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[实用新型]玻璃基板载板架-CN202220316015.9有效
发明人：李青;李赫然;王嘉麟;郭志胜;郑庆宽;郭旺东;宋义锋;耿智勇 -专利权人：河南旭阳光电科技有限公司;北京远大信达科技有限公司
申请日： 2022-02-15 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： B65D85/48 文献下载
摘要：本公开涉及一种玻璃基板载板架，包括支架、称重装置和计数器，支架包括竖直支架和水平支架，竖直支架上形成有用于供玻璃基板抵靠的抵靠部，称重装置安装在水平支架上并用于承载玻璃基板，并称量其承载的玻璃基板的重量，计数器安装在支架上并与称重装置电连接，以使计数器能够根据称重装置称量的重量确定玻璃基板的数量。通过上述技术方案，翻片后的玻璃基板摆放到玻璃基板载板架上后，称重装置对玻璃基板载板架上的玻璃基板进行称重，计数器根据称重装置称量的重量值和单片玻璃基板的重量确定出玻璃基板的数量，解决了人工计数容易漏数错数的问题
玻璃基板载板架

[发明专利]基板上下料装置和电化学沉积设备-CN202111260062.2在审
发明人：闫俊伟;袁广才;孙少东;王成飞;董士豪;张国才 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2021-10-28 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： C25D17/00 文献下载
摘要：本公开实施例提供一种基板上下料装置和电化学沉积设备，所述基板上下料装置用于在基板载具上装卸基板，所述装置包括：支撑架，用于支撑基板载具的承载板；推动结构，设置在支撑架上，推动结构包括多个推动单元，多个推动单元中的每个用于固定基板载具的盖板，并沿基板载具的厚度方向移动盖板，使盖板与承载板接触或分离，多个推动单元对盖板的推动互不影响。
上下装置电化学沉积设备

[发明专利]基板载体配置与夹持基板的方法-CN201380070954.3有效
发明人： C-C·杨;A·布吕宁;R·欣特舒斯特;S-H·林;C-H·林 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2013-01-28 - 公布日： 2018-01-19 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：提供一种基板载体配置，用以夹持具有将被处理的基板表面的基板。基板载体配置包括第一基板载体板(201)与第二基板载体板(202)。第二基板载体板(202)用以覆盖提供在第一基板载体板(201)中的开口(203)。基板(101)夹持在第一基板载体板(201)与第二基板载体板(202)之间，使得将被处理的基板表面(102)透过开口(203)露出以进行处理。
载体配置夹持方法

[发明专利]一种压合设备及压合方法-CN201611169712.1在审
发明人：姚固;金学权;王玉;童亚超 -专利权人：合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2016-12-16 - 公布日： 2017-04-26 - 主分类号： H01L51/52 文献下载
摘要：本发明提供了一种压合设备及压合方法，所述压合设备包括架体和分层设置在架体上的多个压合单元，压合单元包括设置在架体上的平台；设置在平台上的基板载台；设置在平台上的多个支撑杆，支撑杆相对于基板载台升降，并穿过基板载台上对应的开口部，具有第一状态和第二状态，在第一状态，支撑杆的支撑端高于基板载台，以支撑基板，在第二状态，支撑杆的支撑端低于基板载台，以将基板放置于基板载台上；设置于基板载台上方的压合面，压合面与基板载台相对设置，并能够与基板载台之间发生相对升降运动，以压合基板。本发明的压合设备可以同时对多个基板进行压合工艺，减小生产周期，并节约成本。
一种设备方法

[实用新型]一种压合设备-CN201621386168.1有效
发明人：姚固;金学权;王玉;童亚超 -专利权人：合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2016-12-16 - 公布日： 2017-06-20 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种压合设备，所述压合设备包括架体和分层设置在架体上的多个压合单元，压合单元包括设置在架体上的平台；设置在平台上的基板载台；设置在平台上的多个支撑杆，支撑杆相对于基板载台升降，并穿过基板载台上对应的开口部，具有第一状态和第二状态，在第一状态，支撑杆的支撑端高于基板载台，以支撑基板，在第二状态，支撑杆的支撑端低于基板载台，以将基板放置于基板载台上；设置于基板载台上方的压合面，压合面与基板载台相对设置，并能够与基板载台之间发生相对升降运动，以压合基板。本实用新型的压合设备可以同时对多个基板进行压合工艺，减小生产周期，并节约成本。
一种设备

[发明专利]基板载具、基板载具阵列和气相沉积装置及其使用方法-CN202010468492.2在审
发明人：叶继春;曾俞衡;廖明墩;闫宝杰;王玉明;陈晖;程海良;谢利华;李旺鹏 -专利权人：苏州拓升智能装备有限公司
申请日： 2020-05-28 - 公布日： 2020-07-31 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种基板载具、基板载具阵列和气相沉积装置及其使用方法，其中，所述基板载具包括：基板载板；第一固定部，设置在所述基板载板的第一表面，用于固定基板；第二固定部，设置在所述基板载板的第二表面，用于固定另一基板，所述第二表面与所述第一表面相对。
基板载具阵列和气沉积装置及其使用方法

[实用新型]基板载具、基板载具阵列和气相沉积装置-CN202020933954.9有效
发明人：叶继春;曾俞衡;廖明墩;闫宝杰;王玉明;陈晖;程海良;谢利华;李旺鹏 -专利权人：苏州拓升智能装备有限公司
申请日： 2020-05-28 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供了一种基板载具、基板载具阵列和气相沉积装置，其中，所述基板载具包括：基板载板；第一固定部，设置在所述基板载板的第一表面，用于固定基板；第二固定部，设置在所述基板载板的第二表面，用于固定另一基板
基板载具阵列和气沉积装置

[发明专利]涂浆装置及涂浆方法-CN201010126198.X有效
发明人：前原信二;神尾正信;内村满幸 -专利权人：株式会社日立工业设备技术
申请日： 2010-02-24 - 公布日： 2010-11-17 - 主分类号： G02F1/1341 文献下载
摘要：能相对于基板的大型化实现基板保持机构的小型轻量化，能实现包含支承台的装置整体轻量化。设于支承台(1)、载置基板的基板保持机构(8)在X轴方向等间隔地配置多个基板载置构件(32a～32e)，多个基板载置构件通过在U形构件(33a～33e)上载置平板状的吸附板(34a～34e)而构成，与这些基板载置构件正交且等间隔地配置的多个连接构件(35a～35d)连接在基板载置构件(32a～32e)的下面侧，由这些基板载置构件(32a～32e)和连接构件(35a～35d)构成井形架状台。吸附板(34a～34e)的上面设有吸附孔，构成基板的载置面。基板保持机构(8)由多个交叉滚子轴承(36、36a)在θ轴方向转动，由正交轴承(37)在X、Y轴方向移动。
装置方法

[发明专利]基板处理装置、半导体装置的制造方法及存储介质-CN202011006528.1在审
发明人：大桥直史 -专利权人：株式会社国际电气
申请日： 2020-09-23 - 公布日： 2022-01-25 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种基板处理装置、半导体装置的制造方法及存储介质，在一边使基板进行公转一边进行处理的装置中能够对基板载置面周围的结构进行清洁。基板处理装置构成为具有：处理室，其对基板进行处理；基板载置板，其具备非基板载置面和多个基板载置面；旋转部，其使所述基板载置板旋转；等离子体生成部，其构成为所述非基板载置面上的等离子体密度比所述基板载置面上的等离子体密度高；处理气体供给部，其向所述处理室供给处理气体；清洁气体供给部，其向所述处理室供给清洁气体；以及加热器，其配置于所述基板载置板的下方。
处理装置半导体制造方法存储介质

[发明专利]基板载具及其硒化制程系统-CN201210121515.8无效
发明人：李适维;林清儒;锺青源;林明弘;黄伟民;邱振海 -专利权人：绿阳光电股份有限公司
申请日： 2012-04-24 - 公布日： 2013-09-18 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明公开了一种基板载具用来运载多个背电极基板至一炉腔内，每一背电极基板上形成有一前趋物层，所述炉腔用来提供一制程气体以与所述前趋物层反应形成一光电转换层在每一背电极基板上，所述基板载具包括一耐热金属架体及一第一保护层所述耐热金属架体具有多个承载槽，用来承载所述多个背电极基板。所述第一保护层形成在所述耐热金属架体上，用来防止所述耐热金属架体发生化学反应。透过基板载具具有耐热金属架体并在耐热金属架体上形成保护层的设计，所述基板载具可具有抗高温及抗特定气体反应腐蚀的特性。
基板载具及其硒化制程系统

[发明专利]混合基板载具-CN201780071345.8有效
发明人： S·斯如纳乌卡拉苏;S·瓦亚布朗;A·马哈德夫;S·卡莉亚纳桑达兰;E·S·白 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2017-11-17 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本文提供混合基板载具的实施例。在一些实施例中，基板载具包括：承载环，具有与承载环的中心开口相邻的内部壁架；和承载板，具有比中心开口更大的直径，并且被配置成搁置在内部壁架上，其中承载板包括设置于支撑表面下方的电极，以将基板静电夹持至承载板的支撑表面
混合基板载具

[实用新型]基板载具-CN200520076115.5无效
发明人：黄俊凯;何仁钦;蔡升富;郑凯仁;邱义君 -专利权人：富士迈半导体精密工业(上海)有限公司;沛鑫半导体工业股份有限公司
申请日： 2005-09-30 - 公布日： 2006-11-22 - 主分类号： B65D85/48 文献下载
摘要：一种基板载具，其包括有架体、若干支撑体及基板载具尺寸调整机构，该架体包括有上板体、下板体及用以定位上下板体的锁固板，于上、下板体及锁固板间形成有置放空间，所述若干支撑体固设于导引板而位于上下板体之间，且每一支撑体上平行设有若干基板支撑部，基板载具尺寸调整机构包括具有滑槽的定位板、定位块及定位螺丝与固锁螺丝，所述调整机构借助固锁螺丝而固设于上下板体，当定位块在滑槽中滑动至预定的定位卡槽处时，导引板亦将在定位块的带动下在架体的相应导引槽上滑动至预定的位置，借此来变换相对支撑体的位置以收容具预定尺寸的基板，最后借助定位螺丝将调整至预定位置的定位块及导引板固锁。
基板载具

[发明专利]承载板及其制法-CN201010003899.4有效
发明人：陈嘉音;王愉博;祁成伟;黄建屏;柯俊吉 -专利权人：矽品精密工业股份有限公司
申请日： 2010-01-15 - 公布日： 2011-07-20 - 主分类号： H01L23/13 文献下载
摘要：本申请公开一种承载板及其制法，其中承载板包括：基板载体；封装基板，嵌设于该基板载体中；以及多个第一定位孔，贯穿该基板载体的第一及第二表面，且设于各该封装基板的周围。本发明排除有瑕疵的封装基板，而将无瑕疵的封装基板嵌设于该基板载体中以免除后续制造方法的浪费，且将该封装基板直接嵌设于该基板载体中，而能简化制造方法及节省材料成本。本发明进一步提供一种承载板的制法。
承载及其制法

[实用新型]一种复合式塑封装置-CN202223357284.9有效
发明人：张志华;林建涛;尹志强 -专利权人：东莞忆联信息系统有限公司
申请日： 2022-12-14 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： B29C33/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种复合式塑封装置，包括第一模具、第二模具、基板以及固定组件；第一模具包括成型腔，成型腔为开口腔，第二模具包括基板载板，第一模具与第二模具对接，成型腔的开口与基板载板对接，成型腔与基板载板围合形成塑封空间，成型腔用于塑封料填充成型，基板载板用于承托基板；固定组件包括压板，基板以及压板设置于塑封空间，塑封料与基板的上表面部分接触，压板与基板载板相连接，压板的下表面与基板的上表面其余部分接触，压板将基板压合于基板载板的上表面本案公开的塑封装置通过在设置固定组件将腔体内的基板压合固定，防止基板在塑封料的粘接带动作用下发生翘曲或位移，解决塑封产品因粘连变形损坏的问题。
一种复合塑封装置

[实用新型]基板载运装置-CN201920126066.3有效
发明人：陆张武;徐勇军;黄敏;李恭剑;王迎 -专利权人：浙江水晶光电科技股份有限公司
申请日： 2019-01-24 - 公布日： 2019-10-22 - 主分类号： B62B3/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种基板载运装置，涉及储运装置技术领域，本实用新型提供的基板载运装置包括：承载架和运载车，运载车上设有容纳区，承载架设置在容纳区内，且可拆卸地滑动连接于运载车，承载架上设有多个板料槽，多个板料槽间隔设置，且板料槽沿铅锤方向延伸，本实用新型提供的基板载运装置缓解了现有技术中存在的基板运送易晃动和倾倒的技术问题，不仅可以解决多个板件堆叠存在晃动和易倾倒的问题，而且可以避免板件之间相互摩擦和磕碰。
基板载运本实用新型板料槽承载架运载车板件晃动倾倒储运装置滑动连接基板运送间隔设置铅锤方向可拆卸容纳区磕碰堆叠运载摩擦容纳缓解延伸

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