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[发明专利]一种大螺距外螺纹加工表面形貌分布特性的检测方法-CN201610178060.1有效
发明人：姜彬;张帅;李哲;吴培军 -专利权人：哈尔滨理工大学
申请日： 2016-03-25 - 公布日： 2018-01-09 - 主分类号： G01B21/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种大螺距外螺纹加工表面形貌分布特性的检测方法，其技术要点在于一、获取大螺距外螺纹表面形貌的检测试件；二、检测大螺距外螺纹的检测试件左右螺纹面的加工表面形貌，解算检测试件的加工表面形貌波纹指标；检测表面粗糙度指标；三、构建检测试件加工表面形貌波纹指标和表面粗糙度指标的分布序列；四、评价检测试件加工表面形貌的一致性。本发明对整条螺纹进行采样，根据大螺距外螺纹表面形貌的特点，提出了螺纹表面三维表征指标，提取螺纹表面波纹及指标，以大螺距外螺纹加工表面形貌分布一致性为评价指标，评定大螺距外螺纹车削加工表面质量，为大螺距外螺纹质量检测及工艺方案设计
一种螺距螺纹加工表面形貌分布特性检测方法

[发明专利]芯片形貌预测方法、装置、设备及存储介质-CN202310423025.1在审
发明人：季瑞安;陈岚;陈容 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2023-04-19 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： G06F30/398 文献下载
摘要：本申请公开了一种芯片形貌预测方法、装置、设备及存储介质，首先利用预先配置的形貌预测模型，对待预测芯片的版图参数进行处理，得到所述待预测芯片的形貌参数，而后根据所述待预测芯片的形貌参数，确定所述待预测芯片的形貌信息由于在相同的CMP工艺参数下，所述测试版图的化学机械抛光效果和所述待预测芯片的化学机械抛光效果一致，因此，利用所述测试版图的版图参数和所述测试版图的形貌参数，可以配置出能够表征所述待预测芯片的版图参数和对应的形貌参数之间映射关系的形貌预测模型，利用所述形貌预测模型可以确定出所述待预测芯片的化学机械抛光处理之后的形貌参数，从而实现预测化学机械抛光处理之后的芯片形貌的任务。
芯片形貌预测方法装置设备存储介质

[发明专利]一种刻蚀方法-CN201110002838.0有效
发明人：黄莉;齐龙茵;奚裴 -专利权人：上海宏力半导体制造有限公司
申请日： 2011-01-07 - 公布日： 2012-07-18 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：本发明所提供的刻蚀方法，通过比较待刻蚀图案与已有刻蚀图案、测试基片形貌与标准形貌、测试各基片的金属刻蚀终点时间，并观察各基片金属刻蚀终点时间是否有下降趋势的步骤、比较最后一个测试基片的形貌与标准形貌的步骤在各基片金属刻蚀终点时间有下降趋势，以及最后一个被刻蚀的测试基片的形貌测试结果与所提供的刻蚀程式适用于所提供的待刻蚀图案时的形貌不相符的情况下，可以判定所提供的刻蚀程式不适合于待刻蚀图案，从而在所提供刻蚀程式不适合于所提供的刻蚀图案的情况下可以尽早将所提供的刻蚀程式放弃
一种刻蚀方法

[发明专利]一种沟槽形貌监控方法、结构器件-CN202110873012.5在审
发明人：王万礼;李长亮;朱丽雅;陈海洋 -专利权人：天津环鑫科技发展有限公司
申请日： 2021-07-30 - 公布日： 2021-11-12 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：一种沟槽形貌监控方法，步骤包括：在衬底硅片上制作沟槽并在沟槽表面氧化生长一层氧化层；再在氧化层表面制作第一测试电极；在第一测试电极与预制在衬底远离沟槽一侧表面的第二测试电极之间进行电压测试，以测得氧化层的击穿电压值；将测得的氧化层的击穿电压值与氧化层的本征击穿电压值进行比对，以判断氧化层的厚度是否均匀，进而可判定与氧化层紧贴设置的沟槽的形貌是否符合标准。还提出一种采用该沟槽形貌监控方法获得的易于沟槽形貌监控的结构器件。本发明仅通过测试沟槽内氧化层的击穿电压即可间接判断沟槽形貌情况，不仅测试结果准确且可监测效率高，且再现检测率高。同时根据这一监控方法获得的沟槽形貌结构稳定，并与实际产线工艺兼容。
一种沟槽形貌监控方法结构器件

[发明专利]一种锂离子电池内部各层级厚度及表面形貌的检测方法-CN201610032490.2在审
发明人：金翼;张遥骋;范茂松;林跃生;王绥军;傅凯;刘曙光;闫雪生;褚永金 -专利权人：中国电力科学研究院;国家电网公司;华北电网有限公司
申请日： 2016-01-18 - 公布日： 2017-07-25 - 主分类号： G01B17/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种锂离子电池内部各层级厚度及表面形貌的检测方法，包括(1)选取待测试样品；(2)获取样品未测试前的波形信号；(3)对测试样品进行组装电池实验；(4)取出组装后的样品获取测试后的波形信号；(5)通过与测试样品初始波形信号对比，分析其厚度和表面形貌差异信息；(6)确定样品厚度和表面形貌变化。本发明技术方案通过测量锂离子电池内部各层级的厚度和表面形貌，掌握锂离子电池在使用过程中厚度和表面形貌的变化情况，发现电池内部存在的安全隐患，提高锂离子电池在运行过程中的安全性。
一种锂离子电池内部层级厚度表面形貌检测方法

[发明专利]根据光刻胶形貌快速确定光刻工艺条件的方法-CN202310423475.0在审
发明人：郑鸿柱;郭纹辰;张利东 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2023-04-19 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种根据光刻胶形貌快速确定光刻工艺条件的方法，提供至少一晶圆，在晶圆上形成光刻胶层，在不同的曝光区域上利用不同光刻工艺条件进行多次曝光；之后获取每个曝光区域上的光刻胶形貌图片；根据光刻胶形貌图片获取光刻胶轮廓，切割光刻胶轮廓形成多个切割段，之后计算每个切割段的形貌偏差值；以光刻工艺条件的参数及其对应的形貌偏差值进行模型训练得到机器学习模型；随机形成多组光刻工艺条件的测试参数，利用机器学习模型得到每组测试参数的形貌偏差值；选择符合判定值的形貌偏差值对应的测试参数作为最终光刻工艺条件。本发明通过生成光刻胶形貌偏差对光刻胶形貌定量描述，通过模型预测最佳工艺条件，节约了时间。
根据光刻形貌快速确定工艺条件方法

[发明专利]沥青路面三维纹理形貌的检测方法-CN201910627825.9在审
发明人：孙璐;顾文钧;王元元;许梦 -专利权人：南京金蓝智慧城市规划设计有限公司
申请日： 2019-07-12 - 公布日： 2019-09-27 - 主分类号： G06T17/05 文献下载
摘要：本发明提供了一种沥青路面三维纹理形貌的检测方法，该方法可以同时获取路面宏观纹理形貌和微观纹理形貌。在传统光度立体三维重构技术的基础上，增加至6个照明光源，分别采用低秩分解修正算法、全局积分算法对法向量求解和三维重构的两步算法进行改进，以减小误差干扰，提高测试精度。所述方法需要6个光源从天顶角为45°，偏斜角0°、60°、120°、180°、240°、300°的6个方向分别单独照射测试面，并采用固定于测试面正上方的相机分别采集6张不同光照条件下的路表图像。同传统路面纹理形貌测试方法相比，本发明能显著提高路面纹理形貌的测试精度，具有快捷、精确、可重复性强等优点。
形貌纹理沥青路面测试面三维立体三维重构测试传统路面光照条件宏观纹理积分算法可重复性路面纹理三维重构微观纹理误差干扰形貌测试修正算法照明光源法向量偏斜角天顶角检测低秩光度减小路表求解算法光源照射相机采集分解图像全局改进

[发明专利]高速运动物体速度和形貌测试系统-CN201210013947.7无效
发明人：王高;王小燕;李仰军;周汉昌;王星河 -专利权人：中北大学
申请日： 2012-01-17 - 公布日： 2012-07-04 - 主分类号： G01P3/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种高速运动物体速度和形貌测试系统。该系统由高速运动物体速度测试装置、高速运动物体形貌测试装置和数据处理系统三部分组成，其中高速运动物体速度测试装置包括启动网靶、停止网靶和计时仪；高速运动物体形貌测试装置包括激光器、菲涅尔透镜、光电探测器和示波器；数据处理系统由计算机和数据处理软件组成，数据处理软件计算高速运动物体的速度和形貌并在计算机的显示器中显示结果。本系统成本低廉、可靠性高，可以用于高技术、军事及一般技术领域高速运动物体的速度和形貌测试。
高速运动物体速度形貌测试系统

[发明专利]双目重构技术测试路面三维形貌精度的评价装置及方法-CN201910700440.0在审
发明人：王元元;郭诗言;成羽;李业学 -专利权人：湖北文理学院
申请日： 2019-07-31 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： E01C23/01 文献下载
摘要：本发明公开一种双目重构技术测试路面三维形貌精度的评价装置，包括激光定位系统、点位测试系统和固定基座。本发明还公开双目重构技术测试路面三维形貌精度的评价方法，包括：固定待测试件；通过双目重构技术获取待测试件的三维形貌数据；指定待测试件表面的若干待测点；通过双目重构技术获取上述若干待测点的第一高程数据；通过高程测试器获取上述若干待测点的第二高程数据；计算第一高程数据与第二高程数据的平均绝对偏差、最大绝对偏差、平均相对偏差、最大相对偏差和大偏差百分率，评价双目重构技术在获取路面三维形貌时的测试精度。本发明能够在高精度设备匮乏的前提下，使用较低的成本快速实现测试精度真实评价的目的。
重构三维形貌双目高程数据待测试件技术测试待测点技术获取绝对偏差评价装置激光定位系统高精度设备测试测试系统固定基座测试器点位高程

[发明专利]一种发动机用喷油器喷雾空间形貌测试方法及测试装置-CN201910228282.3在审
发明人：陈泓;杜家坤;李钰怀;冶麟;张双;张宗澜 -专利权人：广州汽车集团股份有限公司
申请日： 2019-03-25 - 公布日： 2020-10-02 - 主分类号： G01M15/04 文献下载
摘要：本发明适用于发动机测试技术领域，公开了一种发动机用喷油器喷雾空间形貌测试方法及测试装置。测试方法包括以下步骤：将燃料通过喷油嘴喷入定容装置形成喷雾；在距离喷油嘴不同位置处，通过激光装置产生的片光激光照射喷雾的截面，且同时通过成像装置对片光激光照射的喷雾截面进行成像，得到多组喷雾截面图像并合成三维喷雾形貌数据测试装置包括定容装置、用于产生片光激光的激光装置、成像装置和用于将各喷雾截面图像合成三维喷雾形貌数据的控制处理装置。本发明所提供的通过一种发动机用喷油器喷雾空间形貌测试方法及测试装置，测试效率高、测试效果佳，可为发动机燃烧系统设计提供更为精确的边界条件，提高燃烧系统的开发工作效率。
一种发动机喷油器喷雾空间形貌测试方法装置

[发明专利]一种基于数字全息术的物体形貌测试方法-CN202011165522.9在审
发明人：张春熹;王峥;于佳;刘洪斌 -专利权人：衡阳市智谷科技发展有限公司
申请日： 2020-10-27 - 公布日： 2021-02-02 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于数字全息术的物体形貌测试方法，涉及数字全息检测技术领域。该基于数字全息术的物体形貌测试方法包括以下步骤：步骤一，将显微镜观测口与感光元件相连并将感光头和显微镜置于检测装置内部，再将待测物置于检测装置内部的检测台顶部；步骤二，将显微镜调整至最低倍状态以使得显微镜的观测口对待测物整体进行检测该基于数字全息术的物体形貌测试方法，通过显微镜和感光元件可以对待测物表面的缝隙进行深度检测，并且可以对待测物进行翻转，从而对待测物体与检测台顶部接触部分进行形貌检测，进而实现对待测物的全方位无死角形貌检测，对于一些精度要求较高的领域中的形貌测试具有极佳的表现。
一种基于数字全息物体形貌测试方法

[发明专利]半导体EM测试中铜钽形貌的获得方法及测试样品制备方法-CN201610206041.5有效
发明人：刘君芳;仝金雨;李桂花;郭伟;谢渊 -专利权人：武汉新芯集成电路制造有限公司
申请日： 2016-04-05 - 公布日： 2019-05-31 - 主分类号： G01N23/04 文献下载
摘要：本发明属于半导体金属导线电子迁移测试技术领域，具体涉及一种半导体EM测试中铜钽形貌的获得方法及其样品的制备方法。测试样品的制备方法包括步骤：1)预处理及减薄和减宽；2)FIB样品制备。铜钽形貌的获得方法还包括步骤：3)第一次TEM观察；4)去铜进行第二次TEM观测。通过本发明所提供的半导体EM测试样品的制备方法，可以一次制备多个TEM样品，并且不需要进行样品提取。而通过本发明所提供的半导体EM测试中铜钽形貌的获得方法，可以快速得到钽元素分布图以及铜形貌来更好地失效分析，从而解决直接用EDS或者EELS做钽面扫描不但占用机台大量的时间，而且长时间扫描内样品可能会发生一定的漂移，因而无法真实反映其形貌的技术问题。
半导体 em 测试中铜钽形貌获得方法样品制备

[发明专利]疲劳裂纹快速不稳定扩展机理测试方法以及系统-CN201910388882.6在审
发明人：王畏寒;王学孔;王春辉;汪凯蔚;邝志礼;解禾;张钟文;钟云龙;颜镠钏;冯嘉珍 -专利权人：中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室））
申请日： 2019-05-10 - 公布日： 2019-08-06 - 主分类号： G01N3/32 文献下载
摘要：本申请涉及一种疲劳裂纹快速不稳定扩展机理测试方法以及系统。所述方法包括在金相试样上施加循环疲劳应力，并在金相试样中的疲劳裂纹处于稳定扩展阶段时，采集在循环疲劳应力的单个载荷周期内疲劳裂纹的第一类微观形貌数据；在疲劳裂纹处于迟滞扩展阶段时，分别采集多个载荷周期内疲劳裂纹对应的第二类微观形貌数据；在疲劳裂纹处于快速扩展阶段时，分别采集多个载荷周期内疲劳裂纹对应的第三类微观形貌数据；比对第一类微观形貌数据、第二类微观形貌数据和第三类微观形貌数据中疲劳裂纹尖端周围的微观形貌得到疲劳裂纹快速不稳定扩展机理的测试结果，实现观察一个载荷周期内疲劳裂纹的快速不稳定扩展行为，提高了获取测试结果的精度。
疲劳裂纹微观形貌载荷周期金相试样循环疲劳采集测试比对迟滞施加观察申请

[发明专利]一种用于微量腐蚀性气体氛围下的薄液膜原位测试装置-CN201510156228.4有效
发明人：李晓刚;易盼;肖葵;董超芳;吴俊升;丁康康;王旭 -专利权人：北京科技大学
申请日： 2015-04-03 - 公布日： 2018-02-16 - 主分类号： G01N17/02 文献下载
摘要：本发明专利属于材料腐蚀研究技术领域，特别是涉及一种可在单一或多组分微量气体下实时原位观测试样腐蚀宏观形貌以及薄液膜下的原位电化学的测试装置，所述测试装置包括反应室、微量腐蚀性气体给气系统、薄液膜腐蚀试验反应系统、原位电化学测试系统、原位形貌采集系统，在于提供一种用于微量腐蚀性气体氛围下的薄液膜原位测试装置，解决以往设备使用过程中费用昂贵、操作冗杂、装置精度低、气源单一、没有形貌和电化学原位观测相耦合的问题，实现一种结构简单、操作方便、多组分气源、形貌和电化学原位观测相耦合的高精度ppb级的微量腐蚀性气氛中薄液膜环境测试装置。
一种用于微量腐蚀性气体氛围薄液膜原位测试装置

[发明专利]一种用于识别半导体纳米结构形貌的方法-CN201210178809.4有效
发明人：刘世元;朱金龙;张传维;陈修国 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2012-06-01 - 公布日： 2012-10-17 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于支持向量机的纳米结构形貌识别方法。首先生成训练光谱，确定支持向量机的核函数与训练方式；生成测试光谱及多种不同的支持向量机；利用测试光谱对支持向量机进行特征形貌识别准确率测试，找出识别准确率、训练光谱数目和核函数之间的关系，作为支持向量机训练的指导原则；对测试光谱添加不同量级的噪声影响，将含有不同量级噪声的测试光谱用于支持向量机中进行测试，找到在能保证正确识别率较高情形下所能添加的最大噪声量级，作为另一指导原则；利用两个指导原则，训练得到最优的支持向量机；对真实待识别结构对应的测量光谱进行映射，识别其形貌。本发明可以对半导体纳米结构的形貌特征进行快速、精确地识别。
一种用于识别半导体纳米结构形貌方法

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