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- [发明专利]投影仪-CN202110274383.1有效
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增泽健太
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精工爱普生株式会社
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2021-03-15
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2023-08-29
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G03B21/14
- 一种投影仪,提高配置于投影仪的装置前面的传感器与投射光学系统的相对位置精度。投影仪具有:光源;光调制装置,其对从光源射出的光进行调制;投射光学系统,其投射由光调制装置调制后的光;图像传感器,其取得与由投射光学系统投射的像相关的信息;壳体,其收纳光源、光调制装置以及图像传感器;传感器保持部投射光学系统具备在内部收纳透镜并供由光调制装置调制后的光通过的镜筒。镜筒借助镜筒保持部被壳体保持。传感器保持部被镜筒保持部保持。
- 投影仪
- [发明专利]基板处理装置、器件制造系统及器件制造方法-CN201380066736.2在审
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加藤正纪
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株式会社尼康
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2013-11-29
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2015-08-26
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G03F7/24
- 具有:投影光学系统(PL),使来自光罩(M)的第1投影光束(EL2a)成像而形成中间像,使来自形成中间像的中间像面(P7)的第2投影光束(EL2b)在基板(P)上再成像而形成投影像;光量减少部,将从第1投影光(EL2a)产生的投射至基板(P)上的泄漏光的光量减少,投影光学系统(PL)具有:部分光学系统(61),使来自光罩(M)的第1投影光(EL2a)成像并投射至中间像面(P7);反射光学系统(62),将从部分光学系统(61)投射的第1投影光(EL2a)引导至中间像面(P7),且将来自中间像面(P7)的第2投影光(EL2b)引导至部分光学系统(61),部分光学系统(61)使来自中间像面(P2)的第2投影光
- 处理装置器件制造系统方法
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