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- [实用新型]承载设备-CN202220767311.0有效
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张龙;方一;陈鲁;张嵩
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深圳中科飞测科技股份有限公司
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2022-04-01
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2022-09-16
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G01R1/04
- 本实用新型实施例公开的一种承载设备，包括：气浮承载装置，包括承载层、间隔层和气路连接层，所述间隔层连接在所述承载层的一侧，所述气路连接层连接在所述间隔层远离所述承载层的一侧，所述承载层、所述间隔层和所述气路连接层之间形成有第一气压通道和第二气压通道；以及密封组件，设置在所述气浮承载装置上。本实用新型实施例提供的承载设备通过设置第一气压通道和第二气压通道对待测件进行分别送气和排气从而实现气浮承载，还设置有密封组件用于对气路连接通道进行密封以提高承载设备的气密性，进而提高承载设备的气浮承载效果
- 承载设备
- [实用新型]承载装置-CN202220772459.3有效
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张龙;方一;陈鲁;张嵩
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深圳中科飞测科技股份有限公司
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2022-04-01
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2022-09-16
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H01L21/683
- 本实用新型实施例公开的一种承载装置，包括：承载层，设置多个第一安装孔；间隔层，连接在承载层一侧、设置多个第二安装孔，多个第一安装孔与多个第二安装孔的第一部分第二安装孔相对应；气路连接层，连接在间隔层远离承载层一侧、且与承载层、间隔层形成第一气压通道和第二气压通道，气路连接层设置多个第三安装孔，多个第三安装孔与多个第二安装孔的第二部分第二安装孔相对应；多个第一紧固件，穿过多个第一安装孔并连接在与第一安装孔对应的第一部分第二安装孔本申请提供的承载装置设置紧固组件以提高承载装置的气浮承载效果和延长承载装置的使用寿命。
- 承载装置
- [实用新型]承载座-CN202220987101.2有效
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彭智旸
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杰宝设计有限公司
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2022-04-26
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2022-09-06
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B62J9/27
- 本实用新型提供一种承载座，包括一承载片以及一支撑机构，支撑机构衔接于承载片，支撑机构包含二个支撑片，二个支撑片不平行于承载片，且支撑机构具有一第一轴杆架设区以及一第二轴杆架设区，第一轴杆架设区包含二个第一定位部，二个第一定位部分别设置于二个支撑片的相对应位置以形成一第一轴线，第二轴杆架设区包含二个第二定位部，二个第二定位部分别设置于二个支撑片的相对应位置以形成一第二轴线；借此可通过承载片架设承载物，并通过支撑机构进行双轴心定位而防止承载座偏转
- 承载
- [实用新型]承载设备-CN202220770347.4有效
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张龙;方一;陈鲁;张嵩
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深圳中科飞测科技股份有限公司
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2022-04-01
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2022-08-09
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H01L21/683
- 本实用新型实施例公开的一种承载设备包括：气浮承载装置，设置有正、负气压通道，气浮承载装置包括承载面，承载面中部设置有安装孔，气浮承载装置设置有与安装孔连通的定位孔；翘曲矫正结构，包括：矫正盘，固定在安装孔内且设置有第一矫正气压通道；导气件，连接矫正盘且设置在定位孔内，导气件设置有第二矫正气压通道，第二矫正气压通道连通第一矫正气压通道；气路控制部件，连接在气浮承载装置远离承载面的一侧上，气路控制部件设置有第三矫正气压通道，第三矫正气压通道连通第二矫正气压通道本申请提供的承载设备通过设置翘曲矫正结构，以解决待测晶圆出现翘曲的问题，使得待测晶圆的表面平整度得以提高，进而提高待测晶圆的精度。
- 承载设备
- [实用新型]承载装置-CN202121164686.X有效
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刘文波;王文飞;王俊
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苏州华兴源创科技股份有限公司
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2021-05-27
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2022-08-05
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F16F15/023
- 本实用新型揭示了一种承载装置，包括载物平台、设置在所述载物平台下方的支撑座、设置在所述载物平台与所述支撑座之间的气囊减振单元和支撑单元；所述承载装置具有减振支撑状态和刚性支撑状态；当所述承载装置处于减振支撑状态时，所述气囊减振单元的顶部高于所述支撑单元的顶部，所述气囊减振单元支撑于所述载物平台底部；当所述承载装置处于刚性支撑状态时，所述支撑单元支撑于所述载物平台底部。在承载装置处于减振支撑状态的情况下，通过气囊减振单元对载物平台进行减振。当气囊检测单元的气压较低时，承载装置处于刚性支撑状态，在气囊减振单元气压不足时通过支撑单元支撑载物平台防止气囊减振单元受到载物平台的压迫而损坏。
- 承载装置
- [实用新型]承载设备-CN202221370757.6有效
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张龙;方一;陈鲁;张嵩
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深圳中科飞测科技股份有限公司
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2022-06-02
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2022-09-16
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H01L21/687
- 本实用新型实施例公开的一种承载设备例如包括：基板；承载装置，设置在所述基板上、且具有承载面；升降组件，设置在所述基板上、且位于所述承载装置的外围；以及多个定位件，分别设置在所述升降组件远离所述基板的一侧上，所述多个定位件用于在所述升降组件的驱动下沿垂直于所述承载面的方向往复运动。本实用新型实施例公开了一种承载设备，以解决机械臂容易与承载装置发生干涉的问题，并且设置多个定位件对待测件进行定位以使承载装置与待测件之间精准对位并且承载装置能够对待测件均匀承载，以提高承载设备的承载效果
- 承载设备
- [实用新型]承载装置-CN202122777510.8有效
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不公告发明人
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无锡先导智能装备股份有限公司
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2021-11-12
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2022-06-14
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B65G47/74
- 本实用新型涉及一种承载装置，包括底座、第一定位件、第二定位件及第三定位件。底座具有用于承载工件的承载面；第一定位件连接于底座，且从承载面伸出，第二定位件和第三定位件间隔排布。当第二定位件从承载面伸出，且第三定位件收回至底座时，第二定位件可与第一定位件配合对一工件定位；当第三定位件从承载面伸出，且第二定位件收回至底座时，第三定位件可与第一定位件配合对另一工件定位。如此，在工件为容纳电池包的下箱体的情况下，该承载装置可承载不同型号的下箱体，有效地提高了电池的pack效率。
- 承载装置
- [实用新型]承载装置-CN202220812818.3有效
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柳强;刘钢;梁军;张金鑫;王彬;胡玲;杨晨光
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鸿富锦精密电子（成都）有限公司
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2022-04-08
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2022-10-28
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B23K26/70
- 本申请提供一种承载装置，用于固定工件，工件包括主体部、第一延伸部和第二延伸部，主体部与第二延伸部间隔设置，第一延伸部连接于主体部与第二延伸部之间，第二延伸部上开设有通孔，承载装置包括：承载座，承载座上设置有收容工位，收容工位用于收容工件；定位件，定位件设置在承载座上，定位件用于与工件抵接；推动机构，推动机构设置在承载座上，推动机构与定位件对应设置，推动机构用于与定位件配合夹持工件；遮光机构，遮光机构可移动地设置于承载座上采用本申请的实施例，对承载装置的部分机构进行位置调节即可实现对不同工件的固定，提高了通用性。
- 承载装置
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