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[发明专利]大尺寸石英坩埚熔制设备-CN202010473108.8在审
发明人：宫耀旺;裴庆军;高佳龙;李玉龙;李楠 -专利权人：锦州万得机械装备有限公司;锦州得晟光伏设备有限公司
申请日： 2020-05-29 - 公布日： 2020-08-28 - 主分类号： C03B20/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种大尺寸石英坩埚熔制设备，利用电弧加热、离心真空成型的方法烧制石英坩埚，成品尺寸达到28寸以上，最大可熔制36寸石英坩埚产品，突破了多项传统坩埚熔制设备在制作大尺寸石英坩埚中遇到的工艺瓶颈，对石英坩埚制造行业及我国单晶、多晶硅制造行业均具有巨大的推动作用。
尺寸石英坩埚设备

[实用新型]大尺寸石英坩埚熔制设备-CN202020959349.9有效
发明人：宫耀旺;裴庆军;高佳龙;李玉龙;李楠 -专利权人：锦州万得机械装备有限公司;锦州得晟光伏设备有限公司
申请日： 2020-05-29 - 公布日： 2021-02-02 - 主分类号： C03B20/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种大尺寸石英坩埚熔制设备，利用电弧加热、离心真空成型的方法烧制石英坩埚，成品尺寸达到28寸以上，最大可熔制36寸石英坩埚产品，突破了多项传统坩埚熔制设备在制作大尺寸石英坩埚中遇到的工艺瓶颈，对石英坩埚制造行业及我国单晶、多晶硅制造行业均具有巨大的推动作用。
尺寸石英坩埚设备

[发明专利]一种大尺寸石英板及生产石英板的连熔炉-CN201710714749.6在审
发明人：季一全;汤佳 -专利权人：芜湖通全科技有限公司
申请日： 2017-08-19 - 公布日： 2017-12-22 - 主分类号： C03B20/00 文献下载
摘要：一种大尺寸石英板及生产石英板的连熔炉，其特征在于石英板厚度为60mm，宽度为500mm；一种生产大尺寸石英板的连熔炉，包括生产用炉体，设于炉体内的钨坩埚，设于钨坩埚及炉体壁之间的保温层，钨坩埚顶部设有加料管和钨芯杆保护气入口，钨坩埚底部设有成型器料台，料台中间设有长方形成型口，在长方形成型口处设有钨芯杆，在钨坩埚外部设有加热装置；本发明的优点是大尺寸石英板满足了需要，产品质量好，连熔炉熔化原料沉淀时间延长，减少成型石英管的气泡、气线等内在质量缺陷，且成型器钨芯杆可微调，能直接生产厚度在60mm，宽度在500mm的大尺寸石英板。
一种尺寸石英生产熔炉

[发明专利]一种生长CsI(Tl)晶体的石英坩埚-CN201811109294.6有效
发明人：陈若富;石国柱;沈爱花 -专利权人：中国科学院近代物理研究所
申请日： 2018-09-21 - 公布日： 2020-11-10 - 主分类号： C30B11/00 文献下载
摘要：本发明提供一种生长CsI(Tl)晶体的石英坩埚，属于核检测、国土安全、军事领域。本发明按照晶体生长方法中的自然淘汰原理，对晶体生长所用的石英坩埚的底部形状和整体外形进行整体设计，得到外部尺寸和内部尺寸都有特殊要求的大尺寸石英坩埚。本发明与传统方式相比，生产出的大尺寸CsI(Tl)/CsI闪烁晶体，成品率/良品率较高，与其他厂商使用的在坩埚内部喷涂一层特殊材料相比，方法工艺相对简单，成本较低。
一种生长 csi tl 晶体石英坩埚

[发明专利]一种大直径石英坩埚模具-CN201510507672.6在审
发明人：刘福鸿;冯涛 -专利权人：江苏华尔石英材料股份有限公司
申请日： 2015-08-18 - 公布日： 2015-11-18 - 主分类号： C03B20/00 文献下载
摘要：本发明公开一种大直径石英坩埚模具，包括不锈钢水冷模具、石墨模具、石英砂料层以及保温圈，所述石墨模具设置于不锈钢水冷模具内部，石墨模具的内壁处覆有石英砂料层，石墨模具上方设置有保温圈，所述保温圈为耐高温材质制成的保温圈，保温圈的外径比石英砂料层的外径大100mm，保温圈的厚度为10mm，保温圈的高度为100～150mm。本发明在大尺寸石英坩埚的熔制过程中增加保温圈，能够充分提高坩埚熔制温度，保证石英坩埚外形尺寸，提高坩埚内表面玻璃化结构，大大提高了石英坩埚的质量。
一种直径石英坩埚模具

[实用新型]一种生产大尺寸石英板的连熔炉-CN201320352483.2有效
发明人：单军成 -专利权人：连云港市东鑫石英制品有限公司
申请日： 2013-06-09 - 公布日： 2014-02-12 - 主分类号： C03B20/00 文献下载
摘要：一种生产大尺寸石英板的连熔炉，包括生产用炉体，设于炉体内的钨坩埚，设于钨坩埚及炉体壁之间的保温层，钨坩埚顶部设有加料管和钨芯杆保护气入口，钨坩埚底部设有成型器料台，料台中间设有长方形成型口，在长方形成型口处设有钨芯杆，在钨坩埚外部设有加热装置；本实用新型的优点是大尺寸石英板满足了需要，产品质量好，连熔炉熔化原料沉淀时间延长，减少成型石英管的气泡、气线等内在质量缺陷，且成型器钨芯杆可微调，能直接生产厚度在60mm，宽度在500mm的大尺寸石英板。
一种生产尺寸石英熔炉

[实用新型]一种大尺寸单晶用石英坩埚-CN202121534891.0有效
发明人：马新星;王艺澄;王军磊 -专利权人：包头美科硅能源有限公司;江苏美科太阳能科技股份有限公司
申请日： 2021-07-07 - 公布日： 2022-01-04 - 主分类号： C30B15/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种大尺寸单晶用石英坩埚，包括石英坩埚本体及设置于石英坩埚本体内壁的导流条，导流条沿石英坩埚本体内壁的顶端延伸至底端R角位置设置，导流条均布于石英坩埚本体的内壁；该石英坩埚结构简单有效降低硅液径向温度梯度，降低断线率，提高了石英坩埚以及成晶液面的温度稳定性，有效解决单晶硅氧高问题。
一种尺寸单晶用石英坩埚

[实用新型]石英坩埚自动包装系统-CN202121301023.8有效
发明人：张龙龙;王强山;张鹏 -专利权人：银川隆基光伏科技有限公司
申请日： 2021-06-10 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： B65B35/18 文献下载
摘要：本申请提供一种石英坩埚自动包装系统，涉及石英坩埚包装技术领域，具体技术方案为：通过第一传输装置进行石英坩埚流转、翻转装置控制石英坩埚的翻转方式，搬运装置对石英坩埚进行搬运以及通过第二传输装置来运转包装箱，实现对不同尺寸石英坩埚的全自动包装。本实用新型用于石英坩埚自动包装，能够解决现有石英坩埚包装劳动强度大、作业效率低以及人员频繁接触造成石英坩埚污染的问题。
石英坩埚自动包装系统

[发明专利]内热式石英玻璃连续电熔炉-CN201010204350.1无效
发明人：张洪齐 -专利权人：罗万前
申请日： 2010-06-21 - 公布日： 2011-12-21 - 主分类号： C03B5/027 文献下载
摘要：本发明公开了一种内热式石英玻璃连续电熔炉。属于石英玻璃熔制设备。本炉将现有石英玻璃连熔炉的园柱状钨坩埚改为多面体状的氧化锆坩埚，再将发热体由坩埚外侧移置到坩埚内，其高温区将完全埋置于熔融的石英玻璃中。发热体不通过坩埚而直接加热石英粉料，粉料熔融后由板状发热体上的缝隙向下流向下模口，最终成为石英玻璃管、板或棒材。本连熔炉传热效率最高；可不用使体保护气。石英粉料可在氧化气氛下熔炼.本炉的坩埚的尺寸可做得较大，其粉料与发热体之间特殊的传热方式使其换热强度大，从而可生产大尺寸的板材、管材或棒材。
内热石英玻璃连续熔炉

[实用新型]一种大直径石英坩埚模具-CN201520623131.5有效
发明人：刘福鸿;冯涛 -专利权人：江苏华尔石英材料股份有限公司
申请日： 2015-08-18 - 公布日： 2016-01-06 - 主分类号： C03B20/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种大直径石英坩埚模具，包括不锈钢水冷模具、石墨模具、石英砂料层以及保温圈，所述石墨模具设置于不锈钢水冷模具内部，石墨模具的内壁处覆有石英砂料层，石墨模具上方设置有保温圈，所述保温圈为耐高温材质制成的保温圈，保温圈的外径比石英砂料层的外径大100mm，保温圈的厚度为10mm，保温圈的高度为100～150mm。本实用新型在大尺寸石英坩埚的熔制过程中增加保温圈，能够充分提高坩埚熔制温度，保证石英坩埚外形尺寸，提高坩埚内表面玻璃化结构，大大提高了石英坩埚的质量。
一种直径石英坩埚模具

[实用新型]一种同步旋转式大尺寸石英坩埚熔封机-CN202220475732.6有效
发明人：李博文;李辉;饶丹丹 -专利权人：合肥执如光电科技有限公司
申请日： 2022-03-04 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： C03B23/207 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种同步旋转式大尺寸石英坩埚熔封机，包括支撑板，支撑板的顶面两端分别竖直固定有第一支撑架和第二支撑架，第一支撑架和第二支撑架之间安装有用于限定石英坩埚位置的限位机构，支撑板的上方固定有氢氧焰喷嘴和能够带动石英坩埚进行旋转的旋转机构；旋转机构包括电机，电机的输出端连接有旋转轴，旋转轴连接有传动组件；石英坩埚的开口端连接有真空密封组件。本实用新型提供的同步旋转式大尺寸石英坩埚熔封机，可在惰性气体或保护气体气氛下进行缩颈处理以及石英坩埚的同步旋转，最大程度地减小熔封周围的应力。本实用新型能够对各种尺寸的石英坩埚进行密封，提高工作效率，减小技术要求、降低人力成本。
一种同步旋转尺寸石英坩埚熔封机

[发明专利]一种多自由度大尺寸石英坩埚内曲面化学机械磨抛装备及加工方法-CN202310243294.X在审
发明人：张振宇;崔祥祥;李浩东;刘振颂;薛自航 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2023-03-14 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： B24B27/00 文献下载
摘要：本发明提供一种多自由度大尺寸石英坩埚曲面化学机械磨抛装备及加工方法，包括床身、可移动加工台、坩埚固定吸盘夹具、主轴系统、异形磨抛轮工控柜、磨抛液喷雾系统、超声振动辅助加工系统和数控系统。可移动加工平台可沿Y方向移动，坩埚固定吸盘夹具用于不同尺寸石英坩埚的精确定位和稳定装夹，异形磨抛轮用于坩埚内壁不同部位曲面的磨削和抛光加工，磨抛液喷雾系统用于磨抛过程中供给磨抛液，超声振动辅助加工系统用于提供超声振动辅助磨抛加工以及检测加工过程中的受力情况和稳定性本发明解决了大尺寸石英坩埚内壁曲面上缺陷及气泡层无法处理的问题，磨抛后的坩埚内壁整洁光滑一致性好，减少了石英坩埚制造中因缺陷等无法使用而形成的浪费。
一种自由度尺寸石英坩埚曲面化学机械装备加工方法

[发明专利]下降法生长大尺寸碘化铯(CsI)晶体新技术-CN94112210.7无效
发明人：沈定中;殷之文;袁湘龙;张黎星;李培俊;邓群 -专利权人：中国科学院上海硅酸盐研究所
申请日： 1994-06-23 - 公布日： 1999-10-27 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明关于坩埚下降法生长优质碘化铯晶体，属于晶体生长领域。用通常石英坩埚下降法生长大尺寸ＣｓＩ晶体的主要问题是石英坩埚容易开裂，晶体应力大，多晶严重，容易开裂，性能也差。本发明的核心是减少大尺寸晶体应力及定向生长，主要技术包括正确选用铂坩埚，选好晶体生长方向及包种接种技术，有一整套减少生长缺陷和Ｉ－空位的措施。完整的工业化生长大尺寸ＣｓＩ晶体的工艺技术。按本发明生长出来的大尺寸纯ＣｓＩ晶体能量分辨率与光产额高。
下降生长尺寸碘化 csi 晶体新技术

[发明专利]一种异形PBN和石英组合坩埚-CN202011048268.4在审
发明人：罗福敏;胡昌勇 -专利权人：威科赛乐微电子股份有限公司
申请日： 2020-09-29 - 公布日： 2021-01-08 - 主分类号： C30B11/00 文献下载
摘要：本发明涉及半导体材料生产技术领域，公开了一种异形PBN和石英组合坩埚，包括石英坩埚、PBN坩埚和石英帽，所述石英坩埚包括包覆腔和石英坩埚籽晶腔，所述PBN坩埚包括原料腔和PBN坩埚籽晶腔，所述PBN坩埚和石英帽均设置于石英坩埚的内腔中，所述石英帽设置在靠近石英坩埚的开口一端，且所述石英帽的开口朝向PBN坩埚；所述石英坩埚籽晶腔包括第一籽晶腔段和第二籽晶腔段，所述第二籽晶腔段与PBN坩埚籽晶腔的外壁紧密贴合，所述石英坩埚的第一籽晶腔段和包覆腔与PBN坩埚之间设置有间隔区。本发明能够使得半导体材料获得平坦的生长界面且有效改善晶体热应力集中现象，获得大尺寸、低位错密度高、均匀性好的晶体。
一种异形 pbn 石英组合坩埚

[实用新型]一种异形PBN和石英组合坩埚-CN202022183332.1有效
发明人：罗福敏;胡昌勇 -专利权人：威科赛乐微电子股份有限公司
申请日： 2020-09-29 - 公布日： 2021-07-16 - 主分类号： C30B11/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体材料生产技术领域，公开了一种异形PBN和石英组合坩埚，包括石英坩埚、PBN坩埚和石英帽，所述石英坩埚包括包覆腔和石英坩埚籽晶腔，所述PBN坩埚包括原料腔和PBN坩埚籽晶腔，所述PBN坩埚和石英帽均设置于石英坩埚的内腔中，所述石英帽设置在靠近石英坩埚的开口一端，且所述石英帽的开口朝向PBN坩埚；所述石英坩埚籽晶腔包括第一籽晶腔段和第二籽晶腔段，所述第二籽晶腔段与PBN坩埚籽晶腔的外壁紧密贴合，所述石英坩埚的第一籽晶腔段和包覆腔与PBN坩埚之间设置有间隔区。本实用新型能够使得半导体材料获得平坦的生长界面且有效改善晶体热应力集中现象，获得大尺寸、低位错密度高、均匀性好的晶体。
一种异形 pbn 石英组合坩埚

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