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[发明专利]基板冷却装置-CN201810749980.3在审
发明人：肖文欢 -专利权人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2018-07-10 - 公布日： 2018-12-18 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本揭示提供了一种基板冷却装置。基板冷却装置包括腔室组件、电极、基板、气体导入系统以及气体导出系统。电极设置于腔室组件中，且电极包括多个流入通孔及多个流出通孔。基板设置于腔室组件中及电极上。基板及电极之间形成缝隙，且缝隙与流入通孔及所流出通孔连通。气体导入系统用于将温度调整气体导入流入通孔和缝隙。气体导出系统用于从缝隙和流出通孔导出温度调整气体，藉此温度调整气体可流动通过基板以带走基板上的热量。本揭示能提供较佳的基板冷却效果。
通孔电极基板基板冷却装置腔室组件温度调整气体导入系统流出导出系统电极设置基板冷却基板设置可流动导出连通

[发明专利]基板冷却装置-CN201110077443.7有效
发明人：中根慎悟;佐藤隆行;芳谷光明;福原文人;山冈英人;安陪裕滋;石川利治 -专利权人：大日本网屏制造株式会社
申请日： 2011-03-25 - 公布日： 2012-03-21 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供一边搬运基板一边高效且均匀地对基板面内进行冷却的基板冷却装置。围绕在辊搬运机构(10)形成的基板(W)的搬运路径的周围，设置有两端部开放的隧道状的风洞部(20)。通过沿着该气体流路(25)搬运加热后的基板(W)进行冷却处理。
冷却装置

[发明专利]基板冷却装置-CN200710004353.9无效
发明人：相马康孝;坂井光广;和田宪雄;八寻俊一 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2007-01-24 - 公布日： 2007-08-01 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种即使针对大型的基板也具有优异的安全性并同时提高生产率的基板冷却装置。基板冷却装置(25)具有：滚动搬送机构(5)，作为向一个方向搬送基板(G)的搬送路径；和冷却机构(7)，在壳体(6)内使由滚动搬送机构(5)搬送的基板(G)与冷却介质接触、进行冷却。
冷却装置

[发明专利]基板冷却装置和基板冷却方法-CN202010099333.X在审
发明人：萨米·K·哈托;乔治·萨科;马修·C·法雷尔;迪安·焦拉 -专利权人：日新离子机器株式会社
申请日： 2020-02-18 - 公布日： 2020-09-22 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供能利用简易结构均匀地冷却基板的基板冷却装置和基板冷却方法。基板冷却装置包括：腔室，接收所述基板，并且具备多个侧壁部，多个侧壁部包围基板且在与所述基板的垂直侧面平行的垂直方向延伸；至少一个气体导入口，形成在所述腔室的第一侧壁部，在与所述基板的所述上表面和所述下表面平行的横向上，向所述腔室内导入冷却气体；以及至少一个气体出口，形成在与所述腔室的所述第一侧壁部隔着所述基板位于相反侧的所述腔室的第二侧壁部，将所述冷却气体的至少一部分沿着所述横向导向所述腔室的外部，所述气体导入口和所述气体出口以下述方式定位：使所述冷却气体以在所述横向横穿所述基板的所述上表面上和所述下表面上的方式流动。
冷却装置方法

[发明专利]基板冷却方法以及基板冷却装置-CN200810149010.6有效
发明人：柿村崇 -专利权人：大日本网屏制造株式会社
申请日： 2008-09-18 - 公布日： 2009-04-22 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种基板冷却方法以及基板冷却装置，通过搬运辊搬运基板的同时更价格低廉并高效地冷却基板。冷却处理部(1C)在通过搬运辊(14)对加热处理之后的基板(S)进行搬运的同时，通过该搬运辊(14)冷却基板(S)。即，在通过搬运辊(14)搬运基板(S)的同时，通过喷嘴(26)向搬运辊(14)的内部喷洒常温的冷却水，该冷却水因所述搬运辊(14)所具有的热量而汽化(蒸发)并向外部排出，从而冷却搬运辊(14)，由此冷却基板
冷却方法以及装置

[发明专利]基板处理装置和基板处理方法-CN201710707152.9有效
发明人：西山耕二;井上和宏 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2017-08-17 - 公布日： 2021-07-20 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明的目的是提供一种基板处理装置和基板处理方法，可以根据曝光装置的状态来抑制基板的处理效率的下降并将适当状态的基板搬入曝光装置中。曝光处理前的基板被搬入到载置兼冷却部并被冷却。利用搬送装置对冷却了的基板进行保持并将其搬出载置兼冷却部。在曝光装置可接收基板的情况下，通过搬送装置将从载置兼冷却部搬出来的基板搬送到曝光装置。在曝光装置不能接收基板的情况下，通过搬送装置将从载置兼冷却部搬出来的基板搬入到冷却兼缓冲部。在冷却兼缓冲部中，维持基板的温度。在曝光装置变成可接收基板之后，通过搬送装置将基板从冷却兼缓冲部搬出并搬送到曝光装置。
处理装置方法

[发明专利]曝光装置、曝光方法和曝光机-CN202110220327.X在审
发明人：郝征;李志丹;唐世弋 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2021-02-26 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种曝光装置、曝光方法和曝光机。该曝光装置包括冷却台和至少一个光学检测单元；光学检测单元至少设置于冷却台的上下一侧，光学检测单元用于在冷却台对待冷却基板进行冷却时检测待冷却基板的表面。在冷却台对待冷却基板进行冷却时，光学检测单元同时对待冷却基板进行表面的异物检测。当光学检测单元检测到待冷却基板上无异物时，在待冷却基板进行冷却后被传输至曝光装置的曝光台，采用光罩在待冷却基板上形成图案化结构时，可以避免待冷却基板上的异物划伤光罩，提高了曝光装置的可靠性，同时减少了光罩的损耗，进而降低了曝光装置制作显示面板的成本。
曝光装置方法

[发明专利]基板处理装置和基板处理方法-CN201480062816.5有效
发明人：梶原雄二 -专利权人：佳能安内华股份有限公司
申请日： 2014-10-21 - 公布日： 2019-01-11 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明的目的是提供一种能够在较清洁的状况下传送基板的、用于冷却基板的基板处理装置和方法。作为本发明的基板处理装置的实施方式的基板冷却装置(100)设置有室(101)、提供冷却的冷却单元(109、112)、基板保持件(103)和遮蔽件(111)，基板保持件(103)具有用于将基板(S)载置于所述室的基板载置面(103a)并且基板保持件(103)被冷却单元冷却，遮蔽件(111)具有围绕所述室内的基板载置面的侧方的侧壁部并且遮蔽件(111)被冷却单元冷却。
处理装置方法

[发明专利]基板冷却装置、基板冷却方法及存储介质-CN201010508961.5无效
发明人：水永耕市;久我恭弘;金田正利 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2010-10-12 - 公布日： 2011-05-04 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供基板冷却装置、基板冷却方法及存储介质。该基板冷却装置能够均匀性较高地冷却基板。基板冷却装置包括：载置台，其包括用于载置基板的载置面；突起，其设置于上述载置面，用于支承上述基板的背面；制冷剂流路，其为了冷却上述载置面而设置于上述载置台，供制冷剂流通；气体喷出口，其在上述载置面的周缘部沿着周向设有多个，喷出用于冷却基板的冷却气体；气体吸引口，其设置在上述载置面的中央部，用于吸引上述冷却气体；槽，其设置于上述载置面，用于使冷却气体朝向基板的周向扩散。通过这种结构，能够均匀性较高地对载置于上述载置面的基板进行冷却。
冷却装置方法存储介质

[发明专利]基板冷却装置及方法-CN202010382156.6在审
发明人：金钟勋;金志训 -专利权人： PSK控股公司;塞米吉尔公司
申请日： 2020-05-08 - 公布日： 2021-02-02 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种冷却基板的基板冷却装置。本发明的实施例的基板冷却装置包括：卡盘，供放置基板；冷却单元，用于冷却所述卡盘，所述冷却单元包括：散热板，在上面放置所述卡盘，并散发所述卡盘的热。
冷却装置方法

[实用新型]带有冷却装置的LED集成结构-CN201020516074.8无效
发明人：杨东佐 -专利权人：杨东佐
申请日： 2010-09-01 - 公布日： 2011-04-20 - 主分类号： H01L25/13 文献下载
摘要：带有冷却装置的LED集成结构，包括散热基板，LED芯片，LED芯片固定在散热基板上，其特征在于：冷却装置包括设置在散热基板背离LED芯片的一侧流道流道壳体、驱动冷却介质流动装置、在流道壳体和散热基板间形成容置冷却介质的冷却流道，冷却流道与散热基板气密封或液密封；LED芯片的背面完全被冷却流道覆盖；散热基板背离LED芯片的一侧与冷却介质直接接触；优点是由于冷却介质温度容易控制，驱动冷却介质流动装置能使冷却流道内的冷却介质快速流动，热交换更快，能更快更多地带走由LED芯片产生的热量，因此比散热基板直接与空气接触，冷却效果更好。
带有冷却装置 led 集成结构

[实用新型]一种具有冷却装置的车载无线充电模块-CN201921278507.8有效
发明人：杨国勋;孙建;钟财;张建康;寇秋林 -专利权人：浙江万安亿创电子科技有限公司
申请日： 2019-08-08 - 公布日： 2020-03-03 - 主分类号： H02J7/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有冷却装置的车载无线充电模块，所述车载无线充电模块包括自下而上设置的接收线圈组件和电路控制组件，接收线圈组件与电路控制组件之间设有冷却装置，所述冷却装置包括冷却基板和导热基板，冷却基板上设有冷却液通道，冷却液通道上方设有与冷却基板密封连接且与冷却液通道的形状相匹配的密封盖板，导热基板固定于冷却基板的上方且导热基板上开设有与密封盖板的形状相同的镂空部；所述接收线圈组件贴附在冷却基板的下表面，所述电路控制组件贴附在导热基板的上表面该充电模块为集成一体化设计，可以实现双面散热，其冷却装置的结构简单，布局合理，流阻小，散热面积大且效率高，提高了无线充电时的安全性。
一种具有冷却装置车载无线充电模块

[发明专利]多级式基板干燥装置-CN201210499841.2无效
发明人：申垣浩 -专利权人：聪明太华有限公司
申请日： 2012-11-30 - 公布日： 2014-06-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及能够快速均匀地加热多张大面积基板，干燥性能和去除装置内的烟雾的效果好的多级式基板干燥装置。多级式基板干燥装置包括：多个基板干燥模块，配置成沿着上下方向隔开规定间隔地层压的形态，以将基板嵌入于内部的状态加热基板来使基板干燥；基板冷却模块，配置于基板干燥模块的下侧，以将基板嵌入于内部的状态冷却基板；框架，提供用于垂直层压设置多个基板干燥模块和基板冷却模块的空间；模块移动单元，设置于框架，用于以使各基板干燥模块和基板冷却模块在框架上沿着水平方向移动的方式支撑基板干燥模块；以及排气模块，分别与基板干燥模块及基板冷却模块相结合，用于将基板干燥模块的内部及基板冷却模块内部的气体单独地排出。
多级式基板干燥装置

[发明专利]基板冷却装置、基板冷却方法、控制程序和可计算机读取的存储介质-CN200710004356.2无效
发明人：相马康孝;坂井光广;和田宪雄;八寻俊一 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2007-01-24 - 公布日： 2007-08-01 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种基板冷却装置，即使针对大型化的基板，也能够提高生产能力，同时能够确实地防止基板的变形和破损。基板冷却装置(25)包括：滚动搬送机构(5)，其为向一个方向搬送加热后的基板(G)的搬送路；和冷却结构(7)，冷却由滚动搬送机构(5)搬送的基板(G)。冷却机构(7)沿滚动搬送机构(5)从搬送方向的上游侧依次配置有预备冷却室(65a)和主冷却室(65b)，在预备冷却部(65a)冷却加热后的基板(G)，粗略除去基板(G)的热量，然后在主冷却部(65b)将该基板(G)冷却至规定的温度。
冷却装置方法控制程序计算机读取存储介质

[发明专利]冷却装置、使用了该装置的图像显示面板的制造装置以及方法-CN200510054886.9无效
发明人：吉村昌真 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2005-03-22 - 公布日： 2005-09-28 - 主分类号： C23C16/46 文献下载
摘要：在构成使用了电子线放射元件等的图像显示装置的基板的加热以及冷却过程中使用的冷却装置中，具备与基板相对而且吸收基板的放射热的冷却板，通过在冷却板中设置与基板的低放射率区域相对的图案的高放射率区域，减轻基板冷却时的基板温度分布的变化，防止基板畸变或者破损。
冷却装置使用图像显示面板制造以及方法

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