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- [实用新型]一种多功能检测装置-CN202223345796.3有效
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周梦凡
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江苏第三代半导体研究院有限公司
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2022-12-09
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2023-05-16
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G01N21/01
- 测试模块包括物镜和光收集构件,物镜可移除地设置在第一安装位置,光收集构件可拆卸地设置在第一安装位置或第二安装位置。光收集构件安装在第二安装位置时,光收集构件通过物镜对半导体样品进行微区角度分辨,或者将物镜移除,光收集构件对半导体样品进行远场角度分辨;当光收集构件安装第一安装位置时,光收集构件罩在半导体样品上,对半导体进行普通光学特性测试通过改变物镜和光收集构件的位置,功能检测装置可以进行微区角度分辨、远场角度分辨以及普通光学特性测试,满足了多种测试场景的需求,实现了多种应用场景切换,从而方便操作。
- 一种多功能检测装置
- [发明专利]一种粒子计数传感器-CN202210461322.0在审
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王少永;惠旅锋
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苏州苏信环境科技有限公司
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2022-04-28
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2022-06-28
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G01N15/14
- 本发明提供一种粒子计数传感器,包括发出光束的光源,用于待测气流流通的气路组件,光束与气流交叉形成光工作区,还包括光电探测器、散射光收集组件;环绕光束,散射光收集组件包括分别设置在光工作区相对两侧的第一散射光收集结构和第二散射光收集结构;第二散射光收集结构、光工作区、第一散射光收集结构、光电探测器依次设置;第一散射光收集结构内部具有光反射面,光反射面围设形成第一反射腔;第一散射光收集结构开设有供第一反射腔与外部连通的第一进光口和第一出光口,第一进光口朝向光工作区,第一出光口与光电探测器结合设置;第二散射光收集结构具有朝向光工作区的第三反射面,第三反射面至少部分区域的光反射进入第一反射腔。
- 一种粒子计数传感器
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