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[发明专利]一种惯性平台的对准误差标定方法和方位角测量方法-CN202211201664.5在审
发明人：邓超;李洪伟;段英尧;包诗林;张金云 -专利权人：北京航天控制仪器研究所
申请日： 2022-09-29 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： G01C25/00 文献下载
摘要：本申请涉及惯性测量领域，具体公开了一种惯性平台的对准误差标定方法和方位角测量方法。对准误差标定方法包括：获取平台多个自对准方位角，多个自对准方位角与多个真实方位角一一对应；根据多个真实方位角和多个自对准方位角的差值，拟合得到对准误差函数，对准误差函数用于指示任意方位角对应的对准误差，对准误差和自对准方位角用于指示真实方位角的测量结果。方位角测量方法包括：获取当前自对准方位角；根据当前自对准方位角，以及上述对准误差函数，确定当前真实方位角。本申请的方案实现不同基座方位的自对准误差标定，以及在装备运行时进行误差补偿，从而实现准确地自对准，提升对准精度水平。
一种惯性平台对准误差标定方法方位角测量方法

[发明专利]套刻误差修正方法及装置、电子设备和存储介质-CN202310014488.2在审
发明人：樊贝贝 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2023-01-05 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本公开是关于一种套刻误差修正方法及装置、电子设备以及计算机可读存储介质，涉及半导体生产与制造技术领域，可以应用于套刻误差标识损坏的情况下修正套刻误差的场景。该方法包括：获取当前批次晶圆，确定当前批次晶圆对应的多个对准标记以及各对准标记的套刻误差与套刻误差偏差；基于套刻误差与套刻误差偏差确定各对准标记的标记质量值；基于标记质量值，对多个对准标记进行筛选，确定出目标对准标记；基于目标对准标记，确定当前批次晶圆对应的误差修正结果，以基于误差修正结果对下一批次晶圆进行曝光对准处理。本公开可以基于未被破坏的目标对准标记确定套刻误差，从而有效控制工艺制程中产生的套刻误差。
误差修正方法装置电子设备存储介质

[发明专利]对准误差测量方法-CN201911212303.9有效
发明人：齐月静;杨光华;王宇;李璟;卢增雄;齐威;孟璐璐 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2019-11-29 - 公布日： 2021-08-13 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：一种对准误差测量方法，用于测量非对称的第一对准标记引入的对准误差，方法包括：根据非对称位置确定至少四种类型的非对称对准标记，每一非对称对准标记包括一种所述非对称位置，所述第一对准标记包括至少一种非对称位置；测量每一非对称对准标记引入的对准误差分量，以及测量第一对准标记对应的第一测量信号；利用电磁仿真模型分别获取对称对准标记、每一非对称对准标记对应的理论测量信号；根据第一测量信号、对称对准标记对应的理论测量信号、每一非对称对准标记对应的理论测量信号和对准误差分量计算每一非对称对准标记对应的权重因子；根据每一非对称对准标记对应的权重因子和对准误差分量计算第一对准标记引入的对准误差。
对准误差测量方法

[发明专利]用于对准基板和罩板的装置以及使用该装置的方法-CN200610000430.9有效
发明人：郑星和;韩尚辰;姜有珍 -专利权人：三星SDI株式会社
申请日： 2006-01-05 - 公布日： 2006-07-12 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：一种用于对准基板和罩板的装置以及使用该装置的方法，其中该装置包括：在基板和罩板的未使用部分中的对准标记，用于在基板与罩板对准时确定对准标记重叠的传感单元，以及用于根据由传感单元所测量和确定的数据而控制对准过程重复进行的控制单元传感单元可以包括：位于拍摄范围之内以确定对准标记的任何对准误差的照相机。根据本发明的另一实施例，测量基板和罩板间的对准误差来确定该对准误差是否可以接受。当该对准误差不可接受时，重复进行对准基板和罩板的操作，直至对准误差可以接受为止。
用于对准装置以及使用方法

[发明专利]一种惯导装置初始对准方法-CN201510669553.0有效
发明人：任强;王杰俊;沈雪峰;魏立龙;崔贵彦 -专利权人：上海华测导航技术股份有限公司
申请日： 2015-10-13 - 公布日： 2019-05-07 - 主分类号： G01C25/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种惯导装置初始对准方法，包括如下步骤：提供一装载有传感器的器械，并对传感器进行预处理；进行相对对准，以求得传感器的安装误差角；进行绝对对准，以求得传感器的安装姿态角误差，进而提高相对对准计算出的误差姿态角精度相对对准过程计算出相对的误差姿态角，相对误差姿态角作为绝对对准过程中状态向量中姿态误差的初始值从而可以加快卡尔曼滤波收敛速度，通过绝对对准过程可以进一步提高对准精度。
一种装置初始对准方法

[发明专利]一种修正等效天向加计零位造成对准误差的方法-CN202310101150.0有效
发明人：商阳;吉翠萍;张金亮;苏婧婷;魏帅 -专利权人：中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所
申请日： 2023-02-13 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： G01C21/16 文献下载
摘要：本发明属于惯性导航系统误差补偿技术领域，具体涉及一种修正等效天向加计零位造成对准误差的方法，包括：建立机载惯导对准卡尔曼滤波器，对准估计滤波修正量；利用对准结束时的天向速度计算等效天向加计零位；计算等效天向加计零位引起的耦合平台偏角误差和漂移误差；计算最终的平台失准角和陀螺漂移修正值并修正，完成惯导对准误差估计修正环节。本发明在不增加额外设备的前提下，通过现有对准滤波器和对准输出，计算并补偿耦合误差，提升惯导系统对准和导航精度。
一种修正等效加计零位造成对准误差方法

[发明专利]一种基于自制地基激光雷达对准误差的点云误差校正方法-CN201710724073.9有效
发明人：李小路;徐立军;李昀晔;谢鑫浩 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2017-08-22 - 公布日： 2020-11-24 - 主分类号： G01S7/497 文献下载
摘要：本发明公开一种基于自制地基激光雷达对准误差的点云误差校正方法，该方法主要针对自制激光雷达系统45°转镜配合云台转动的扫描方式，通过计算入射光与俯仰轴之间对准误差对自制系统测角误差的影响，建立自制激光雷达系统点云误差校正模型，采用高精度三维扫描仪对目标的扫描点云坐标作为真实值求解对准误差，从而实现自制激光雷达系统对准误差对目标点云的误差校正。所述方法主要包括以下三步：1)建立由对准误差引起的自制激光雷达三维成像系统测角误差模型并化简；2)得到自制激光雷达三维成像系统点云误差模型；3)求解自制激光雷达三维成像系统点云误差模型中的对准误差，并根据模型对自制激光雷达系统目标点云进行校正
一种基于自制地基激光雷达对准误差校正方法

[发明专利]上下对准视觉装置的标定方法、标定系统及装置-CN202311141778.X在审
发明人：华国杰;盛越;杨光 -专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2023-09-06 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本发明提供一种上下对准视觉装置的标定方法、标定系统及装置，涉及半导体领域。该标定方法包括：将待标定视觉装置置于上标定点和下标定点之间，转动转动座N次，以使转动座到达不同位置；获取待标定视觉装置的上下对准结果以及转动座位于各个位置时的转动角度；根据待标定视觉装置的待标定误差、第一误差、第二误差、测量过程的测量噪声、N组上下对准结果和N组转动角度建立误差方程组；求解误差方程组，得到待标定误差的数值；根据求得的待标定误差的数值对待标定视觉装置的上下对准结果进行补偿，以得到标定后的视觉装置的上下对准结果该标定方法能够精确标定视觉装置的上下对准误差，从而确保视觉装置对芯片和基板上下对准的精确度。
上下对准视觉装置标定方法系统

[发明专利]掩膜版和标准片及对准图形误差补偿方法-CN201911162936.3有效
发明人：严峰;王晓龙 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2019-11-25 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：掩膜版和标准片及对准图形误差补偿方法。本发明公开了一种光刻系统对准图形误差补偿方法，包括利用设计制造掩模版制造两片标准片，将两片标准片分别使用同一组晶圆对准图形的第一掩膜版对准图形和第二掩膜版对准图形沿光刻系统Y方向整体偏移第二预设距离后曝光显影；分别测量第一标准片和第二标准片某个重复区域嵌套的第一嵌套图形和第二嵌套图形之间相对偏移误差，获得第一误差和第二误差；将第一误差和第二误差的差值作为掩膜版对准图形的机台补正参数。本发明具有通用性、准确性和便利性，很低的成本下能快速准确的获得光刻系统对准误差误补偿量。
掩膜版标准对准图形误差补偿方法

[发明专利]一种基于杆臂挠曲变形补偿的机载武器传递对准方法-CN201811058710.4在审
发明人：李崴;曾宇恒 -专利权人：西安瀚景电子科技股份有限公司
申请日： 2018-09-11 - 公布日： 2018-11-16 - 主分类号： G01C25/00 文献下载
摘要：本发明提供一种基于杆臂挠曲变形补偿的机载武器传递对准方法，分别通过比较由主子惯性导航系统提供的速度误差值，能够获得一个对准误差的估计值，通过比较由主子惯性导航系统提供的姿态误差值，能够获得另一个对准误差的估计值，采用权值模糊自适应滤波对两个对准误差值进行不同比重的信息分配，利用速度匹配实现水平姿态对准，姿态匹配实现航向对准；从而能够在作为公共参考系统的主惯导系统上得到全局次优估计，实现子惯导系统的对传递对准；从而使得传递对准简单可靠，收敛速度快，估计精度高，实现了两者的互补，提高了传递对准的对准精度，缩短了对准时间。
对准对准误差传递惯性导航系统机载武器挠曲变形杆臂主子主惯导系统子惯导系统自适应滤波公共参考水平姿态速度匹配速度误差信息分配姿态误差航向匹配收敛模糊全局

[发明专利]基于惯性导航优化对准的姿态误差评估方法-CN202111176947.4有效
发明人：武元新;欧阳威 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2021-10-09 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： G01C25/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于惯性导航优化对准的姿态误差评估方法，包括：步骤1：根据导航系惯性导航运动学方程和姿态微分方程，获取导航载体在静止对准、惯导/里程计行进间对准和惯导/GPS行进间对准情形下的初始姿态约束方程，计算滑动窗口内测量矢量；步骤2：分别针对静止对准、惯导/里程计行进间对准和惯导/GPS行进间对准，计算测量矩阵和该矩阵最小特征值对应的特征矢量；步骤3：分别根据静止对准、惯导/里程计行进间对准和惯导/GPS行进间对准情形下的矢量测量误差特性，计算初始姿态误差角的协方差矩阵，进行姿态误差评估。本发明能够根据导航系统的测量信息计算出姿态误差的协方差矩阵，为优化对准提供实时的精度评估指标。
基于惯性导航优化对准姿态误差评估方法

[发明专利]套刻误差的修正方法及装置、晶圆的对准检测方法及装置-CN202211091223.4在审
发明人：孙彪;张阳;王磊磊 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2022-09-07 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本公开提供一种套刻误差的修正方法及装置、晶圆的对准检测方法及装置，在机台确定晶圆的待检测层的第一对准标记与目标层的第二对准标记之间的第一套刻误差值后，能够基于测量误差参数对根据测量得到的第一套刻误差值进行修正，得到更加准确的第二套刻误差值。由于通过测量误差参数的修正，消除了第二套刻误差值中因第一对准标记的不对称性或者缺陷造成的误差，提高了机台得到的套刻误差值的准确性，进而保证了机台可以根据准确的套刻误差值进行对准检测等处理。
误差修正方法装置对准检测

[发明专利]被校正的光掩模对准误差及校正光掩模的对准误差的方法-CN200710005269.9无效
发明人：李明秀;裴硕钟;李贞勋;崔成云;金炳局 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2007-02-12 - 公布日： 2008-02-13 - 主分类号： G03F1/14 文献下载
摘要：提供一种其对准误差已经被校正的光掩模，以及校正光掩模的对准误差的方法。光掩模包括光掩模衬底、在光掩模衬底的一个表面上形成的光学图形、以及在光掩模衬底中形成的多个应力产生部分。校正光掩模的对准误差的方法包括以下步骤：在光掩模衬底上形成光学图形、测量光学图形的对准误差、以及在光掩模衬底中形成多个应力产生部分，使得应力产生部分对应于所测量的对准误差。
校正光掩模对准误差方法

[发明专利]背面套刻误差测量方法-CN201911226915.3在审
发明人：车一卓;王永胜;苏翼;唐琼;盛洁;刘韧 -专利权人：北京自动化控制设备研究所
申请日： 2019-12-04 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本发明涉及误差测量技术领域，公开了一种背面套刻误差测量方法。其中，该方法包括：通过光刻图形化得到正面对准标记和背面对准标记；对正面对准标记和背面对准标记进行图像采集，得到正面对准标记图像和背面对准标记图像；对正面对准标记图像和背面对准标记图像进行图像处理，得到正面对准标记突出显示的第一图像和背面对准标记突出显示的第二图像；对第一图像和第二图像进行合并处理，得到正面对准标记和背面对准标记合并的新图像；基于新图像中的正面水平测量游标和背面水平测量游标确定背面套刻的水平误差，基于新图像中的正面竖直测量游标和背面竖直测量游标确定背面套刻的竖直误差由此无需使用额外标尺就可准确测量出背面套刻的实际误差。
背面误差测量方法

[发明专利]用于最佳化微影曝光制程的系统和方法-CN201811139174.0有效
发明人： E·D·西尔韦拉;K·F·贝斯特;W·菲茨杰拉德;J·卢;S·宋;J·C·多纳赫;C·J·麦克劳林 -专利权人：鲁道夫科技股份有限公司
申请日： 2018-09-28 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：提供一种用于校正未对准的方法。判定对于安装在基板上的装置群组的每一装置的对准。基于对于每个装置的各个对准，判定对于安装在基板上的装置群组的对准误差。基于对准误差，计算一个或多个校正因子。基于一个或多个校正因子，校正对准误差。
用于最佳化微影曝光系统方法

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