上述自清洗管路及晶圆处理装置降低了生产成本，提高了产品的良率，降低了清洗传输管路的难度。
传输管路连通循环管路干燥气体化学品清洗液自清洗晶圆处理装置干燥气体源化学品源清洗液源三通阀清洗首尾相连四通阀良率流动排出腔体首尾生产成本流出

[发明专利]一种气体检漏装置和方法-CN201610888994.4在审
发明人：王保全;黄传涛;黄秋桦;周鹏 -专利权人：华霆（合肥）动力技术有限公司
申请日： 2016-10-11 - 公布日： 2017-02-15 - 主分类号： G01M3/20 文献下载
摘要：本发明涉及检测技术领域，具体涉及一种气体检漏装置和方法，气体检漏装置包括箱体和检测连接管路。箱体具有容纳空间，检测连接管路连接有被检测产品，检测连接管路和被检测产品设置于容纳空间。箱体设置有气体输入接口，气体输入接口与检测连接管路连接。检测连接管路包括气体传输管道、气体传输接口和用于连通或封堵气体传输管道的开关器件。气体传输管道的一端与气体输入接口连接、另一端通过气体传输接口与被检测产品连接。开关器件设置于气体传输管道并位于气体输入接口与气体传输接口之间。如此设置，可有效降低检漏成本，且操作性强。
一种气体检漏装置方法

[发明专利]原子层沉积设备及方法-CN201811313709.1在审
发明人：秦海丰;史小平;李春雷;纪红;赵雷超;张文强 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2018-11-06 - 公布日： 2019-12-06 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：该设备包括反应腔室和气体传输系统；所述气体传输系统包括前驱体传输管路、前驱体吹扫管路、连接管路、与所述前驱体传输管路可通断性连接的前驱体源瓶，以及设置在与所述前驱体源瓶的出口连接的前驱体传输管路上的气体存储器；所述前驱体传输管路和所述前驱体吹扫管路共同汇入所述反应腔室；所述连接管路可通断性连接所述前驱体传输管路和所述前驱体吹扫管路。本发明通过在与前驱体源瓶出口连接的前驱体传输管路段内增加气体存储器，保证了对腔室反应的气体有效均匀的供给，并且降低了前驱体源瓶出口处的管路内的高压。
前驱体传输管路前驱体源吹扫管路气体传输系统气体存储器出口连接反应腔室连接管路通断原子层沉积设备传输管腔室保证

[发明专利]高温气冷堆湿度监测装置调试方法及调试装置-CN202210387500.X在审
发明人：程鹏;叶林;张迎晓;孟强;张智军;刘燕 -专利权人：华能山东石岛湾核电有限公司
申请日： 2022-04-14 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： G21C17/028 文献下载
摘要：本发明提供一种高温气冷堆湿度监测装置调试方法及调试装置，监测装置包括依次相连的气体入口管路、散热器、气体传输主管路、取样腔室、气体出口管路以及与气体传输主管路并联设置的气体流量调节支路。调试方法包括：使气体入口管路、气体流量调节支路与气体出口管路连通；调整散热器的散热率和气体流量调节支路中的气体流量，使得取样气体流量达到预设流量，取样气体的第一温度达到预设阈值；使气体入口管路、气体传输主管路与气体出口管路连通，获取取样气体的第二温度；根据第二温度和第一温度，确定湿度监测装置的调试结果。
高温气冷湿度监测装置调试方法

[实用新型]一种循环检测空气压缩系统-CN201620453037.4有效
发明人：江永铭 -专利权人：广东大满贯压缩机有限公司
申请日： 2016-05-18 - 公布日： 2016-11-23 - 主分类号： F04B51/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及空气压缩机领域，特别是一种循环检测空气压缩系统，包括进气管路和气体传输管路，进气管路自进气口依次连通安装有单向阀、空气滤清器、进气阀、螺杆压缩机和液气分离罐，液气分离罐顶部设有出风口；气体传输管路进气口安装于出风口，气体传输管路依次安装有储气罐、精密过滤器和活塞增压装置；液气分离罐与储气罐之间设有冷却装置，冷却装置设置于气体传输管路；气体传输管路还设有取样旁路，取样旁路用于检测气体的质量并与预设值进行对比，合格则调整换向阀将气体输送至储气罐，不合格则通过换向阀将气体导入循环回路再次进行加工，本实用新型提出的循环检测空气压缩系统能够有效对气体品质进行处理。
一种循环检测空气压缩系统

[实用新型]管路清洗装置-CN201621425486.4有效
发明人：裴家旺;王晓晨 -专利权人：中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2016-12-23 - 公布日： 2017-07-28 - 主分类号： B08B9/032 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种管路清洗装置，包括清洗液槽，所述清洗液槽通过一液体泵与传输管道的接入端连接，所述传输管道的另一端连接待清洗管路后通入所述清洗液槽；所述传输管道的接入端还连接一气体泵，所述传输管道的接入端通过管道选择装置与所述液体泵连通或者与所述气体泵连通本实用新型提供的管路清洗装置，通过液体泵可使得清洗液槽内的清洗液进入传输管道以及与传输管道连接的待清洗管路中，实现对于待清洗管路的清洗工作；使用后的清洗液再通入至所述清洗液槽中实现循环清洗的功能；通过控制管道选择装置来选择连通气体泵，然后可通过气体泵向传输管道以及与传输管道连接的待清洗管路内通入气体来吹干已清洗的管路。
管路清洗装置

[发明专利]一种回路热管-CN201810331702.6在审
发明人：赵雅楠;陈厚磊;梁惊涛 -专利权人：中国科学院理化技术研究所
申请日： 2018-04-13 - 公布日： 2018-08-28 - 主分类号： F28D15/04 文献下载
摘要：本发明涉及传热设备领域，公开了一种回路热管，包括蒸发器、冷凝器和用以连通所述蒸发器和所述冷凝器形成回路的传输管路，所述传输管路包括气体管路和液体管路，所述气体管路套设在所述液体管路内或所述液体管路套设在所述气体管路内通过将传输管路的气体管路和液体管路设置成管套管结构，与冷凝器和蒸发器连通形成回路，外形简单，结构紧凑，占用空间小，方便系统灵活布置；采用管套管结构，使得外层管路对内层管路形成有效的绝热保护，减小外界向内层管路的环境漏热
气体管路液体管路传输管路回路热管管套管结构冷凝器蒸发器连通冷凝器和蒸发器工作稳定性绝热传热设备管路形成外层管路占用空间减小漏热向内灵活

[实用新型]一种回路热管-CN201820527146.5有效
发明人：赵雅楠;陈厚磊;梁惊涛 -专利权人：中国科学院理化技术研究所
申请日： 2018-04-13 - 公布日： 2018-11-09 - 主分类号： F28D15/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及传热设备领域，公开了一种回路热管，包括蒸发器、冷凝器和用以连通所述蒸发器和所述冷凝器形成回路的传输管路，所述传输管路包括气体管路和液体管路，所述气体管路套设在所述液体管路内或所述液体管路套设在所述气体管路内通过将传输管路的气体管路和液体管路设置成管套管结构，与冷凝器和蒸发器连通形成回路，外形简单，结构紧凑，占用空间小，方便系统灵活布置；采用管套管结构，使得外层管路对内层管路形成有效的绝热保护，减小外界向内层管路的环境漏热
气体管路液体管路传输管路回路热管管套管结构冷凝器蒸发器连通冷凝器和蒸发器本实用新型工作稳定性绝热传热设备管路形成外层管路占用空间减小漏热向内灵活

[实用新型]气体传输管路用连接装置-CN202121160964.4有效
发明人：唐正良 -专利权人：无锡辉瑞达科技有限公司
申请日： 2021-05-27 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： F16L41/02 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种气体传输管路用连接装置，包括横向设置的管道，所述管道的顶部开设有第一通孔，该连接装置包括从上到下依次在管道顶部和底部的第一连接板和第二连接板，所述第一连接板和第二连接板的左右两侧可拆卸连接
气体传输管路连接装置

[发明专利]一种原子层沉积设备及方法-CN201810179329.7有效
发明人：纪红;史小平;李春雷;赵雷超;秦海丰;张文强 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2018-03-05 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：该设备包括反应腔室和至少两路气体传输系统，所述气体传输系统向所述反应腔室通入气体，每路所述气体传输系统包括：前驱体源、前驱体携载管路、前驱体稀释管路、前驱体吹扫管路和前驱体供应管路；所述前驱体吹扫管路可通断性连接所述前驱体携载管路和所述前驱体稀释管路；所述前驱体携载管路与所述前驱体源可通断性连接。本发明通过增加前驱体吹扫管路而增大了管路吹扫时通入前驱体管路的吹扫气体流量，可以有效地减少附着在管路内拐角或是盲端位置的残留物，降低工艺颗粒污染。
一种原子沉积设备方法

[实用新型]一种适用于CI源的GC-MS样品传输装置-CN202223306265.3有效
发明人：黄泽建;高佳奇 -专利权人：上海砺沐科学仪器有限公司
申请日： 2022-12-09 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： G01N30/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种适用于CI源的GC‑MS样品传输装置，包括气相色谱仪、传输线和质谱仪，气相色谱仪内设有色谱柱，色谱柱输入端连接样品进样系统；传输线内设有样品传输管路，样品传输管路采用三通结构，样品传输管路的输入端连接色谱柱的输出端，样品传输管路的另一输入端外接反应气体，样品传输管路的输出端连接质谱仪的输入端。本实用新型采用三通接口结构的传输法兰，使得CI源反应气体进气管路与连接色谱柱输出端及质谱仪输入端的样品传输管路相连，实现对系统的集成与结构优化；节省了空间，优化了质谱腔体的结构，提高了对装置的维护效率。同时反应气体通过传输法兰进入样品传输管路并与色谱柱的样品混合后进入质谱仪中，也提高了工作效率。
一种适用于 ci gc ms 样品传输装置

[发明专利]晶片处理装置和晶片处理方法-CN201110097931.4无效
发明人：李谦 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2011-04-19 - 公布日： 2012-10-24 - 主分类号： H01L33/00 文献下载
摘要：晶片处理装置包括传输平台，所述传输平台包括用于传输晶片的腔体和设置于所述腔体内部的承载单元，所述承载单元用于承载晶片所述装置还包括：气体管路，所述气体管路设置于所述腔体上，且所述气体管路用于向所述腔体内部提供吹扫气体本发明中气体管路提供的吹扫气体可以对晶片进行吹扫，以去除晶片表面的颗粒，避免了颗粒对晶片的污染，从而提高了工艺腔室对晶片进行工艺处理的良品率。
晶片处理装置方法

[发明专利]一种气体传输管路系统-CN202211203791.9在审
发明人：高鹏飞;吴凤丽;杨华龙;赵坤;张启辉;张恩慈 -专利权人：拓荆科技股份有限公司
申请日： 2022-09-29 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： F17D1/02 文献下载
摘要：本发明涉及半导体制造技术领域，更具体的说，涉及一种气体传输管路系统。本发明提供了一种气体传输管路系统，包括化学源传输管路、化学源吹扫管路和连接管路：所述化学源传输管路，包括化学源输入管路和化学源输出管路；所述化学源输入管路，可通断地与化学源吹扫管路连接；所述化学源输出管路，可通断地与连接管路连接，设置有至少一个ALD阀；所述化学源吹扫管路，可通断地分别与化学源输入管路、化学源输出管路和连接管路连接；其中，所述化学源输出管路，设置有喷口；所述喷口，设置在所述至少一个ALD本发明提供的气体传输管路系统，既可以实现化学源流入量的精准控制，又可以大大提高吹扫效率，减少工艺时间，提高产量。
一种气体传输管路系统

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