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[发明专利]运动传感器、加速计、倾斜传感器、压力传感器和触觉控制器-CN200810004687.0无效
发明人：服部敦夫;中村健太郎 -专利权人：雅马哈株式会社;国立大学法人东京工业大学
申请日： 2008-01-22 - 公布日： 2008-08-06 - 主分类号： G01P15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种运动传感器、采用该运动传感器的加速计、采用该运动传感器的倾斜传感器、采用该运动传感器的压力传感器和采用该运动传感器的触觉控制器。该运动传感器可以包括但不限于基板、梁、重物、压电膜和第一电极。梁由基板支撑。梁是可弹性变形的。重物连接到梁。压电膜遵循梁至少一部分并且沿其延伸。压电膜可以包括但不限于有机压电膜。第一电极设置在压电膜上。
运动传感器加速倾斜压力传感器触觉控制器

[发明专利]触摸式输入装置-CN201480053242.5有效
发明人：北田宏明;安藤正道 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2014-09-25 - 公布日： 2018-10-26 - 主分类号： G06F3/041 文献下载
摘要：触摸面板(10)由压电传感器(10P)与静电传感器(10D)层叠地形成。压电传感器(10P)与按压检测信号生成部(200)连接，并且静电传感器(10D)与接触检测信号生成部(300)连接。压电传感器(10P)具备压电膜(110)、和夹着压电膜(110)配置的第一、第二按压检测用导体(111、112)。将压电性膜(110)配置成压电膜(110)因按压而产生的电荷的极性与当静电传感器(10D)进行接触检测时在压电膜(110)所产生的激发电荷的极性成为相反极性。
触摸式输入装置

[实用新型]一种振膜测试仪-CN201821928416.X有效
发明人：袁世明;闫鑫 -专利权人：深圳精拓创新科技有限公司
申请日： 2018-11-21 - 公布日： 2019-07-05 - 主分类号： H04R29/00 文献下载
摘要：公开了一种振膜测试仪，包括待测平台、压电换能器、激光传感器和控制装置，压电换能器和激光传感器设置于待测平台上，激光传感器与振膜相对设置，控制装置与压电换能器连接，通过控制装置控制压电换能器伸缩带动振膜振动，激光传感器检测获取振膜的振动信息。本实用新型以压电换能器作为受控激励源，可以较好的激发振膜振动，具有较高的测试精度和较好的稳定性。
压电换能器激光传感器振膜控制装置振膜振动测试仪本实用新型受控激励源相对设置振动信息伸缩测试激发检测

[其他]检测装置-CN202190000447.2有效
发明人：森田畅谦;田坂修一 -专利权人：株式会社村田制作所;株式会社艾尔弗雷多
申请日： 2021-04-13 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： A61B5/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及的检测装置具备：作为第一传感器部的第一压电膜传感器(41)；第一弹性部件(131)，将第一压电膜传感器(41)支承为能够基于第一压电膜传感器(41)从生物体(1)接收到的位移而进行位移；以及信号处理部(3)，根据从第一压电膜传感器(41)获得的电信号，生成生物体(1)的生物体信息。
检测装置

[发明专利]触摸传感器-CN201480054377.3有效
发明人：加纳英和;远藤润;井上贵文;北田宏明 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2014-09-30 - 公布日： 2018-11-23 - 主分类号： G06F3/041 文献下载
摘要：本发明提供触摸传感器。触摸传感器(10)具备按压检测传感器(20)与位置检测传感器(30)。按压检测传感器(20)具备压电膜(21)、配置于该压电膜(21)的第一主表面的第一压电检测用电极(22)以及配置于压电膜(21)的第二主表面的第二压电检测用电极(23)。位置检测传感器(30)具备电介质基板(31)、在电介质基板(31)的第一主表面排列形成的多个第一位置检测用电极(32)以及在电介质基板(31)的第二主表面排列形成的多个第二位置检测用电极(33)。针对按压检测传感器(20)，第一压电检测用电极(22)形成于压电膜(21)的大致整面。第二压电检测用电极(23)形成于压电膜(21)的大致整面，但在第一位置检测用电极(32)与第二位置检测用电极(33)重叠的区域设置有电极非形成部(231)。
触摸传感器

[发明专利]一种直接检测气膜压力的气体箔片径向轴承-CN202211217431.4在审
发明人：冯凯;冉神坤;曹纪超;程振宇;门日秀 -专利权人：湖南大学;中国北方发动机研究所（天津）
申请日： 2022-10-04 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： G01L11/00 文献下载
摘要：本发明公开一种直接检测气膜压力的气体箔片径向轴承。基于压电薄膜传感器受到气体压力变化的信息反映气体箔片径向轴承内的气膜压力，将压电薄膜传感器内嵌至气体箔片轴承的顶箔，实现对气体箔片径向轴承的气膜压力直接检测，同时在压电薄膜传感器上涂抹一层保护材料，减少气体箔片轴承在起飞之前转子与压电薄膜传感器的干摩擦损伤该气体箔片径向轴承内嵌压电薄膜传感器的方法在不改变轴承结构情况下直接检测气膜压力。
一种直接检测压力气体径向轴承

[发明专利]采用压电膜传感器的洗衣机水位控制装置-CN98115023.3无效
发明人：金学实 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 1998-06-22 - 公布日： 1999-06-02 - 主分类号： D06F39/08 文献下载
摘要：一种采用压电膜传感器的洗衣机水位控制装置,可精确地敏感洗衣桶的水位且具有简单的结构。该水位控制装置包括一压电膜传感器;一放大器;一微控制器;一供水阀驱动器;以及一排水阀驱动器。结果,本发明的洗衣机水位控制装置采用一压电膜传感器,该传感器具有高精度的数据和对力的高灵敏度,由此能精确传感洗衣桶的水位。此外,由于压电膜传感器被直接安装在洗衣桶上,因此该水位控制装置具有简单的结构。
采用压电传感器洗衣机水位控制装置

[发明专利]压电传感器制备方法、压电传感器及软包电池检测方法-CN202310710905.7在审
发明人：刘强;胡潇然;张千;向勇 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2023-06-15 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： H10N30/00 文献下载
摘要：本发明涉及传感器技术领域，具体涉及一种压电传感器制备方法、压电传感器及软包电池检测方法，一种压电传感器制备方法包括以下步骤：提供压电弹性体、四氧化三铁以及交联剂，按照预设比例混合后溶于有机溶剂中形成混合溶液；提供导电基底作为底部电极，将混合溶液形成在导电基底上获得混合物膜层；加热使混合物膜内部发生交联形成目标膜；提供银浆，将银浆形成在目标膜远离导电基底一侧作为顶部电极得到压电传感器。通过在压电弹性体中掺杂四氧化三铁制备一种新型磁电复合材料，并利用该复合材料制成压电传感器，解决了现有技术中非接触式电流传感器需要额外功能的技术问题。
压电传感器制备方法电池检测

[发明专利]一种压力传感器及其形成方法-CN201810354360.X有效
发明人：陈达;罗海龙;叶菲;宋炳含 -专利权人：中芯集成电路（宁波）有限公司
申请日： 2018-04-19 - 公布日： 2021-03-30 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：公开了一种压力传感器及其形成方法。该压力传感器包括：支撑衬底，设置于所述支撑衬底上的微悬臂梁；所述微悬臂梁包括压电膜组，所述压电膜组包括至少两层层叠设置的压电膜，相邻两层压电膜的材料不同。根据本发明的压力传感器中的微悬臂梁包括至少两层层叠设置的压电膜，当微悬臂梁的梁体受力时，各个压电膜都出现电势差，因此提高了对外电势差值，从而提高了压力传感器的灵敏度。进一步地，通过设置至少两个微悬臂梁，扩大了探测流体的范围，并且使得流体作用到微悬臂梁从而能够被压力传感器探测的概率增大，从而提高了压力传感器的灵敏度和可靠性。
一种压力传感器及其形成方法

[发明专利]一种绝缘膜组合式石英压电传感器及其标定方法-CN201810172322.2在审
发明人：林鹏 -专利权人：西京学院
申请日： 2018-03-01 - 公布日： 2018-08-03 - 主分类号： G01L5/00 文献下载
摘要：一种绝缘膜组合式石英压电传感器及其标定方法，传感器包括上层聚酰亚胺绝缘膜和下层聚酰亚胺绝缘膜之间设置有石英晶片，石英晶片的上下面布设铜箔引线；将石英晶片的负极面和正极面之间串联负载电阻R和示波器，得到压电传感器测量组件；将压电传感器测量组件中的石英晶片的负极面紧贴于靶，靶采用铝的表面，用于测量靶表面上的冲击波应力σ(t)随时间的变化；由传感器测量的压电信号进行积分，最后得到每一炮实验的传感器动态压电灵敏度系数；取多次实验结果进行平均，得到压电传感器的动态压电系数；本发明具有、抗干扰性能强、绝缘性能好、使用方便、制作工艺简单的优点。
石英晶片压电传感器聚酰亚胺绝缘膜石英压电传感器测量组件负极面绝缘膜组合式标定串联负载电阻传感器测量传感器动态绝缘性能好抗干扰性能压电灵敏度铜箔引线压电系数压电信号制作工艺冲击波布设测量靶示波器正极面传感器下层紧贴上层

[实用新型]高性能的压电MEMS超声波传感器-CN202120919217.8有效
发明人：张龙;赵潇;夏登明;胡国俊 -专利权人：智驰华芯（无锡）传感科技有限公司
申请日： 2021-04-29 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： G01H11/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高性能的压电MEMS超声波传感器，涉及传感器技术领域，该超声波传感器包括从底至顶依次层叠的硅基层、硅振动膜和压电结构，硅基层内部形成有硅基腔体，压电结构中的PZT压电薄膜层位于所述硅基腔体处且所述PZT压电薄膜的尺寸与所述硅基腔体的尺寸相匹配，压电结构覆盖所述硅振动膜表面的薄膜区域、上电极区域和下电极区域，硅振动膜表面在所述压电结构以外的区域外露；该超声波传感器尺寸较小，且可以有效降低压电结构的残余应力的影响，提高传感器性能。
性能压电 mems 超声波传感器

[发明专利]一种柔性自供能湿度传感器及其制备方法-CN202210785048.2在审
发明人：黄平;徐顺建;刘琛;欧惠;付海燕;罗永平;钟炜;肖宗湖 -专利权人：新余学院
申请日： 2022-07-05 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： G01N27/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种柔性自供能湿度传感器及其制备方法，包括多孔压电复合膜的制备和自供能湿度传感器的组装。压电聚合物和纳米材料组成的混合物经超声、磁搅拌，旋涂成膜，高温退火，再经低温淬火后制得多孔压电复合膜；将多孔压电复合膜与微米孔隙状的柔性电极组装成三明治结构的自供能湿度传感器。该湿度传感器具有柔性、多孔、亲水和压电特性，可进行自供能。该传感器的电压响应与湿度之间呈现较好的线性关系和灵敏度，检测范围可实现全覆盖。而且，该传感器结构简单，成本低廉，适合大规模生产应用。
一种柔性自供湿度传感器及其制备方法

[发明专利]一种基于流体振荡器的自供能流量无线传感器-CN202010010080.4在审
发明人：吴永佳;王志毅;明廷臻 -专利权人：武汉理工大学
申请日： 2020-01-06 - 公布日： 2020-04-28 - 主分类号： G01F1/56 文献下载
摘要：一种基于流体振荡器的自供能流量无线传感器，包括流体振荡器以及设置在流体振荡器上的压电膜发电器和无线传感器。流体振荡器包括动力嘴、反馈通道、主混合室、出口喉道；压电膜发电器设置在出口喉道末端与管道的连接处，其因流体振荡器内的摆动射流压力作用产生形变，将机械能转化为交流电并转变为直流电存储，为无线传感器供电；无线传感器采集压电膜发电器内周期性振荡的电流信号并转化为数字信号传输至接收装置本发明通过设置在出口喉道处的压电膜发电器可以通过射流振荡引起的机械形变来进行发电为设置的无线传感器进行供电，同时无线传感器可采集压电膜发电器内产生的周期性振荡的电流信息号向外传输，降低了布线成本，同时又可以自供电
一种基于流体振荡器自供流量无线传感器

[发明专利]触摸传感器-CN201480051744.4有效
发明人：安藤正道;加纳英和 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2014-09-11 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： G06F3/041 文献下载
摘要：触摸传感器(10)具备按压检测传感器(20)和位置检测传感器(30)。从操作面侧起依次配置按压检测传感器(20)、位置检测传感器(30)。位置检测传感器(30)具备介电质基板(31)、排列形成于介电质基板(31)的第一主面的第一位置检测用电极(32)、排列形成于介电质基板(31)的第二主面的第二位置检测用电极(33)。按压检测传感器(20)具备压电膜(21)、形成于压电膜(21)的第一主面的第一压电检测用电极(22)、形成于压电膜(21)的第二主面的第二压电检测用电极(23)。当俯视触摸传感器(10)时，第一、第二压电检测用电极(22、23)配置于不与第一、第二位置检测用电极(32、33)的形成区域重叠的外周区域。
触摸传感器

[发明专利]一种半球万向敏感压电冲击传感器-CN202010227383.1在审
发明人：唐彬;陶逢刚;刘天国;刘显学;王支荣;王大志;熊壮 -专利权人：中国工程物理研究院电子工程研究所
申请日： 2020-03-27 - 公布日： 2020-07-03 - 主分类号： G01L9/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种半球万向敏感压电冲击传感器。该半球万向敏感压电冲击传感器通过电射流微纳打印技术，将所述半球陶瓷厚膜打印至所述半球底座的半球表面；所述半球陶瓷厚膜与所述半球底座为一体化结构。采用本发明所提供的半球万向敏感压电冲击传感器能够简化敏感压电冲击传感器结构和信号处理流程，提高所述半球万向敏感压电冲击传感器的万向性。
一种半球万向敏感压电冲击传感器

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