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- [发明专利]多晶硅提纯铸锭炉真空机组-CN201110129401.3无效
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李荣华
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吴江亿泰光伏设备有限公司
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2011-05-19
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2012-11-21
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C01B33/037
- 本发明提供了一种多晶硅提纯铸锭炉真空机组,包括4台H-150滑阀泵、2台ZJB-600罗茨泵、2台ZJB-2500罗茨泵、1台K-1200扩散泵,所述的2台ZJB-600罗茨泵和2台ZJB-2500罗茨泵分为两组,其中1台ZJB-600罗茨泵和1台ZJB-2500罗茨泵串联在一起,前级为ZJB-2500罗茨泵,后级为ZJB-600罗茨泵,共串联成两组;其中两台H-150滑阀泵并联,再串联之前串联的两级抽真空机组两套,再将两套两级抽真空机组并联在K-1200扩散泵上。本发明可以使得冷态极限真空达到6.7×10-4Pa;效克服了高温状态硅蒸汽的挥发使得无法启动扩散泵的问题。
- 多晶提纯铸锭真空机组
- [实用新型]多晶硅提纯铸锭炉真空机组-CN201120159553.3无效
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李荣华
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吴江亿泰光伏设备有限公司
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2011-05-19
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2011-12-28
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C30B28/06
- 本实用新型提供了一种多晶硅提纯铸锭炉真空机组,包括4台H-150滑阀泵、2台ZJB-600罗茨泵、2台ZJB-2500罗茨泵、1台K-1200扩散泵,所述的2台ZJB-600罗茨泵和2台ZJB-2500罗茨泵分为两组,其中1台ZJB-600罗茨泵和1台ZJB-2500罗茨泵串联在一起,前级为ZJB-2500罗茨泵,后级为ZJB-600罗茨泵,共串联成两组;其中两台H-150滑阀泵并联,再串联之前串联的两级抽真空机组两套,再将两套两级抽真空机组并联在K-1200扩散泵上。本实用新型可以使得冷态极限真空达到6.7×10-4Pa;有效克服了高温状态硅蒸汽的挥发使得无法启动扩散泵的问题。
- 多晶提纯铸锭真空机组
- [实用新型]一种带排气冷却结构的罗茨真空泵-CN201720232296.9有效
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孙红
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烟台沃尔姆真空技术有限公司
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2017-03-10
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2017-10-20
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F04C25/02
- 本实用新型公开了一种带排气冷却结构的罗茨真空泵,包括泵壳,泵壳上设有进气口、排气口,所述罗茨真空泵一端为设置进气口的进气端,所述罗茨真空泵的另一端为设置排气口的排气端,所述罗茨真空泵排气口包括侧排气口和下排气口,所述罗茨真空泵还包括安装于排气端的冷却夹套,所述冷却夹套位于泵壳内侧,侧排气口对侧,下排气口一侧。工作时,在夹套内通入冷却水,给泵体降温,与现有技术相比,本实用新型采用的冷却夹套能有效地对泵体进行物理降温,节约能源,增加泵的使用寿命,整体结构简单,冷却效果好,操作方便,解决了罗茨真空泵排气口温度过高的难题
- 一种排气冷却结构真空泵
- [实用新型]双转子组罗茨泵-CN201020134652.1无效
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王志恒
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王志恒
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2010-03-18
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2010-11-17
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F04C23/00
- 本实用新型公开了一种双转子组罗茨泵,包括罗茨泵壳体,罗茨泵壳体上分别安装出料管连接套和进料管连接套;罗茨泵壳体内安装两个转子壳体,第一转子壳体内安装第一主动转子和第一从动转子,第二转子壳体内安装第二主动转子和第二从动转子;第一转子壳体和第二转子壳体的上部安装上三通管,上三通管与出料管连接套连接;第一转子壳体和第二转子壳体的下部安装下三通管,下三通管与进料管连接套连接;罗茨泵壳体上安装罗茨泵电机,罗茨泵壳体内安装两根转轴,第二转轴上安装第二齿轮,第一转轴上安装第一齿轮,第二转轴与第二主动转子连接,第一转轴与第一主动转子连接,第二齿轮和第一齿轮之间安装主动齿轮,主动齿轮与罗茨泵电机连接。
- 转子组罗茨泵
- [实用新型]一种多级气冷罗茨泵-CN201520227556.4有效
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闫璐
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闫璐
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2015-04-15
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2015-08-19
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F04C23/02
- 本实用新型公开了一种多级气冷罗茨泵,涉及系统抽真空技术领域,包括电机,连接于电机输出端的转轴,转轴横穿于泵体内;所述泵体内部设有容置腔,所述容置腔内设有多个隔板,所述隔板将容置腔分割成至少两个气冷罗茨腔,所述气冷罗茨腔与所述转轴之间用密封结构进行密封;所述气冷罗茨腔内部设有罗茨转子,所述罗茨转子套设在所述转轴上,所述转轴带动所述罗茨转子转动;所述气冷罗茨腔的上端和下端分别设有贯穿泵体的进气口和排气口,所述隔板上设有进气通道;所述泵体两侧设有冷气进气口,对所述气冷罗茨腔内的罗茨转子进行冷却进气通道;本实用新型在节省空间、降低功率和成本的同时提高了被抽真空系统的真空度。
- 一种多级气冷罗茨泵
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