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[发明专利]金属刻蚀后防止金属腐蚀的方法-CN202010276306.5在审
发明人：金宗范;周娜;李俊杰;杨涛;李俊峰;王文武 -专利权人：中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请日： 2020-04-09 - 公布日： 2021-10-19 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：本公开公开了一种金属刻蚀后防止金属腐蚀的方法，包括：提供一基底，所述基底一侧表面上具有金属层；对所述金属层进行刻蚀；以及在所述金属表面形成氧化膜。本公开中，在金属刻蚀后，在金属表面形成的氧化膜可以阻断大气中的水蒸气与金属表面及其内部残留的氯成分反应，防止金属刻蚀后金属腐蚀的发生。
金属刻蚀防止金属腐蚀方法

[发明专利]金属图案的成型-CN02806147.0无效
发明人：海因里希·迈尔;乌多·格里泽 -专利权人：埃托特克德国有限公司
申请日： 2002-02-12 - 公布日： 2004-10-27 - 主分类号： H01L21/3213 文献下载
摘要：本发明涉及一种电路载体的再现性制造方法，所述电路载体具有极精细电路结构及以本方法施加的电泳漆料，其中提供一种含基底金属表面的介电基材，将漆层施加于电沉积电泳漆料的基材表面上，随后将漆层在不与欲由紫外光照形成的金属图案相对应的至少部分区域烧蚀，使基底金属表面裸露，最后蚀刻裸露的基底金属表面。
金属图案成型

[发明专利]修整金属表面的方法-CN202080040375.4在审
发明人：克里斯托夫·J·卡特 -专利权人： 3M创新有限公司
申请日： 2020-05-27 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： C23F1/02 文献下载
摘要：一种修整金属表面的方法，该方法包括以下步骤：将掩模层设置在基底的初始金属表面上；用蚀刻剂蚀刻初始金属表面的至少一部分以提供经蚀刻的表面，并且将蚀刻剂与经蚀刻的表面分离。经蚀刻的表面比初始金属表面光滑。基于深度：蚀刻剂以基本上相同的速率蚀刻掩模层的所述至少一部分和初始金属表面的所述至少一部分；以及/或者蚀刻剂渗透掩模层的所述至少一部分并且以基本上相同的速率蚀刻初始金属表面的所述至少一部分。还公开了通过所公开的方法修整的基底和用于实施该方法的套件。
修整金属表面方法

[发明专利]一种谐振结构、金属无损检测传感器、检测系统及方法-CN202210139257.X在审
发明人：何大平;管慧娟;杨应平;宋荣国 -专利权人：武汉理工大学
申请日： 2022-02-15 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： G01N22/02 文献下载
摘要：本发明涉及微波传感技术领域，尤其是一种谐振结构、金属无损检测传感器、检测系统及方法。其中，金属无损检测传感器包括参考地，所述参考地包括谐振结构；介质基底，所述介质基底设置于所述参考地上；微带线，所述微带线设置于所述介质基底上，且所述微带线沿所述介质基底的轴向方向延伸。本发明在利用金属无损检测系统进行金属表面缺陷检测时，金属表面任意形式的缺陷均会增大整体等效电感，金属无损检测传感器谐振频率减小。对金属表面任意方向、长度、宽度以及深度裂纹均不会造成漏检，且检测灵敏度比较大，可检测亚毫米级别的裂纹。
一种谐振结构金属无损检测传感器系统方法

[发明专利]三维周期结构的金属表面增强拉曼散射基底及其制备方法-CN201110304172.4无效
发明人：张荻;顾佳俊;谭勇文 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2011-10-10 - 公布日： 2012-03-21 - 主分类号： G01N21/65 文献下载
摘要：一种化学检测技术领域的三维周期结构的金属表面增强拉曼散射基底及其制备方法，通过将生物模板氨基化后浸入氯金酸溶液中以导入催化金属离子，然后经硼氢化钠进行活化后经化学镀处理得到金属化生物模板，最后通过搭载金属离子得到金属表面增强拉曼散射基底本发明使制得的金属表面增强拉曼散射基底继承和复制了天然生物体的三维周期结构。工艺简单灵活、成本低廉，获得的这种三维周期金属基底具有较高的表面增强拉曼效应，能有效增强拉曼信号，且信号响应均匀、可重复性好。
三维周期结构金属表面增强散射基底及其制备方法

[发明专利]用于痕量毒害物质检测的MOFs@贵金属表面增强拉曼散射基底、制备方法及应用-CN201810068077.0在审
发明人：何璇;刘渝 -专利权人：中国工程物理研究院化工材料研究所
申请日： 2018-01-24 - 公布日： 2018-08-17 - 主分类号： G01N21/65 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于痕量毒害物质检测的MOFs@贵金属表面增强拉曼散射基底的制备方法，包括如下步骤：步骤一、将制备MOFs所需的金属盐与配体混合搅拌均匀，超声后放入烘箱反应，得到所需MOFs纳米材料；步骤二、将MOFs纳米材料加入到贵金属盐溶液中，室温搅拌，遮光浸渍，然后通过光还原反应，离心洗涤后得到MOFs@贵金属表面增强拉曼散射复合材料。本发明还提供了用于痕量毒害物质检测的MOFs@贵金属表面增强拉曼散射基底及其应用。本发明提供的用于痕量毒害物质检测的MOFs@贵金属表面增强拉曼散射基底的制备方法简单有效，工艺稳定，灵敏度高，选择性好。
贵金属表面拉曼散射物质检测痕量基底制备毒害纳米材料烘箱浸渍贵金属盐溶液工艺稳定离心洗涤配体混合室温搅拌复合材料光还原金属盐灵敏度超声放入遮光应用

[发明专利]形成钝化层的方法、含钝化层的基底及钝化层去除方法-CN201910371982.8在审
发明人：米歇尔·格莱姆斯;林宇源 -专利权人： SPTS科技有限公司
申请日： 2019-05-06 - 公布日： 2019-11-08 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本申请提供了一种在基底上形成钝化层的方法。该方法包括以下步骤：a)在处理室中提供基底，所述基底包括金属表面，其中，所述金属表面为铜、锡或银表面，或为包括铜、锡或银中的一种或多种的合金表面；b)通过气相沉积将至少一个有机层沉积到所述金属表面上，由有机前体形成的所述有机层包括：包括氧、氮、磷、硫、硒、碲或硅中的至少一种的第一官能团；和选自羟基(‑OH)或羧基(COOH)的第二官能团；其中，所述第一官能团吸附在所述金属表面上；和c)通过气相沉积将至少一个无机层沉积到所述有机层上本申请还涉及具有所述钝化层的基底及从所述基底去除或降解钝化层的方法。
钝化层基底金属表面有机层气相沉积无机层去除沉积附着位点合金表面有机前体银表面降解吸附羟基羧基申请

[发明专利]一种应用于金属/高分子连接的表面处理方法-CN201910298766.5在审
发明人：蒋沐阳;巴克特然·萨里耶夫;陈科;单爱党 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2019-04-15 - 公布日： 2019-07-09 - 主分类号： B23K20/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种应用于金属/高分子连接的表面处理方法，将金属表面磨抛洗净后，用腐蚀性液体浸泡金属表面，使其表面形成一层反应层，该反应层包括金属基底和分散在金属基底上的化合物颗粒，在与高分子连接的过程中，高温下流动性提升的熔融高分子与金属基底及化合物颗粒充分接触润湿后形成紧密的微观咬合与键合，使金属表面与高分子有效连接。与现有技术相比，本发明表面处理工艺适用范围广泛，操作简单，有效可靠，能够满足不同种类与尺寸的金属/高分子的连接研究。
金属表面金属基化合物颗粒反应层金属润湿表面处理工艺腐蚀性液体表面形成充分接触有效连接键合磨抛熔融洗净咬合浸泡应用微观研究

[发明专利]一种金属表面复合凝胶超疏水涂层的制备方法-CN202310590403.5在审
发明人：王海涛;齐煜;庞昊鹏;文懋;李敏;白炳莲;方官久 -专利权人：吉林大学;苏州今蓝纳米科技有限公司
申请日： 2023-05-24 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： B05D5/00 文献下载
摘要：本发明涉及超疏水涂层技术领域，尤其涉及一种金属表面复合凝胶超疏水涂层的制备方法。本发明通过将抛光后的金属基底进行表面刻蚀，得到刻蚀金属基底；将F‑SiO2和BPH‑8的混合物加入到溶剂中并加热，待BPH‑8凝胶因子完全溶解后滴涂在制得的刻蚀金属基底表面，得到金属表面复合凝胶超疏水涂层。本发明利用激光在金属表面刻蚀产生规则的“阵列”结构，之后将复合凝胶涂层填充在“阵列”之间，有效地增强了涂层的耐摩擦性质，同时金属基底的防污性和耐腐蚀性质也得到了很大的改善，能够应用于金属材料的防水、防污和金属腐蚀的防护
一种金属表面复合凝胶疏水涂层制备方法

[发明专利]金属表面电沉积铀的方法-CN202210288112.6在审
发明人：沈亦佳;梁积新;吴宇轩;吴如雷;赵婧妍 -专利权人：中国原子能科学研究院
申请日： 2022-03-23 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： C25B1/01 文献下载
摘要：本发明的实施例公开了一种金属表面电沉积铀的方法。所述方法包括：对金属基底进行预处理；以含有硝酸铀酰的水溶液作为电解液，将预处理后的所述金属基底置于所述电解液中，以所述金属基底为阴极进行电沉积，所述电解液中的铀酰离子电沉积于所述金属基底表面，形成二氧化铀层；其中，所述预处理至少包括：对所述金属基底进行活化处理，将所述金属基底浸泡在活化剂中，以在所述金属基底的表面形成活化膜。采用本发明中的方法电沉积铀，可以直接在不易进行电沉积的金属表面直接电沉积二氧化铀，无需在金属基底表面镀镍之后再进行二氧化铀的电沉积，同时也不会引入镍杂质，避免了Ni对Mo‑99分离的影响。
金属表面沉积方法

[发明专利]一种在钛基底上制备超疏水表面的方法-CN201611117595.4有效
发明人：柯曦;程乙峰;施志聪;刘军;梁耀华 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2016-12-07 - 公布日： 2018-12-21 - 主分类号： C25D3/56 文献下载
摘要：本发明提供了一种在钛基底上制备超疏水表面的方法，包括：S1)在钛基底表面电化学沉积金‑锡合金薄膜；S2)将表面沉积了金‑锡合金薄膜的钛基底在浓硝酸溶液中进行去合金处理；S3)在经过去合金处理的钛基底表面自组装全氟化硫醇膜，获得超疏水表面。本发明通过在钛基底表面构筑纳米多孔分形异质金属表面形成分级粗糙表面，再利用金属‑硫原子间相互作用在多孔金属表面自组装全氟化硫醇薄膜以降低表面能，从而在钛基底上形成超疏水表面。
钛基超疏水表面锡合金薄膜超疏水表合金处理全氟化制备多孔金属表面表面电化学表面自组装浓硝酸溶液表面沉积表面形成粗糙表面硫醇薄膜纳米多孔异质金属表面能硫醇膜硫原子再利用自组装分级分形沉积金属构筑

[发明专利]一种区域选择性沉积的方法-CN202210813498.8在审
发明人：于严淏;李春 -专利权人：南方科技大学
申请日： 2022-07-11 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： C23C16/04 文献下载
摘要：一种区域选择性沉积的方法，包括：有机功能分子修饰步骤，包括使用有机功能分子对金属互联半导体基底的金属表面和半导体表面进行分步化学修饰，获得的金属互联半导体基底具有亲油改性的金属表面以及疏油改性的半导体表面；涂覆步骤，包括使用化合物在亲油改性的金属表面形成阻隔层；沉积步骤，包括将涂覆后的基底置于沉积设备腔室内，使用前驱体进行沉积，获得沉积后的基底。该方法具备简洁性、普适性等优势，无需光刻蚀刻进行微观图案化，对介电氧化物的延迟成核效果明显高于目前主流的自组装单分子层技术，使选区原子层沉积选择率显著提升，有效解决了芯片制造工业中金属互联半导体材料选区原子层沉积选择率低的问题
一种区域选择性沉积方法

[发明专利]包括插件的半导体模块和用于生产包括插件的半导体模块的方法-CN201110297372.1有效
发明人： R.拜耶雷尔;O.霍尔费尔德 -专利权人：英飞凌科技股份有限公司
申请日： 2011-09-30 - 公布日： 2012-05-09 - 主分类号： H01L23/488 文献下载
摘要：通过提供带有金属表面的基底和包括绝缘载体的绝缘衬底来制造功率半导体模块，该绝缘载体具有提供有底金属化层的底侧。提供呈现波浪结构的插件。该插件定位在绝缘载体和金属表面之间，在此之后，金属表面利用焊料被焊接到底侧金属化层和插件，从而用焊料填塞在金属表面和底侧金属化层之间的全部空隙。
包括插件半导体模块用于生产方法

[发明专利]含有多层级电力基板的射频封装和相关联制造方法-CN202211465531.9在审
发明人：龚志伟;李黎;李璐;L·维斯瓦纳坦;F·A·桑托斯;B·J·卡彭特 -专利权人：恩智浦美国有限公司
申请日： 2022-11-22 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H01L23/14 文献下载
摘要：在实施例中，所述方法包括通过获得基底片层级来产生多层级基板片，所述基底片层级含有预制基底结构并具有供所述预制基底结构的金属表面从中暴露的表面。次级片层级形成于基底层上以包括图案化金属特征，所述图案化金属特征嵌入于次级介电体中并在直接镀覆界面处电接触所述预制基底结构的暴露的金属表面。多层级电力基板的预单分阵列被分成单分多层级电力基板，每个单分多层级电力基板包括由所述基底片层级的单分件形成的基底基板层级和由所述次级基板层级的单分件形成的次级基板层级。
含有多层电力射频封装相关制造方法

[发明专利]基于改进型CSRR-SICW的无线无源高灵敏度高温传感器-CN202110509106.4在审
发明人：苏淑靖;任婷;郝艳阳;许福佳;张丽丽;梁东飞;梁文科;赵雪鹏;邢震震;裴永浩;冯成林 -专利权人：中北大学
申请日： 2021-05-11 - 公布日： 2021-09-03 - 主分类号： G01K11/00 文献下载
摘要：本发明属于微波传感器技术领域，公开了一种基于改进型CSRR‑SICW的无线无源高灵敏度高温传感器，包括基片集成圆波导，所述基片集成圆波导包括介质基底层，介质基底层的上、下表面分别设置有上金属表面和下金属表面，内部设置有多个贯穿介质基底层上下表面的侧壁金属圆柱，所述侧壁金属圆柱沿圆周方向分布；上金属表面上刻蚀形成有呈开口圆环状的第一缝隙和第二缝隙，第一缝隙位于第二缝隙外侧，形成改进型互补开口谐振环。本发明通过在介质基底层上设置金属圆柱，形成谐振腔；与传统的CSRR结构相比，可以更加灵活的调整谐振腔的谐振频率。
基于改进型 csrr sicw 无线无源灵敏度高温传感器

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