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[发明专利]分光模块-CN201510551247.7在审
发明人：柴山胜己;H·泰希曼;能野隆文;铃木智史;D·希勒;U·施塔克 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2008-06-05 - 公布日： 2016-05-25 - 主分类号： G01J3/02 文献下载
摘要：分光模块(1)中，由于本体部(2)为板状，因而能够通过本体部(2)的薄型化来谋求小型化。并且，由于本体部(2)为板状，因而例如能够利用晶圆工艺来制造分光模块(1)。即，通过对作为多个本体部(2)的玻璃晶圆，以矩阵状设置透镜部(3)、衍射层(4)、反射层(6)以及光检测元件(7)设置成矩阵状，并切割该玻璃晶圆，能够制造多个分光模块(1)。如此，能够容易地大量生产分光模块(1)。
分光模块

[发明专利]分光模块-CN201310359016.7有效
发明人：柴山胜己;H·泰希曼;能野隆文;铃木智史;D·希勒;U·施塔克 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2008-06-05 - 公布日： 2013-12-04 - 主分类号： G01J3/02 文献下载
摘要：分光模块（1）中，由于本体部（2）为板状，因而能够通过本体部（2）的薄型化来谋求小型化。并且，由于本体部（2）为板状，因而例如能够利用晶圆工艺来制造分光模块（1）。即，通过对作为多个本体部（2）的玻璃晶圆，以矩阵状设置透镜部（3）、衍射层（4）、反射层（6）以及光检测元件（7）设置成矩阵状，并切割该玻璃晶圆，能够制造多个分光模块（1）。如此，能够容易地大量生产分光模块（1）。
分光模块

[发明专利]分光模块-CN201210091508.8有效
发明人：柴山胜己;能野隆文;铃木智史;H·泰希曼;D·希勒;U·施塔克 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2008-06-10 - 公布日： 2012-08-08 - 主分类号： G01J3/18 文献下载
摘要：在与衍射层(8)一体地形成的周缘部(11)的平面(11a)形成有对准标记(12a、12b、12c、12d)，在将透镜部(7)安装于基板(2)时，通过相对于基板(2)对这些对准标记(12a、12b、12c、12d)进行对位，从而能够相对于光检测元件(4)的光检出部(4a)正确地对准衍射层(8)，不受例如透镜部(7)的曲率半径的误差等的影响。尤其是，通过在平面(11a)形成对准标记(12a、12b、12c、12d)，从而能够通过图像识别来正确地检测该对准标记(12a、12b、12c、12d)的位置，于是能够进行正确的对准。
分光模块

[发明专利]分光模块-CN200980117552.8有效
发明人：柴山胜己;能野隆文;广瀬真树;伊藤将师 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2009-05-07 - 公布日： 2011-04-20 - 主分类号： G01J3/18 文献下载
摘要：本发明所涉及的分光模块(1)具备使从前表面(2a)入射的光(L1)透过的基板(2)、使入射到基板(2)的光(L1)透过的透镜部(3)、对入射到透镜部(3)的光(L1)进行分光并且反射的分光部(4)、以及检测由分光部根据分光模块(1)，仅通过将透镜部(3)嵌合于凹部(19)，从而能够实现分光部(4)与光检测元件(5)的被动对准定位。
分光模块

[发明专利]分光模块-CN200880000512.0有效
发明人：柴山胜己;能野隆文;铃木智史;H·泰希曼;D·希勒;U·施塔克 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2008-06-10 - 公布日： 2010-01-27 - 主分类号： G01J3/02 文献下载
摘要：在与衍射层(8)一体地形成的周缘部(11)的平面(11a)形成有对准标记(12a、12b、12c、12d)，在将透镜部(7)安装于基板(2)时，通过相对于基板(2)对这些对准标记(12a、12b、12c、12d)进行对位，从而能够相对于光检测元件(4)的光检出部(4a)正确地对准衍射层(8)，不受例如透镜部(7)的曲率半径的误差等的影响。尤其是，通过在平面(11a)形成对准标记(12a、12b、12c、12d)，从而能够通过图像识别来正确地检测该对准标记(12a、12b、12c、12d)的位置，于是能够进行正确的对准。
分光模块

[发明专利]分光模块-CN200880000504.6有效
发明人：柴山胜己;能野隆文;铃木智史;H·泰希曼;D·希勒;U·施塔克 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2008-06-05 - 公布日： 2009-09-23 - 主分类号： G01J3/02 文献下载
摘要：在分光模块(1)中，光吸收层(6)通过图案化而一体成形，该光吸收层(6)具有使向分光部(3)行进的光(L1)通过的光通过孔(6a)、以及使向光检测元件(4)的光检测部(4a)行进的光(L2)通过的光通过孔所以，依照分光模块(1)，能够提高可靠性。
分光模块

[发明专利]分光模块-CN201180016763.X有效
发明人：柴山胜己;能野隆文 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2011-03-16 - 公布日： 2012-12-12 - 主分类号： G01J3/24 文献下载
摘要：在分光模块（1）中，因为除了分光部（7）和光检测元件（4）之外还设有分光部（8）和光检测元件（9），所以相对于宽波长范围的光和不同波长范围的光能够提高检测灵敏度。
分光模块

[发明专利]分光模块-CN200980117279.9无效
发明人：柴山胜己 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2009-05-07 - 公布日： 2011-04-20 - 主分类号： G01J3/18 文献下载
摘要：在分光模块(1)中，因为光检测元件(5)被安装于中间基板(81)，所以能够防止介于基板(2)的前表面(2a)与中间基板(81)之间的光学树脂剂(63)进入到光检测元件(5)的光通过孔(50)内。因此，能够防止折射和散射等的发生并能够使光(L1)恰当地入射到基板(2)以及分光部(4)。而且，因为中间基板(81)的体积比基板(2)的体积小，所以中间基板(81)在分光模块(1)的环境温度发生变化时，在比基板(2)更加接近于光检测元件(5)的状态下发生膨胀·收缩。因此，与光检测元件(5)被安装于基板(2)的情况相比，能够可靠地防止起因于分光模块(1)的环境温度的变化而使光检测元件(5)的凸块连接发生破裂折断。
分光模块

[发明专利]分光模块-CN200980108739.1无效
发明人：柴山胜己;能野隆文 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2009-05-07 - 公布日： 2011-02-09 - 主分类号： G01J3/18 文献下载
摘要：本发明提供高可靠性分光模块(1)，其具备使从一个面(2a)入射的光透过的基板(2)、具有与基板(2)的另一面(2b)相对的入射面(3a)且使透过基板(2)入射于入射面(3a)的光透过的透镜部(3)、被形成于透镜部(3)且将入射于透镜部(3)的光分光并反射的分光部(4)、检测被分光部(4)反射的光的光检测元件(5)、设置于另一面(2b)与入射面(3a)间并相对于基板(2)支撑透镜部(3)的支撑部(8)。根据分光模块(1)，由支撑部(8)在基板(2)的另一面(2b)与透镜部(3)的入射面(3a)间形成间隙(S)，防止了基板(2)的另一面(2b)与透镜部(3)的入射面(3a)接触而产生伤痕，提高了分光模块
分光模块

[发明专利]分光模块-CN200880000506.5无效
发明人：柴山胜己;H·泰希曼;铃木智史;D·希勒;U·施塔克 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2008-06-05 - 公布日： 2009-09-23 - 主分类号： G01J3/02 文献下载
摘要：分光模块(1)中，光检测元件(4)具有使入射于本体部(2)的光通过的光通过开口(4b)。因此，能够防止光通过开口(4b)和光检测元件(4)的光检测部(4a)的相对的位置关系发生偏移。所以，依照该分光模块(1)，能够提高可靠性。
分光模块

[发明专利]分光模块-CN200880000508.4无效
发明人：铃木智史;柴山胜己;能野隆文;伊藤将师;H·泰希曼;D·希勒;U·施塔克 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2008-06-05 - 公布日： 2009-09-23 - 主分类号： G01J3/02 文献下载
摘要：分光模块(1)具有：本体部(2)，使光(L1、L2)透过；分光部(3)，对从本体部(2)的前面(2a)入射于本体部(2)的光(L1)进行分光，并向前面(2a)侧反射；光检测元件(4)，具有检测被分光部(3)分光并反射的光(L2)的光检测部(41)，通过倒装接合而电连接于形成于本体部(2)的前面(2a)的配线(9)；以及底填充材料(12)，填充于光检测元件(4)的本体部(2)侧，并使光(L1、L2)透过光检测元件(4)具有使向分光部(3)行进的光(L1)通过的光通过孔(42)，在光检测元件(4)中的本体部(2)侧的后面(4a)，以包围光通过孔(42)的光出射开口(42b)的方式形成有矩形环状的凸部(43
分光模块

[发明专利]分光模块-CN200880000503.1无效
发明人：柴山胜己;H·泰希曼;能野隆文;铃木智史;D·希勒;U·施塔克 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2008-06-05 - 公布日： 2009-09-23 - 主分类号： G01J3/02 文献下载
摘要：分光模块(1)中，由于本体部(2)为板状，因而能够通过本体部(2)的薄型化来谋求小型化。并且，由于本体部(2)为板状，因而例如能够利用晶圆工艺来制造分光模块(1)。即，通过对作为多个本体部(2)的玻璃晶圆，以矩阵状设置透镜部(3)、衍射层(4)、反射层(6)以及光检测元件(7)设置成矩阵状，并切割该玻璃晶圆，能够制造多个分光模块(1)。如此，能够容易地大量生产分光模块(1)。
分光模块

[发明专利]分光模块-CN200880000510.1无效
发明人：铃木智史;柴山胜己;能野隆文;伊藤将师;H·泰希曼;D·希勒;U·施塔克 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2008-06-05 - 公布日： 2009-09-23 - 主分类号： G01J3/02 文献下载
摘要：分光模块(1)具有：本体部(2)，使光(L1、L2)透过；分光部(3)，对从本体部(2)的前面(2a)入射于本体部(2)的光(L1)进行分光，并向前面(2a)侧反射；光检测元件(4)，具有检测被分光部(3)分光并反射的光(L2)的光检测部(41)，通过倒装接合而电连接于形成于本体部(2)的前面(2a)的配线(9)；以及底填充材料(12)，填充于光检测元件(4)的本体部(2)侧，并使光(L1、L2)透过光检测元件(4)具有使向分光部(3)行进的光(L1)通过的光通过孔(42)，在光检测元件(4)中的本体部(2)侧的后面(4a)，以包围光通过孔(42)的光出射开口(42b)的方式形成有积存部(43)。
分光模块

[发明专利]分光模块-CN200880000507.X无效
发明人：铃木智史;柴山胜己;饭田孝;能野隆文;伊藤将师;H·泰希曼;D·希勒;U·施塔克 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2008-06-05 - 公布日： 2009-09-23 - 主分类号： G01J3/02 文献下载
摘要：分光模块(1)具有：本体部(2)，使光(L1、L2)透过；分光部(3)，对从本体部(2)的前面(2a)入射于本体部(2)的光(L1)进行分光，并向前面(2a)侧反射；光检测元件(4)，具有检测被分光部(3)分光并反射的光(L2)的光检测部(41)，通过倒装接合而电连接于形成于本体部(2)的前面(2a)的配线(9)；以及底填充材料(12)，填充于光检测元件(4)的本体部(2)侧，并使光(L1、L2)透过光检测元件(4)具有使向分光部(3)行进的光(L1)通过的光通过孔(42)，光通过孔(42)的光入射开口(42a)的一部分被光透过板(16)覆盖。
分光模块

[发明专利]分光模块-CN201080037678.7无效
发明人：柴山胜己;能野隆文 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2010-08-31 - 公布日： 2012-05-30 - 主分类号： G01J3/18 文献下载
摘要：本发明的分光模块中，以比衍射层(6)厚的方式，沿着衍射层(6)的周缘(6a)一体形成凸缘部(7)，且在透镜部(3)的曲面(3a)中与凸缘部(7)接触的部分为粗糙面。而且，该分光模块中，在凸缘部(7)中与透镜部(3)的曲面(3a)相对的后表面(7a)成为平坦面。由此，即使光入射至凸缘部(7)内，该光也会到达凸缘部(7)的平坦面即后表面(7a)。
分光模块

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