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- [发明专利]分断方法及分断装置-CN201310522777.X有效
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井上修一
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三星钻石工业股份有限公司
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2013-10-29
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2014-07-02
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B23K26/38
- 本发明是有关于一种分断方法及分断装置。本发明的课题在于有效率地对积层板进行分断。其解决手段为:在第1基板11的第1面11a,形成具有未到达第1基板11的外周缘11e的两端端部11d的第1刻划沟槽11c。此外,在第2基板12的第1面12a形成第2刻划沟槽12c。在形成有第1及第2刻划沟槽11c、12c之后,从第1基板11的第1面11a对贴合基板10进行按压,沿着第2刻划沟槽12c对第2基板12进行分断。接着,从第2基板12的第1面12a对贴合基板10进行按压,沿着第1刻划沟槽11c对第1基板11进行分断。
- 方法装置
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