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- [发明专利]晶圆加工方法-CN201810678650.X有效
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牛小龙;徐相英;姜晓飞
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歌尔股份有限公司
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2018-06-27
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2022-04-19
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H01L21/683
- 本发明提供一种晶圆加工方法，包括：在承载晶圆的表面涂覆磁性粒子；将待加工晶圆键合在涂覆有磁性粒子的承载晶圆上，其中，键合后的待加工晶圆与承载晶圆之间形成有金属固化层，并且磁性粒子位于承载晶圆与待加工晶圆之间；对待加工晶圆进行加工，加工后的晶圆为成品晶圆；在承载晶圆的下方放置磁铁，磁铁移动并带动磁吸粒子产生位移，使得磁吸粒子切割所述金属固化层，承载晶圆与成品晶圆之间出现缝隙；将激光照射在成品晶圆上，使得成品晶圆从承载晶圆上剥离利用本发明，能够解决传统的晶圆加工方法能量消耗大和成本大等问题。
- 加工方法
- [实用新型]一种真空镀膜靶材安装结构-CN202021941732.8有效
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冯伟;吴海平;杜晓颖;杜国才
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深圳市长兴荣五金制品有限公司
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2020-09-08
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2021-05-11
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C23C14/35
- 本实用新型公开了一种真空镀膜靶材安装结构，包括靶头和磁铁块，所述靶头下固定连接有密封圆板，所述密封圆板内嵌设有水管，所述密封圆板的下方固定连接有上盖板，所述靶管内设置有塑胶管，所述塑胶管底部固定连接有U型杆，所述U型杆上固定连接有防滑套，所述防滑套上开设有防滑纹，所述塑胶管内设置有热缩胶，所述热缩胶内嵌设有铁氟龙片，所述铁氟龙片内固定连接有磁铁座，所述磁铁块固定连接在磁铁座外侧。该真空镀膜靶材安装结构设置有热缩胶和铁氟龙片，在将上盖板旋上之前，向磁铁座与塑胶管之间注入热缩胶，热缩胶能保护磁铁块受外力影响时，不会脱离磁铁座，且能够有效避免磁铁块与塑胶管，靶管直接摩擦。
- 一种真空镀膜安装结构
- [实用新型]一种方形磁铁-CN201621191123.9有效
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陈亮
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东莞金坤新材料股份有限公司
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2016-10-31
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2017-09-12
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H01F7/02
- 本实用新型涉及磁铁技术领域，具体涉及一种方形磁铁，包括磁铁本体，磁铁本体的横截面呈凸字形，磁铁本体包括第一磁块和固定于第一磁块顶部的第二磁块，第一磁块与第二磁块一体成型，第一磁块呈长方体形，第二磁块的横截面由第一直边、第一圆弧边、第二直边和第二圆弧边依次连接围成，第一直边与第二直边平行，第一圆弧边与第二圆弧边对称设置，第一磁块的宽度大于第二磁块的宽度，第一磁块的高度大于第二磁块的高度，磁铁本体的外表面包覆有电镀保护层本实用新型的方形磁铁结构简单，磁性高而稳定，装配方便，成本低廉，耐气候性能和耐腐蚀性能好，在潮湿等恶劣环境中也可使用，可广泛应用于电子电器等各个领域。
- 一种方形磁铁
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