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[发明专利]晶棒档片及晶棒切割方法-CN202011004365.3有效
发明人：周虹 -专利权人：上海新昇半导体科技有限公司
申请日： 2020-09-22 - 公布日： 2022-07-19 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明提供一种晶棒档片及晶棒切割方法。在晶棒切割过程中两个晶棒档片对称贴置于待切割晶棒的相对两侧，且沿晶棒的长度方向延伸。晶棒档片具有两个相对的表面，其中，与晶棒相贴置的表面为弧形面，晶棒部分嵌入弧形面内；切割时，晶棒放置于粘接有树脂条的工件板上，晶棒档片与粘接有树脂条的工件板位于晶棒的不同侧面，且与树脂条具有间距，在晶棒切割过程中晶棒档片被同步切割由于有晶棒档片的缓冲，12寸硅片的翘曲，尤其是晶棒侧面(垂直于进给方向)的进出线侧翘曲可以显著降低，从而可以有效减小硅片的翘曲，有助于提高切割品质。本发明尤其适用于采用结构线进行切割，在提高切割速度的同时可以有效提高硅片的表面平坦度及切割品质。
晶棒档片切割方法

[实用新型]蓝宝石晶棒检测装置-CN202222104866.X有效
发明人：许永峰;宋亚滨;翟虎;陆继波;潘涛;陈桥玉 -专利权人：甘肃旭晶新材料有限公司;北京远大信达科技有限公司
申请日： 2022-08-09 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： G01N33/38 文献下载
摘要：本实用新型提供一种蓝宝石晶棒检测装置，涉及玻璃制品检测技术领域。蓝宝石晶棒检测装置包括：旋转平台，带动蓝宝石晶棒转动；一端开口的密封罩，封罩旋转平台以及蓝宝石晶棒；扫描机构，用于扫描蓝宝石晶棒的表面并发送蓝宝石晶棒的表面扫描结果；显示控制装置，与扫描器机构电连接，用于接收和显示蓝宝石晶棒的表面扫描结果，以及发出对应的标记指令；标记机构，设置在密封罩的内侧壁上，与显示控制装置电连接，用于根据标记指令沿内侧壁的竖直方向上下移动以在蓝宝石晶棒的表面做标记。该蓝宝石晶棒检测装置，解决了现有技术中人工检验蓝宝石晶棒时因蓝宝石晶棒表面容易粘粘灰尘造成误检的问题，提高了检测精度，保护了检测人员的身体健康。
蓝宝石检测装置

[发明专利]一种晶棒的开槽方法及晶棒开槽装置-CN202011480406.6有效
发明人：孙介楠 -专利权人：西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司
申请日： 2020-12-15 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本公开提供一种晶棒的开槽方法及晶棒开槽装置，所述晶棒的开槽方法，包括：检测晶棒的原始晶向；将晶棒除所述晶棒的头部和尾部之外的棒体部分在轴向方向上分为至少两个子区域，根据所述原始晶向，确定不同子区域的开槽方向，以确定晶棒表面的开槽路线图案，其中相邻两个子区域的所述开槽方向不同；根据所述开槽路线图案，控制激光器的移动轨迹，利用激光器放出的激光束对晶棒表面熔烧，以在晶棒表面形成开槽路线激光标记；控制开槽机构的刀头按照激光标记轨迹进行开槽，以形成各子区域上的开槽；各子区域的开槽完成后，切割所述晶棒，以使各所述子区域切割后形成为单独硅块。本公开晶棒的开槽方法及晶棒开槽装置，能够提升效率，提升设备产能。
一种开槽方法装置

[发明专利]晶棒表面之调质方法及其晶棒-CN201210011835.8有效
发明人：陈炤彰;郑世隆;刘建亿;陈钰麟;黄国维;郑守智 -专利权人：昆山中辰矽晶有限公司
申请日： 2012-01-05 - 公布日： 2013-07-10 - 主分类号： C30B33/02 文献下载
摘要：一种晶棒表面之调质方法，包含以下步骤：步骤一：提供一晶棒，并以一盖体罩盖该晶棒；步骤二：利用一加热单元将该晶棒加热至一预定温度并持温一段时间；及步骤三进行一冷却步骤，以将该晶棒冷却；其中，该盖体至少具有一部分的透明区域，使该加热单元的热辐射透过该透明区域而对该晶棒进行加热，藉此，晶棒表面的损伤层可藉由此一退火制程而加以消除。
表面方法及其

[发明专利]防晶棒坠落装置、晶体生长设备及防止晶棒坠落方法-CN202211532815.5在审
发明人：颜子棋;李向阳 -专利权人：徐州鑫晶半导体科技有限公司
申请日： 2022-11-30 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种防晶棒坠落装置、晶体生长设备及防止晶棒坠落的方法，防晶棒坠落装置包括：安装座和托臂，托臂可活动地设于安装座上，托臂在第一防坠位置和第二防坠位置之间可活动，在第一防坠位置时，托臂位于晶棒的下侧，托臂适于与晶棒的尾部的外表面接触，或，托臂适于与尾部上下相对，以使托臂可承接晶棒；在第二防坠位置时，托臂位于晶棒的径向外侧，托臂与晶棒的等径部的外表面接触，或，托臂与等径部的外表面之间的间距小于预设防坠间距，以使托臂可承接晶棒。根据本发明的防晶棒坠落装置，可以在取棒的整个过程中，为晶棒提供承接作用，进而可以防止晶棒坠落至地面，降低对晶棒本身、地面操作人员及生长设备造成损坏及伤害。
防晶棒坠落装置晶体生长设备防止方法

[发明专利]晶棒表面纳米化工艺、晶圆制造方法及其晶圆-CN201210017290.1无效
发明人：钱俊逸;李建志;杨昆霖;徐文庆 -专利权人：昆山中辰矽晶有限公司
申请日： 2012-01-19 - 公布日： 2013-06-19 - 主分类号： C30B33/00 文献下载
摘要：一种晶棒表面纳米化工艺，是在晶棒进行切片步骤之前，先针对晶棒的至少一表面进行一表面处理步骤，以及在所述表面形成一具有纳米结构的微结构层；所述的具有纳米结构的微结构层可强化晶棒表面的强度，以降低切片时的碎边率本发明还涉及晶圆制造方法及其晶圆。
表面纳米化工制造方法及其

[实用新型]一种半导体晶棒性能连续测试架-CN202221799198.0有效
发明人：沈华;刘喜荣 -专利权人：宏易半导体（南通）有限公司
申请日： 2022-07-13 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： G01R1/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半导体晶棒性能连续测试架，本实用新型涉及晶棒检测技术领域。该半导体晶棒性能连续测试架，包括测试架主体，所述测试架主体的表面固定安装有放置箱。本实用新型通过设置转盘、伺服电机和驱动齿轮等，当放置箱的内部装满晶棒后，晶棒会自动滚动到卡口的内部，当抽气泵启动时，吸盘会紧紧吸附在晶棒的表面，通过转盘的转动，可以持续对晶棒进行检测，当档杆的表面抵靠在挡块的表面时，档杆会带动第二过渡齿轮转动，第二过渡齿轮通过第一过渡齿轮带动齿板滑动，当密封块滑动到连接槽的内部时，吸盘通过连通槽与外界相连通，此时吸盘停止对晶棒吸附，晶棒会自动落在输送带的表面进行输送，加强了高效性
一种半导体性能连续测试

[发明专利]晶棒表面纳米化制程及其晶圆制造方法-CN201110100068.3有效
发明人：钱俊逸;李建志;杨昆霖;徐文庆 -专利权人：昆山中辰矽晶有限公司
申请日： 2011-04-11 - 公布日： 2012-10-17 - 主分类号： C30B33/10 文献下载
摘要：一种晶棒表面纳米化制程，系在晶棒进行切片步骤之前，先针对晶棒之至少一表面进行一表面处理步骤，以于该表面形成一具有纳米结构之微结构层；所述之具有纳米结构之微结构层可强化晶棒表面的强度，以降低切片时的碎边率
表面纳米化制程及其制造方法

[发明专利]一种粘棒装置及其粘棒方法-CN201410606430.8在审
发明人：余小金;方建和;郜勇军 -专利权人：浙江矽盛电子有限公司
申请日： 2014-10-31 - 公布日： 2015-03-11 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种粘棒装置及其粘棒方法，装置包括晶棒、晶托板、磨砂玻璃、玻璃片，磨砂玻璃水平放置与晶托板固定连接，晶棒水平放置固定连接在磨砂玻璃的上表面上，玻璃片的内侧表面与晶棒的端部端面固定连接。方法包括如下步骤：先将磨砂玻璃粘接到晶托板上；然后将晶棒水平放置，并粘接到磨砂玻璃上；在晶棒的两端的端面上分别粘贴一块玻璃片，其中，将玻璃片的内侧表面紧靠着所述晶棒的两端的端面，将玻璃片的底部紧贴着所述磨砂玻璃的上表面有益效果是：粘接操作简单方便，减小了晶棒的两端在切割过程中受到的向外胀的作用力，从而降低了晶棒产生头尾片次品的数量，提高了成品率。
一种装置及其方法

[发明专利]一种晶棒的处理方法-CN202310966148.X在审
发明人：张银鹏;王进;任检;汪锡文 -专利权人：安徽华晟新材料有限公司
申请日： 2023-07-31 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明提供一种晶棒的处理方法，包括：设定晶棒粘结区，晶棒粘结区至少包括间隔设置的处于同一平面的第一区、第二区和位于第一区和第二区之间的溢胶区；在第一区设置第一胶膜层，在第二区与第一区设置第一胶膜层的同侧设置第二胶膜层；在第一胶膜层的表面粘结第一晶棒，在第二胶膜层的表面粘结第二晶棒，使得第二晶棒与第一晶棒并排且间隔设置，溢胶区的宽度大于或等于第二晶棒与第一晶棒之间的间距；在粘结第一晶棒和第二晶棒的过程中，溢胶区用于容纳第一胶膜层和第二胶膜层溢出的部分胶膜；对第一晶棒和第二晶棒进行切割。本发明提供的晶棒的处理方法通过在晶棒粘结区设有溢胶区，能够避免溢出的胶膜产生堆积，进而提高晶棒的切割质量。
一种处理方法

[发明专利]一种单晶炉晶棒周转车-CN202211180778.6在审
发明人：曹建伟;朱亮;傅林坚;叶钢飞;叶雷江;阮文星 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2022-09-27 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： B62B3/04 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种单晶炉晶棒周转车，属于晶棒相关技术领域，作用于晶棒，周转车包括：周转车本体；夹持机构，夹持机构和周转车本体的上表面连接，夹持机构本身可转动，夹持机构用于夹持晶棒且带动晶棒转动；承载机构，承载机构和周转车本体的上表面连接，且承载机构位于夹持机构的侧面，使得承载机构可承接从夹持机构中脱离夹持的晶棒；以及线切机构，线切机构和周转车本体的上表面连接，且线切机构位于承载机构的侧面，线切机构用于对承载机构中的晶棒进行首尾截断；达到晶棒加工时缩短工艺流程的技术效果。
一种单晶炉晶棒周转

[发明专利]一种晶棒粘棒用清洗液及使用该清洗液的粘棒工艺-CN201110458003.6无效
发明人：张驰;熊震;付少永;王梅花 -专利权人：常州天合光能有限公司
申请日： 2011-12-30 - 公布日： 2012-07-18 - 主分类号： C11D1/83 文献下载
摘要：本发明涉及一种晶棒粘棒用清洗液及使用该清洗液的粘棒工艺。清洗液的配比为：羟乙基纤维素∶丙二胺四乙酸∶去离子水＝(0.1％-1.6％)∶(1％-6％)∶(92.4％-98.9％)。一种晶棒粘棒工艺，包括下列步骤：第一步、晶棒前处理；第二步、使用清洗液在超声机中超声清洗晶棒：第三步、漂洗；第四步、使用清洗液在超声机中超声清洗玻璃板；第五步、漂洗；第六步、粘棒。通过该清洗液清洗的晶棒和玻璃板能确保去除黏附在晶棒和玻璃板表面的油污和微小硅粉等杂质颗粒，同时确保清洗后晶棒表面具有良好的润湿性能，降低空气中粉尘等杂质颗粒在晶棒表面的黏附力，改善晶棒和玻璃板表面的洁净度以及附着力，从而降低硅片切割过程中的脱胶掉棒现象，提高切片收益率。
一种晶棒粘棒用清洗使用工艺

[发明专利]一种多线切割晶棒断线后的救棒处理方法-CN201210157346.3无效
发明人：王文广;周光进;应红飞 -专利权人：浙江晟辉科技有限公司
申请日： 2012-05-21 - 公布日： 2013-12-04 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种多线切割晶棒断线后的救棒处理方法，该方法主要是先将超声容器放置于主辊之间以及晶棒的下部，使晶棒置于超声容器内，在超声容器内注入清水清洗晶棒表面及线缝中的砂浆悬浮液；然后在超声容器内倒入无水乙醇清洗晶棒表面及线缝中的砂浆悬浮液残留及其他杂质；之后用压缩空气吹干晶棒表面及线缝中无水乙醇即可；采用本发明，因无需将晶棒从工件夹上取下，切割时的原点位置容易寻找，重装对刀时降低了误差，可提高救棒的成功率；由于通过先清水后无水乙醇的超声清洗，能更有效的除去晶棒表面及线缝中的砂浆悬浮液
一种切割断线处理方法

[实用新型]一种单晶棒运输周转装置-CN201922238251.4有效
发明人：邹江华;卢亮;张坚;苏腾;肖贵云;张涛;金浩 -专利权人：晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司
申请日： 2019-12-13 - 公布日： 2020-07-24 - 主分类号： B62B3/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单晶棒运输周转装置，包括周转基座、设置在所述周转基座表面用于容纳晶棒的凹槽以及设置在所述周转基座表面用于对放置在所述凹槽的所述晶棒进行固定的活动固定件。通过在周转基座设置用于容纳晶棒的凹槽，并通过活动固定件进行固定，使得在晶棒的运送过程中，叉车将转运车叉起后，不会发生晶棒的滚动或滑动，晶棒不会从凹槽中滑出来，不会造成晶棒碰撞或掉落等事故，提高了转运的安全性
一种单晶棒运输周转装置

[发明专利]截面为多边形的晶棒及衬底片表面取向的标识方法-CN201310444715.1无效
发明人：王文军;李晋闽;王军喜;马平;纪攀峰;郭金霞;孔庆峰;胡强 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2013-09-26 - 公布日： 2014-01-01 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：一种截面为多边形的晶棒及衬底片表面取向的标识方法，包括如下步骤：步骤1：在截面为多边形的晶棒上，选取一个平行于晶棒轴向的柱面作为表面取向标识的第一特征；步骤2：在具有第一特征的柱面上沿着晶棒轴向平行于棱边制做一个微型沟槽，作为表面取向标识的第二特征，将晶棒切片，制作成多边形衬底片；步骤3：利用第一特征和第二特征的组合，对多边形衬底片的表面取向进行标识，完成对晶棒及衬底片表面取向的标识。
截面多边形衬底表面取向标识方法

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