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- [发明专利]一种枚叶式晶圆清洗机-CN202211128209.7有效
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贺贤汉;陈有生;张城;赖章田
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上海申和投资有限公司
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2022-09-16
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2023-06-20
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B08B3/10
- 本发明涉及存储器技术领域，具体是涉及一种枚叶式晶圆清洗机包括两组竖直翻转臂，每组竖直翻转臂上均设有清洁组件，每个清洁组件均包括两个滚筒刷、从动机构、驱动机构和离合机构，从动机构包括水平转轴和两个一号伞齿，驱动机构包括往复丝杆管、滑块、花键轴和二号伞齿，离合机构包括移动座、拉簧和提拉绳，在位于内侧的两个滚筒刷旋转对晶圆的两侧进行清洁时，两个一号电机分别驱动两个竖直旋转臂进行180°翻转，使得位于外侧且自身洁净的两个滚筒刷旋转至内侧继续对晶圆进行清洁工作，两个附着较多污垢的滚筒刷会被旋转至外侧，此时再对外侧的两个滚筒刷进行清洁，以此循环往复，即可实现每次对晶圆进行清洁的滚筒刷都处于自洁净的状态。
- 一种枚叶式晶圆清洗
- [发明专利]一种晶圆提取装置-CN201410482236.3有效
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黄仁东
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上海集成电路研发中心有限公司
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2014-09-19
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2017-09-29
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H01L21/687
- 本发明公开了一种晶圆提取装置，该装置将一组按垂直于晶舟中的晶圆轴向设置且与晶圆数量、位置分别对应的杠杆安装在中空的晶舟承载平台和晶圆推进操作平台内，并通过各杠杆间独立的转动，带动与杠杆连接的推进杆使之穿过晶舟承载平台的上表面开口垂直移动，从而可将晶舟承载平台上安装的晶舟中对应的晶圆顶起，并使被顶起的晶圆与相邻晶圆之间形成高度差。这样，就无须将真空吸笔伸入到二枚相邻晶圆之间,即可实现晶圆的安全提取。因此，本发明避免了在使用真空吸笔手动从晶舟内提取晶圆时触碰到其他晶圆而造成晶圆损伤及污染的问题。
- 一种提取装置
- [实用新型]一种晶圆治具-CN202221168065.3有效
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白胜清;王森民
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甬矽半导体（宁波）有限公司
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2022-05-16
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2022-09-30
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H01L21/687
- 本申请公开了一种晶圆治具，涉及治具技术领域，包括外圆环，外圆环的外围开设有圆环缺口，且外圆环的内侧安装有内圆环，内圆环与外圆环之间滚动连接有若干枚滚珠，且内圆环的内侧还放置有晶圆，晶圆的外围开设有晶圆缺口本申请所述治具通过滚珠实现外圆环和内圆环进行相对旋转，且确保晶圆缺口与圆环缺口一致，通过放置多个定位块，实现固定圆环，且采用外圆环和内圆环，双圆环旋转实现调整缺口方向，以及内圆环实现放置晶圆以及贴附蓝膜，且实现晶圆固定，尽量避免重新拆卸圆环且安装晶圆，从而提升了作业效率以及旋转设计，可以实现多方向和多角度作业定位晶圆。
- 一种晶圆治具
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