专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]线宽均匀测试方法-CN201010545764.0有效
  • 黄玮;段天利;邹永祥;胡骏;张辰明;刘志成 - 无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司
  • 2010-11-16 - 2012-05-23 - G03F7/20
  • 本发明涉及一种线宽均匀测试方法,包括以下步骤:在光刻版上形成线宽设计值为目标值的k个线宽测试图形;遍测k个线宽测试图形在光刻版上的线宽实际值;计算k个线宽测试图形的线宽实际值与对应的目标值的差值;将k个线宽测试图形光刻到圆片上;测试圆片上k个线宽测试图形的线宽真实值;根据k个线宽测试图形的线宽值和线宽真实值计算MEEF校验值,线宽值是目标值或线宽实际值;计算k个差值与MEEF校验值的乘积,得到对应的k个补偿值;计算圆片上的k个线宽测试图形的线宽真实值与对应的k个补偿值之和,得到k个线宽最终值,作为评价线宽均匀的数据。
  • 均匀测试方法
  • [发明专利]热板温度均匀测试方法-CN201010578121.6无效
  • 黄玮 - 无锡华润上华科技有限公司
  • 2010-12-08 - 2012-07-11 - G03F7/20
  • 本发明提供了一种热板温度均匀测试方法,其包括步骤:提供两个非对称图形并放置于光刻版上,该两个非对称图形之间具有距离D1及两个非对称图形各自中心线之间具有距离L1;设定曝光后烘烤(PEB)温度;将曝光后的放置有两个非对称图形的圆片进行曝光后烘烤,形成潜像图形,两个非对称图形之间的距离变化为D2且两个非对称图形各自中心线之间的距离变化为L2;上述两个非对称图形组成光刻机的对位标记或特定测试结构,利用光刻机的对位系统测定各对位标记或特定测试结构的坐标/距离,并比较测试值和理论数值的差异以定量反映热板温度的均匀。本发明利用非对称图形经过PEB后最终形成的潜像图像的中心发生偏移的特性,定量反应热板温度的均匀
  • 温度均匀测试方法
  • [实用新型]光斑均匀测试装置-CN202221668324.9有效
  • 严敏娜;柴雪峰 - 西安炬光科技股份有限公司
  • 2022-06-29 - 2023-03-24 - G01M11/02
  • 本申请公开了一种光斑均匀测试装置,涉及光学测试技术领域。该光斑均匀测试装置包括沿光路依次设置的漫反射板、滤光单元和图像采集分析组件;其中,所述漫反射板贴合于待测产品的出光面,待测产品出光面出射的光束透过所述漫反射板和所述滤光单元,所述图像采集分析组件接收所述光束透过所述滤光单元形成的光斑,并对所述光斑进行均匀分析。能够提升光斑均匀测试的可靠测试结果的准确
  • 光斑均匀测试装置
  • [实用新型]气体均匀测试装置以及测试系统-CN202122760213.2有效
  • 官见忠;胡仁静;秦雨松 - 天纳克(苏州)排放系统有限公司
  • 2021-11-11 - 2022-06-07 - G01N33/00
  • 一种气体均匀测试装置,其包括采样管、用以安装所述采样管的旋转装置、用以驱动所述采样管沿径向移动的第一驱动装置、以及用以驱动所述旋转装置发生旋转以带动所述采样管沿周向转动的第二驱动装置,所述采样管用以采集采样截面上若干采样位置处的气体本实用新型还揭示了具有所述气体均匀测试装置的测试系统。相较于现有技术,本实用新型的采样管能够沿径向移动以及沿周向转动,从而能够采集到采样截面上多个采样位置处的气体,增大了采样位置的覆盖率,提高了测量的便利和准确
  • 气体均匀测试装置以及系统
  • [发明专利]电容值均匀测试-CN201210405697.1有效
  • 黄柏翰 - 昆山意力电路世界有限公司
  • 2012-10-22 - 2014-05-07 - G01R31/28
  • 本发明公开了一种电容值均匀测试仪,包括底座、支架、测试用FPC屏体、双头探针和连接器,底座包括顶板和底板,以使用方向为基准,支架一端固定于顶板上表面,另一端侧部固连有第一定位机构,第一定位机构能够在顶板上表面定位和脱离待测FPC,顶板上另设有第二定位机构,第二定位机构能够在顶板下表面上定位和脱离测试用FPC屏体,测试用FPC屏体与待测FPC通过探针电连接,连接器定位固定于顶板上,且连接器的一端与待测FPC电连接,另一端设有引出信号的导线,本发明具有结构简单,便于实施操作,能够有效降低测试连接器损坏,提高测试连接器的使用次数,且可以节省人力,提高工作效率等多重优点。
  • 电容均匀测试仪
  • [实用新型]电容值均匀测试-CN201220542288.1有效
  • 黄柏翰 - 昆山意力电路世界有限公司
  • 2012-10-22 - 2013-04-17 - G01R31/28
  • 本实用新型公开了一种电容值均匀测试仪,包括底座、支架、测试用FPC屏体、双头探针和连接器,底座包括顶板和底板,以使用方向为基准,支架一端固定于顶板上表面,另一端侧部固连有第一定位机构,第一定位机构能够在顶板上表面定位和脱离待测FPC,顶板上另设有第二定位机构,第二定位机构能够在顶板下表面上定位和脱离测试用FPC屏体,测试用FPC屏体与待测FPC通过探针电连接,连接器定位固定于顶板上,且连接器的一端与待测FPC电连接,另一端设有引出信号的导线,本实用新型具有结构简单,便于实施操作,能够有效降低测试连接器损坏,提高测试连接器的使用次数,且可以节省人力,提高工作效率等多重优点。
  • 电容均匀测试仪

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