专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]掩模版保护膜的撬膜装置-CN201921385839.6有效
  • 张闯;严江伟 - 无锡迪思微电子有限公司
  • 2019-08-23 - 2020-06-26 - G03F1/62
  • 本实用新型提供掩模版保护膜的撬膜装置,包括:掩模温控模块,该模块设置于下平台内;膜冷却模块,位于上盖板上且对应膜位置,用于对模降温;掩模版固定装置,分布在掩模版外周圈,用于固定掩模版;连接件,用于连接上盖板与膜,上盖板开启时,带动膜、保护膜从掩模版上脱离,本专利申请利用掩模版加热模块对掩模版进行加热,在通过高温将掩模版上的胶融化的同时,并利用液体冷却给于膜低温特性,增强胶对膜的粘性,从而使去膜过程中,既降低了胶对掩模铬层带来伤害的风险,也减少了胶粘附在掩模版上的几率。
  • 模版保护膜装置
  • [发明专利]蒸镀掩模和蒸镀掩模的制造方法-CN201980089786.X在审
  • 松本优子 - 株式会社日本显示器
  • 2019-10-31 - 2021-08-31 - C23C14/04
  • 蒸镀掩模的制造方法包括:在基板上形成具有多个开口的掩模主体的步骤;形成覆盖多个开口且将掩模主体的外周露出的绝缘层的步骤;在掩模主体的外周配置粘接部件的步骤;在掩模主体的外周,以与粘接部件相接的方式配置保持的步骤;在掩模主体与保持之间形成连接部件的步骤;去除绝缘层的步骤;和从掩模主体剥离基板的步骤。这样制造的蒸镀掩模包括:具有多个开口的掩模主体;配置于掩模主体的外周的保持;和连接部件,其配置于保持的底面和侧面,且配置于保持的底面与掩模主体之间。
  • 蒸镀掩模制造方法
  • [发明专利]遮蔽掩模图案的形成方法-CN200510092324.3有效
  • 金振圭;韩尚辰;康熙哲;姜有珍 - 三星SDI株式会社
  • 2005-08-26 - 2006-07-12 - G03F1/00
  • 本发明提供一种遮蔽掩模图案的形成方法,其在施加有拉力的状态下首先焊接在掩模框上,利用激光形成蒸镀图案,由此容易制作大面积的掩模,并且加工步骤及设备简单,能够缩短加工时间。本发明的遮蔽掩模图案的形成方法包括使遮蔽掩模(10)附着在掩模(20)上的步骤、在所述已附着的遮蔽掩模(10)上形成图案的步骤,另外,使所述遮蔽掩模(10)附着在所述掩模(20)上的步骤包括使所述遮蔽掩模(10)与所述掩模(20)邻接的步骤、向所述遮蔽掩模(10)施加外力的步骤、在所述掩模(20)上接合施加有外力的所述遮蔽掩模(10)的步骤。
  • 遮蔽图案形成方法
  • [实用新型]掩模版保护装置及掩模结构-CN202222519821.9有效
  • 林岳明;季明华;黄早红 - 上海传芯半导体有限公司
  • 2022-09-22 - 2023-01-24 - G03F1/62
  • 本申请涉及一种掩模版保护装置及掩模结构。本申请提供的掩模版保护装置,包括:保护,设置于掩模版的至少一侧;以及,保护膜,无胶键合于所述保护背离所述掩模版的表面,并密封所述保护的开口。本申请提供的掩模版保护装置,能够避免由于保护膜与保护采用粘合剂进行粘接而导致掩模版表面雾化的问题,减少掩模版的损耗,避免掩模版受到污染进而损坏其上掩模图案,有利于实现掩模版的重复使用和长期使用。
  • 模版保护装置结构
  • [发明专利]安装沉积掩模的柔性-CN200380108073.2无效
  • T·K·克拉克 - 伊斯曼柯达公司
  • 2003-12-12 - 2006-02-08 - C23C14/04
  • 把沉积掩模(12)安装在柔性(14)上的一种方法,该方法应用于制作OLED中通过可撕开沉积掩模的材料真空沉积,所述方法包含步骤:提供具有制作在其上的可撕开沉积掩模的底板(38);提供具有边界部分(10)的柔性,这种边界部分构成的开口,所述的开口对应于可撕开沉积掩模的边界部分;使柔性的边界部分与可撕开沉积掩模的边界部分对准并然后固定它们,和从底板上取去柔性及已固定的可撕开沉积掩模;和把柔性与可撕开沉积掩模在支持件(26)中安装起来,支持件(26)在随后的材料真空沉积期间保持可撕开沉积掩模的平面性。
  • 安装沉积柔性
  • [发明专利]可循环使用的掩模板板及具有它的掩模-CN201510705296.1有效
  • 唐军 - 唐军
  • 2015-10-27 - 2015-12-30 - C23C14/04
  • 本发明涉及一种可循环使用的掩模板板及具有它的掩模板,其中,掩模板板包括框体及连接块,所述框体的中央形成镂空区,所述镂空区的外围形成沿,所述沿的顶面设有固定孔;所述连接块以可拆卸方式固定于所述固定孔内,且所述连接块具有一适于与掩模板膜片贴附的贴合面。根据本发明提供的可循环使用的掩模板板及具有它的掩模板,可方便于掩模板膜片的更换,而板可以重复循环使用,大幅度降低成本。
  • 循环使用模板具有
  • [实用新型]可循环使用的掩模板板及具有它的掩模-CN201520839746.1有效
  • 唐军 - 唐军
  • 2015-10-27 - 2016-05-04 - C23C14/04
  • 本实用新型涉及一种可循环使用的掩模板板及具有它的掩模板,其中,掩模板板包括框体及连接块,所述框体的中央形成镂空区,所述镂空区的外围形成沿,所述沿的顶面设有固定孔;所述连接块以可拆卸方式固定于所述固定孔内,且所述连接块具有一适于与掩模板膜片贴附的贴合面。根据本实用新型提供的可循环使用的掩模板板及具有它的掩模板,可方便于掩模板膜片的更换,而板可以重复循环使用,大幅度降低成本。
  • 循环使用模板具有
  • [发明专利]一种掩模框架及其对应的掩模组件-CN201210329270.8在审
  • 魏志凌;高小平;张炜平 - 昆山允升吉光电科技有限公司
  • 2012-09-07 - 2014-03-26 - C23C14/04
  • 本发明公开了一种掩模框架及其对应的掩模组件,其中掩模框架包括包含两组对边的内、置于内外侧的强化杆及用于连接内和强化杆的连接机构;内与强化杆接触部分有支撑机构,造成两者之间存在一定的间隙,同时,内与强化杆对应区域有配合孔,配合孔的排布可根据受力情况进行计算排布;掩模框架还可以包括支撑杆和弹性部件,可以进一步降低掩模板的下垂现象。本发明公开的对应的掩模组件包括本发明公开的掩模框架和掩模部件,掩模部件可以是单块一体成型的掩模板,也可以是多块拼接在一起的掩模板。本发明公开的一种掩模框架及其对应的掩模组件可以进一步降低掩模板的下垂现象,提升产品质量、精度以及良品率,同时也可以制备尺寸更大的面板。
  • 一种框架及其对应模组
  • [发明专利]掩模对准系统和方法-CN201510869520.0有效
  • 布赖恩·阿瑟·布奇 - 阿德文泰克全球有限公司
  • 2015-10-16 - 2019-09-10 - C23C14/04
  • 本发明涉及多掩模对准系统和方法。在一种多掩模对准系统和方法中,提供了具有贯穿其的若干孔径的载体。也提供了若干阴影掩模组合。每个阴影掩模组合包括第一组对准特征,并且每个阴影掩模组合被定位在载体的第一侧,支撑阴影掩模与孔径中的一个对准。提供了对准系统,并且也提供了包括可编程的控制器的控制系统。在控制器的控制下,对准系统基于通过控制器确定的第一组对准特征的位置相对于载体来调整每个阴影掩模组合的位置。
  • 多掩模对准系统方法

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