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- [实用新型]上腔体结构-CN202223238271.X有效
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王海南
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上海积塔半导体有限公司
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2022-12-02
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2023-03-17
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H01L21/67
- 本申请提供一种上腔体结构，涉及半导体加工设备的领域,其包括基台、气体分流盘、吸附环以及隔离环；气体分流盘固定于基台上，吸附环同轴设置于气体分流盘的外周，隔离环同轴设置于吸附环的外圈；吸附环通过喷砂处理形成有粗糙表面区域通过在气体分流盘的外圈设置吸附环，由于吸附环的表面通过喷砂处理形成有粗糙表面区域，吸附环表面能够对气体分流盘周边生成的大量聚合物进行吸附，进而减少了上腔体结构所需的清洁频次，延长了上腔体结构的使用时间，
- 上腔体结构
- [实用新型]真空腔体上盖的上掀装置-CN201720082528.7有效
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郑耿旻;魏木元;林岱蔚
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友威科技股份有限公司
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2017-01-20
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2017-10-13
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E05F11/04
- 本实用新型是一种真空腔体上盖的上掀装置，其包含一架体具有两限位件凸设于该架体的前侧且分别靠近架体左、右侧，两定位柱位于架体后侧且分别位于架体的左、右侧，各定位柱具有一靠近其顶端的穿孔；一控制模块位于该架体后侧并位于两定位柱之间一操作部设于控制模块的后侧，操作部与该转轴相连动；及两作动组分别设于架体的定位柱，各作动组具有一可转动地设于定位柱近穿孔处的支轮、一套设固定于转轴的卷放轮与一卷绕于卷放轮并经支轮伸出穿孔的吊挂件，藉以提高打开真空腔体上盖的速度，且打开后不需要额外的空间进行放置上盖，提升打开真空腔体上盖的便利性及安全性。
- 空腔体上盖装置
- [发明专利]一种腔体上料机-CN202010770754.0在审
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胡彦潮;余太平;李欣龙;许朋飞
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深圳市罗博威视科技有限公司
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2020-08-04
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2020-10-20
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B65G47/82
- 本发明公开了一种腔体上料机，包括工作平台以及设置于工作平台上方的排料机构、上料机械手以及治具流水线，所述的排料机构用于逐个的提供微波环形器腔体，上料机械手用于将微波环形器腔体转移至治具流水线的治具内；排料机构包括排料转盘、旋转电机、推料气缸以及排料组件；排料转盘固定在旋转电机的电机轴上；排料转盘沿圆周方向均布有多个上料套管，且每个上料套管上分别设置有用于盛放微波环形器腔体的排料管；推料气缸设置在排料转盘的上方；排料组件位于排料转盘的一侧，该排料组件包括有用于接收微波环形器腔体的排料导轨；本发明的有益效果是：便于实现微波环形器腔体的自动排料和自动上料，提高排料和上料的效率。
- 一种腔体上料机
- [实用新型]一种腔体上料机-CN202021615271.5有效
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胡彦潮;余太平;李欣龙;许朋飞
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深圳市罗博威视科技有限公司
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2020-08-04
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2021-01-01
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B65G47/82
- 本实用新型公开了一种腔体上料机，包括工作平台以及设置于工作平台上方的排料机构、上料机械手以及治具流水线，所述的排料机构用于逐个的提供微波环形器腔体，上料机械手用于将微波环形器腔体转移至治具流水线的治具内；排料机构包括排料转盘、旋转电机、推料气缸以及排料组件；排料转盘固定在旋转电机的电机轴上；排料转盘沿圆周方向均布有多个上料套管，且每个上料套管上分别设置有用于盛放微波环形器腔体的排料管；推料气缸设置在排料转盘的上方；排料组件位于排料转盘的一侧，该排料组件包括有用于接收微波环形器腔体的排料导轨；本实用新型的有益效果是：便于实现微波环形器腔体的自动排料和自动上料，提高排料和上料的效率。
- 一种腔体上料机
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