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- [实用新型]变径式有机热载体炉炉管-CN201020629265.5有效
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孙春生;赵秋洪;萧艳彤
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天津市特种设备监督检验技术研究院
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2010-11-26
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2011-07-20
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F24H9/00
- 本实用新型公开了一种变径式有机热载体炉炉管，至少包括内层炉管和外层炉管，所述内层炉管和所述外层炉管的一端分别设有基本为水平位置的且均连接至一进口集箱上的端口，所述内层炉管的直径大于所述外层炉管的直径；所述外层炉管的圈数比所述内层炉管的圈数多；所述内层炉管和所述外层炉管的另一端分别设有基本为水平位置的且均连接至一出口集箱上的端口。本实用新型炉管中内层炉管的直径大于外层炉管的直径，且内层炉管的圈数少于外层炉管的邮箱圈数，因此，在锅炉工作运行中强制地实现内、外层炉管中的介质趋于等速等量，减轻或避免由于内外层炉管之间热偏差而引起炉管结焦现象，延长炉管的使用寿命。
- 变径式有机热载体炉管
- [实用新型]分段式热脱附炉炉管及分段式热脱附炉-CN202020143562.2有效
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许麟君;张元
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上海吾励环境技术有限公司
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2020-01-22
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2021-04-13
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B09C1/06
- 本实用新型公开了一种分段式热脱附炉炉管及分段式热脱附炉。分段式炉管包括上下炉管；上炉管左侧顶部设进料口；下炉管左侧底部设出料口；上下炉管都分成多段，相邻的段与段之间通过法兰和螺栓连接；中段炉管通过法兰和螺栓与炉体连接；整个炉体的炉管材料相同；上炉管、下炉管相对应的各段的大小相同；进料口与出料口的大小相同；上炉管、下炉管相对应的各段可以拆卸下来互换并上下方向颠倒后重新安装使用，由此可使上下炉管的被磨损部位与未被磨损部位互换位置后继续正常使用。该分段法兰连接式炉管，可增加炉管使用寿命，减少更换炉管的成本，降低更换炉管导致的工期延长及燃料浪费；还可消除炉管与炉膛间的缝隙，减少热量逸散，节省燃料消耗。
- 段式热脱附炉炉管
- [实用新型]贯流式有机热载体炉炉管-CN201020629411.4有效
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孙春生;赵秋洪;萧艳彤
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天津市特种设备监督检验技术研究院
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2010-11-26
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2011-07-20
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F24H9/00
- 本实用新型公开了一种贯流式有机热载体炉炉管，至少包括内层炉管和外层炉管，内层炉管与外层炉管在远离锅炉火焰源一侧对接贯通，内层炉管的圈数少于外层炉管的圈数，且内层炉管圈数的减少端布置于锅炉炉膛火焰源的一侧；内层炉管的端口和外层炉管的端口均设置在靠近锅炉炉膛火焰源的一侧，内层炉管的端口基本为水平位置且连接至第一法兰上的热载体进口，外层炉管的端口基本为水平位置且连接至第二法兰上的热载体出口。主要是采取将内外层炉管设计为层之间炉管的对接串联，而并非是现有技术中采用的并联；将内层炉管设计为圈数少于外层炉管的圈数，以解决由于内外层炉管与集箱并联结构运行中产生偏流所引起的内层炉管爆裂失效的问题。
- 贯流式有机热载体炉管
- [发明专利]双层石英工艺室结构-CN202010344692.7在审
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张海林;刘国霞
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青岛赛瑞达电子装备股份有限公司
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2020-04-27
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2020-07-10
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C23C16/44
- 一种双层石英工艺室结构，安装在加热炉体上，包括炉管，炉管包括外炉管和內炉管，外炉管的内壁与內炉管的外壁之间设有间隔空间；炉管上安装有法兰，第一法兰上设置有第一通气管；第二法兰上安装有第二炉盖，第二炉盖上设置有抽气管，內炉管后端的端口与第二炉盖相连，并与抽气管相连通；第二炉盖上设置有充气管，充气管的内端伸入到间隔空间中。本发明的双层石英工艺室结构，设置有内外两个炉管，炉管之间具有夹层空间，能够通过充气管通入保护气体，使夹层空间内保护气体的气压微高于作为工艺腔室的內炉管内腔的气体压力，防止工艺腔室内气体进入到夹层内部，防止外炉管内壁上有工艺反应物沉积，从而避免外炉管因此发生破裂，提高其使用寿命。
- 双层石英工艺结构
- [实用新型]双层石英工艺室结构-CN202020670277.6有效
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张海林;刘国霞
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青岛赛瑞达电子装备股份有限公司
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2020-04-27
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2021-02-26
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C23C16/44
- 一种双层石英工艺室结构，安装在加热炉体上，包括炉管，炉管包括外炉管和內炉管，外炉管的内壁与內炉管的外壁之间设有间隔空间；炉管上安装有法兰，第一法兰上设置有第一通气管；第二法兰上安装有第二炉盖，第二炉盖上设置有抽气管，內炉管后端的端口与第二炉盖相连，并与抽气管相连通；第二炉盖上设置有充气管，充气管的内端伸入到间隔空间中。本发明的双层石英工艺室结构，设置有内外两个炉管，炉管之间具有夹层空间，能够通过充气管通入保护气体，使夹层空间内保护气体的气压微高于作为工艺腔室的內炉管内腔的气体压力，防止工艺腔室内气体进入到夹层内部，防止外炉管内壁上有工艺反应物沉积，从而避免外炉管因此发生破裂，提高其使用寿命。
- 双层石英工艺结构
- [实用新型]炉管清洗机密封机构-CN201620408014.1有效
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李汉生;王尚森;吕亚明;黄建光;徐新华
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昆山中辰矽晶有限公司
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2016-04-29
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2017-09-26
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B08B13/00
- 本实用新型提供一种炉管清洗机密封机构，用以清洗石英炉管，炉管清洗机密封机构包括炉管清洗机构以及密封机构。炉管清洗机构具有清洗槽，清洗槽用以放置密封机构。密封机构具有一固定装置、炉管夹紧气缸、高度调节钮、陶瓷轴承、炉管活动密封盖、炉管驱动轴以及炉管驱动滚轮。炉管清洗机密封机构一端为固定装置，通过高度调节钮调节固定装置的高度，从而可以清洗不同尺寸的石英炉管，提高炉管清洗机密封机构的利用率；通过气缸增压，使得炉管活动密封盖密封炉管；密封机构的另一端为清洗药剂进出口，HF酸可以不断循环；密封机构的底部装有炉管驱动轴及炉管驱动滚轮，将炉管放置在驱动滚轴上，转动炉管驱动滚轴，使炉管随滚轴一起转动，从而炉管内部清洗，达到不断循环清洗的效果，提高清洗效率，减少炉管壁厚的损失，延长炉管的寿命。
- 炉管清洗机密机构
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