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[发明专利]一种叠层共烧结压电陶瓷器件及所用的补偿胶水浆料-CN201910779258.9在审
发明人：李向东;廖添;张军;王鹏;谌庆春;胡三元;周政 -专利权人：东莞东阳光科研发有限公司
申请日： 2019-08-22 - 公布日： 2019-12-03 - 主分类号： H01L41/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种叠层共烧结压电陶瓷器件，包括压电陶瓷叠层体和侧面电极，其中所述压电陶瓷叠层体包括多个压电陶瓷生片层，对应的多个内部电极层，以及对应的多个胶水层，其特征在于所述压电陶瓷叠层体还包括多个补偿层本发明还公开了制作该叠层共烧结压电陶瓷器件的方法，用于该叠层共烧结压电陶瓷器件的补偿胶水浆料，及其制备方法。
压电陶瓷压电陶瓷器件叠层体共烧结叠层内部电极层侧面电极补偿层胶水层水浆料生片制备制作

[发明专利]具有过渡区和安全层的单片压电执行器及该压电执行器的应用-CN200780039463.7无效
发明人：稻垣正祥;H·J·卡斯特尔;坂元隆己;C·舒 -专利权人：西门子公司;京瓷株式会社
申请日： 2007-10-23 - 公布日： 2009-11-11 - 主分类号： H01L41/083 文献下载
摘要：为了解决任务，说明了一种具有总叠层(10)的单片多层结构形式的压电执行器(1)，所述压电执行器(1)具有：至少一个压电有源部分叠层(12)，其中所述部分叠层具有相叠布置的压电陶瓷层和布置在压电陶瓷层之间的电极层；至少一个布置于压电有源部分叠层上方的压电无源终端区(15)和至少一个布置在压电有源部分叠层与终端区之间的过渡区(11)，其中过渡区具有相叠布置的过渡区压电陶瓷层和布置在过渡区压电陶瓷层之间的过渡区电极层，并且过渡区压电陶瓷层和过渡区电极层被构造并被相互布置来使得通过电驱动过渡区电极层而可耦合输入到过渡区压电陶瓷层中的电场在过渡区的从过渡区压电陶瓷层到过渡区压电陶瓷层的叠层方向上相继变化，并且压电有源部分叠层朝向过渡区具有安全层(13)，在该安全层(13)中，在机械过载时优选地构成裂纹。该压电执行器被用于控制汽车发动机的喷油嘴。
具有过渡安全单片压电执行应用

[发明专利]刚度增强的压电陶瓷叠堆-CN201710697593.5在审
发明人：丁耀民;王晓峰 -专利权人：苏州攀特电陶科技股份有限公司
申请日： 2017-08-15 - 公布日： 2019-03-01 - 主分类号： H01L41/083 文献下载
摘要：本发明提供了一种刚度增强的压电陶瓷叠堆，属于压电陶瓷技术领域，包括：多层压电陶瓷叠堆；以及至少一层增韧陶瓷层，集成于所述多层压电陶瓷叠堆上。本发明的刚度增强的压电陶瓷叠堆，通过在多层压电陶瓷叠堆上集成的至少一层增韧陶瓷层，增强压电陶瓷叠堆的刚度。
压电陶瓷叠堆多层压电陶瓷刚度增强叠堆增韧陶瓷层压电陶瓷

[发明专利]一种平面式双压电材料驱动的微机械超声换能器-CN202310564462.5在审
发明人：任俊彦;何勒铭;吕宁;王言 -专利权人：复旦大学
申请日： 2023-05-18 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： B06B1/06 文献下载
摘要：本发明属于微机电技术领域，具体为一种平面式双压电材料驱动的微机械超声换能器。本发明微机械超声换能器由换能器单元经延拓组成的二维结构；换能器单元结构包括双压电叠层、中性层、空腔和衬底；双压电叠层包含内外两个压电叠层，第一个压电叠层包括圆形上电极层、圆形压电层与底电极层，第二个压电叠层包括环形上电极层、环形压电层与底电极层；中性层在双压电叠层下方，为后者提供支撑作用；空腔为复合薄膜提供振动空间；衬底与空腔的结构互补，为整体结构提供固定支撑作用；本发明具有双压电叠层的换能器单元，弥补采用单一压电材料的传统器件的发射或接收性能短板
一种平面压电材料驱动微机超声换能器

[实用新型]刚度增强的压电陶瓷叠堆-CN201721020964.8有效
发明人：丁耀民;王晓峰 -专利权人：苏州攀特电陶科技股份有限公司
申请日： 2017-08-15 - 公布日： 2018-04-06 - 主分类号： H01L41/083 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种刚度增强的压电陶瓷叠堆，属于压电陶瓷技术领域，包括多层压电陶瓷叠堆；以及至少一层增韧陶瓷层，集成于所述多层压电陶瓷叠堆上。本实用新型的刚度增强的压电陶瓷叠堆，通过在多层压电陶瓷叠堆上集成的至少一层增韧陶瓷层，增强压电陶瓷叠堆的刚度。
刚度增强压电陶瓷

[发明专利]基于Helmholtz共振腔并减小空气阻尼的接收超声换能器-CN201910759760.3有效
发明人：孙成亮;吴志鹏;林炳辉;朱伟;王磊;胡博豪;周禹 -专利权人：武汉大学
申请日： 2019-08-16 - 公布日： 2020-08-25 - 主分类号： B06B1/06 文献下载
摘要：基于Helmholtz共振腔并减小空气阻尼的接收超声换能器，包括位于上部的Helmholtz共振腔以及位于下部的MEMS压电超声换能器，Helmholtz共振腔与MEMS压电超声换能器之间通过键合结合；MEMS压电超声换能器由上部压电叠层结构和下部的带腔体硅衬底组成，Helmholtz共振腔由压电叠层结构上方的带有上部开口的带腔体硅结构组成，带腔体硅结构上部设置有上部开口形成Helmholtz共振腔孔，其中的空气组成Helmholtz共振腔的空气柱；压电叠层结构中部刻蚀有孔洞形成压电叠层孔洞使Helmholtz共振腔与带腔体硅衬底连通，且在压电叠层结构上以压电叠层孔洞为中心刻蚀有若干条放射沟槽，若干条放射沟槽之间的压电叠层结构形成悬臂梁，悬臂梁与压电叠层结构相连一端为固定端，与压电叠层孔洞相连一端为自由端。
基于 helmholtz 共振减小空气阻尼接收超声换能器

[发明专利]力测量和触摸感测集成电路器件-CN202011455984.4在审
发明人：唐浩晏;西纳·阿克巴里;陈曼嘉;涂仲轩;迈克尔·陈 -专利权人：奥矽半导体技术有限公司
申请日： 2020-12-11 - 公布日： 2021-06-18 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：一种力测量和触摸感测集成电路器件包括：半导体基板、覆盖在半导体基板上的薄膜压电叠层、压电微机械测力元件(PMFE)和压电微机械超声换能器(PMUT)。薄膜压电叠层包括压电层。PMFE和PMUT沿薄膜压电叠层位于相应的横向位置处，使得PMFE和PMUT中的每一个包括薄膜压电叠层的相应部分。每个PMFE具有：(1)薄膜压电叠层的相应部分；(2)在薄膜压电叠层的一侧上的第一PMFE电极；以及(3)在薄膜压电叠层的另一侧上的第二PMFE电极。每个PMFE被配置为根据由低频机械变形导致的压电层的相应部分处的时变应变，输出PMFE电极之间的电压信号。
测量触摸集成电路器件

[发明专利]基于被动控制的直升机旋翼压电薄膜抑振结构及方法-CN202111597011.9有效
发明人：王亮;祁瑞;金家楣 -专利权人：南京航空航天大学
申请日： 2021-12-24 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： F16F15/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于被动控制的直升机旋翼压电薄膜抑振结构及方法，包含直升机旋翼叶片、上端压电薄膜叠层、下端压电薄膜叠层；上端压电薄膜叠层、下端压电薄膜叠层均为m层压电薄膜通过导电胶以叠层的方式粘贴形成的叠层串联结构，分别设置在直升机旋翼叶片的上端面、下端面的凹槽内；上端压电薄膜叠层的上端面通过导线或导电薄片和下端压电薄膜叠层的下端面电气相连。本发明通过叠层式压电薄膜的机电耦合行为抑制振动，采用被动控制方法，将旋翼因振动而产生的形变等机械能转化为电能，通过电荷中和的方式耗散能量，并将系统的等效刚度变成了可变量，避免了共振现象，具有良好的经济效益和应用前景
基于被动控制直升机压电薄膜结构方法

[发明专利]叠堆压电陶瓷及其制备方法-CN202311066229.0在审
发明人：张光胜;展宗贞 -专利权人：西安华创马科智能控制系统有限公司
申请日： 2023-08-23 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H10N30/88 文献下载
摘要：本发明提供一种叠堆压电陶瓷及其制备方法。该叠堆压电陶瓷包括：叠堆层，包括相互叠堆的压电陶瓷层和电极层；位于所述叠堆层两侧的保护涂层。本发明可以减小压电陶瓷工作应力和疲劳损坏，提高压电陶瓷的使用寿命和可靠性。
压电陶瓷及其制备方法

[发明专利]内燃机的燃料喷射装置-CN200610075269.1有效
发明人：藤井章;菱沼修;有川文明;高桥泉;木山明 -专利权人：株式会社电装;丰田自动车株式会社;株式会社日本自动车部品综合研究所
申请日： 2006-04-17 - 公布日： 2006-10-18 - 主分类号： F02M51/00 文献下载
摘要：本发明提供一种燃料喷射装置，在将构成燃料喷射装置的压电喷射器的压电叠层和驱动体上所固有的合成谐振周期作为T、将从压电叠层开始充电起到到达目标充电电压为止的升压时间作为t的情况下，为了防止t≤0.5T±0.1T时经过升压时间(t)后施加到压电叠层上的振动载荷，而在压电叠层的控制装置中设定升压时间(t)以满足于0.6T≤t的关系，使即将达到升压时间(t)之前的压电叠层的升压斜度稳定，抑制在压电叠层上所产生的峰值载荷和谷值载荷，提高压电叠层的长期可靠性。
内燃机燃料喷射装置

[发明专利]压电元件及其制造方法以及磁头折片组合及磁盘驱动装置-CN200610084107.4无效
发明人：李汉辉 -专利权人：新科实业有限公司
申请日： 2006-05-23 - 公布日： 2007-11-28 - 主分类号： H01L41/083 文献下载
摘要：本发明公开了一种压电元件，该压电元件包括叠层件，所述叠层件是由电极层和压电层交替层压而成并界定一厚度方向的叠层结构，其中每一压电层夹在两相邻电极层之间，其特征在于：所述压电元件还包括至少一支撑件，该支撑件设于所述叠层件的一侧，并沿所述叠层件的纵向延伸，当通过所述电极层对压电元件施加电压时，压电元件至少沿其横向弯曲，从而精确控制与其连接的磁头的位置。本发明同时公开了该压电元件的制造方法，还公开了具有该压电元件的磁头折片组合及磁盘驱动装置。
压电元件及其制造方法以及磁头组合磁盘驱动装置

[发明专利]压电陶瓷叠堆原料组合物、压电陶瓷叠堆和制备方法-CN202310091715.1在审
发明人：连子龙;许良 -专利权人：苏州隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2023-02-09 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： C04B35/491 文献下载
摘要：本发明提供了一种压电陶瓷叠堆原料组合物、压电陶瓷叠堆和制备方法。该原料组合物包括：压电陶瓷层原料、结构陶瓷层原料和过渡层原料；其中，压电陶瓷层原料包括压电陶瓷粉体；结构陶瓷层原料包括氧化铝粉体和改性粉体，改性粉体用于降低氧化铝粉体的烧结温度；过渡层原料包括压电陶瓷粉体在压电陶瓷叠堆中引入了过渡层，过渡层原料中的成分介于结构陶瓷层和压电陶瓷层之间，很好的实现了压电陶瓷层和结构陶瓷层的共烧，通过膜片共烧的方式能够提高端部本体的刚度，可以保证叠堆在高真空环境中应用，而且可以保证叠堆的高刚度，该方法可以有效的提高端部结构的机械性能，提高叠堆的使用寿命。
压电陶瓷原料组合制备方法

[发明专利]一种基于支撑柱的微机械超声换能器-CN202210809384.6在审
发明人：任俊彦;何勒铭;王言 -专利权人：复旦大学
申请日： 2022-07-10 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： B06B1/06 文献下载
摘要：本发明微机械超声换能器是由基本单元经拼接、延拓组成的平面阵列；基本单元包括压电叠层、中性层、支撑柱和衬底；压电叠层包含上电极层、压电层与底电极层；中性层为压电叠层提供支撑，并使压电叠层在受激产生应变时，复合薄膜的应变中性面处于中性层内；支撑柱为中性层提供支撑，为离散分布的柱状结构，形成高填充密度的换能器，提升薄膜振动的有效面积；上电极层与底电极层构成电极对，用于压电层上的电场、电荷、电压的施加与采集；通过施加直流偏置电压，对压电叠层进行静态控制；通过施加交流耦合信号，对压电叠层进行动态激励，实现高性能的超声波信号收发。
一种基于支撑微机超声换能器

[发明专利]一种薄膜体声波谐振器及其制造方法、滤波器-CN202310598366.2在审
发明人：姜伟;高安明 -专利权人：浙江星曜半导体有限公司
申请日： 2023-05-25 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：本发明涉及半导体技术领域，提出了一种薄膜体声波谐振器及其制造方法、滤波器，该薄膜体声波谐振器包括：衬底；压电叠层结构；其中，所述压电叠层结构包括从下至上依次设置在所述衬底上的底电极、压电材料层和顶电极，所述底电极、所述压电材料层和所述顶电极在垂直于所述衬底与所述压电叠层结构的接触面方向上相互重叠的区域形成所述压电叠层结构的有效谐振区；所述压电叠层结构的有效谐振区在垂直于所述衬底与所述压电叠层结构的接触面方向上远离衬底凸起形成空气腔；所述压电叠层结构的有效谐振区在顶部形成有凸起结构和/或凹陷结构。
一种薄膜声波谐振器及其制造方法滤波器

[发明专利]叠层型压电陶瓷全电极结构及其制造工艺-CN202310013353.4在审
发明人：于传文;吴迪 -专利权人：黑龙江迪米电陶科技有限公司
申请日： 2023-01-05 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： H10N30/87 文献下载
摘要：本发明公开了叠层型压电陶瓷全电极结构，包括上绝缘层、外部正电极层、外部负电极层、下绝缘层、压电介质层、内部正电极层和内部全负电极层。还公开了其制造工艺，将压电介质薄膜多张叠层按设计好的厚度进行热压，形成下绝缘层，在下绝缘层上面印刷内部正电极层进行烘干，烘干完成后，在内部正电极层上叠压电介质薄膜进行热压，热压完成后，在压电介质薄膜上印刷内部全负电极层，再次烘干，如上描述的过程，将内部正电极层，压电介质层和内部全负电极层反复叠层，按设计要求叠层至指定高度，在最上面叠层上绝缘层。
叠层型压电陶瓷电极结构及其制造工艺

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