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- [发明专利]测量凹痕的方法以及对凹痕分级的方法-CN200980109937.X有效
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C·L·格雷戈里;小F·惠勒
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陶氏康宁公司
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2009-01-21
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2011-02-16
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G01B3/28
- 一种将运输容器的表面上的凹痕分级为可接受或不可接受等级的方法，所述方法包括：计算与可接受等级相对应的可接受凹痕深度范围以及与不可接受等级相对应的不可接受凹痕深度范围中的至少一个。所述方法进一步包括：以测量设备来测量所述凹痕的深度；以及将所述深度与所述可接受和/或不可接受凹痕深度范围相比较，以将所述凹痕分级为可接受或不可接受等级。将运输容器的表面上的凹痕分级的所述方法是精确的与可重复的，其原因在于，该方法包括测量所述凹痕的深度以及将所述深度与所述可接受和不可接受凹痕深度范围进行比较。对凹痕分级的能力使得所述运输容器的接收者可以一致地接受或拒收分别具有可接受或不可接受等级凹痕的运输容器。
- 测量凹痕方法以及分级
- [发明专利]晶圆质量控制方法-CN200710041092.8有效
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林光启;张霞峰
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中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
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2007-05-23
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2008-11-26
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G01R31/26
- 本发明公开了一种晶圆质量控制方法，包括，根据不同时间测量的各盒晶圆的可接受测试参数和良率，得到可接受测试参数和良率与时间的关系；如果可接受测试参数和良率均随时间产生漂移并且与时间的相关性概率小于第一设定值，则根据可接受测试参数和良率，得到良率随可接受测试参数漂移趋势；根据良率随可接受测试参数漂移趋势，得到良率和可接受测试参数的相关系数；如果良率和可接受测试参数的相关系数大于或等于第二设定值，则可接受测试参数是与晶圆失效有关的可疑参数；如果良率和可接受测试参数的相关系数小于第二设定值，则可接受测试参数不是与晶圆失效有关的可疑参数。
- 质量控制方法
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