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[发明专利]三轴加速度传感器-CN202110088009.2在审
发明人：谢国伟;金怡;颜培力 -专利权人：上海矽睿科技有限公司
申请日： 2021-01-22 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： G01P15/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种三轴加速度传感器，包括：基板，固定设置于基板上的至少一个锚点，与基板表面平行且彼此相互垂直的两方向定义为X方向与Y方向，所在的平面为XY平面，垂直XY平面的方向为Z方向，还包括：第一可动质量块，通过第一弹性元件与锚点连接，所述第一弹性元件为X方向与Y方向的双向弹性元件；第二可动质量块，通过第二弹性元件与第一可动质量块连接，所述第二弹性元件为以Y轴转为转动轴的转臂，使所述第二可动质量块可绕XZ平面转动；第一质量块和第二质量块的重心分别位于锚点Y轴方向的两侧。本发明通过设置两个不同重心位置的质量块，通过质量块的旋转消除外界应力对加速度检测的影响。
加速度传感器

[发明专利]三轴加速度传感器-CN202110089261.5在审
发明人：谢国伟;金怡;颜培力 -专利权人：上海矽睿科技有限公司
申请日： 2021-01-22 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： G01P15/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种三轴加速度传感器，包括基板、以及固定设置于基板上的至少一个锚点；所述传感器还包括：第一可动质量块、第二可动质量块、以及第三可动质量块。第二可动质量块和第三可动质量块的重心分别位于锚点的两侧。本发明通过设置两个不同重心位置的质量块，通过质量块的旋转消除外界应力对加速度检测的影响。
加速度传感器

[发明专利]三轴加速度传感器-CN200910165402.6有效
发明人： J·克拉森;L·特夫耶 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2009-07-30 - 公布日： 2010-02-03 - 主分类号： G01P15/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种加速度传感器，尤其是三轴加速度传感器，该加速度传感器包括基底和第一质量元件，该第一质量元件如此地与基底连接，使得第一质量元件能绕一轴线旋转，其中，第一质量元件如此地与第二质量元件连接，使得该第二质量元件能沿着平行于所述轴线的第一方向运动，并且第一质量元件如此地与第三质量元件连接，使得该第三质量元件能沿着垂直于所述轴线的第二方向运动。
加速度传感器

[发明专利]三轴加速度传感器-CN201310324970.2有效
发明人：陈学峰;钟利强;杨小平 -专利权人：苏州固锝电子股份有限公司
申请日： 2013-07-30 - 公布日： 2013-11-27 - 主分类号： G01P15/18 文献下载
摘要：本发明公开一种三轴加速度传感器，包括MEMS加速度芯片、信号处理芯片和基板，MEMS加速度芯片包括盖体、微机械系统和电路基片，该微机械系统由X轴加速度感应区、Y轴加速度感应区和Z轴加速度感应区组成；Y轴加速度感应区包括具有2个通孔的Y向“H”形运动片、2个Y向运动电极和2个Y向固定电极；Z轴加速度感应区包括质量条块和支撑轴；信号处理芯片下表面通过第一绝缘胶粘层与MEMS加速度芯片的盖体表面粘接，此MEMS加速度芯片的电路基片表面通过第二绝缘胶粘层与基板部分区域粘接本发明三轴加速度传感器提高了器件的可靠性且有效减少外力对芯片的应力损伤。
加速度传感器

[发明专利]三轴加速度传感器-CN200910168056.7无效
发明人： J·克拉森;A·克尔布尔;L·特夫耶 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2009-08-19 - 公布日： 2010-02-24 - 主分类号： G01P15/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种加速度传感器，其包括基底、摆动质量、与摆动质量连接的z弹簧以及至少一个与基底和摆动质量连接的另外的弹簧装置，所述z弹簧允许对摆动质量绕一轴线旋转。
加速度传感器

[实用新型]三轴加速度传感器-CN202022588191.1有效
发明人：苏伟;刘俊伟 -专利权人：江苏成孚电子科技有限公司
申请日： 2020-11-10 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： G01P15/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了三轴加速度传感器，包括安装壳：所述安装壳上设有三个相邻相互垂直的螺槽，且螺槽内嵌设置有加速度传感器组件，所述加速度传感器组件包括一壳体，壳体上设置有与螺槽相适配的螺杆，壳体的内壁设置有支架，且支架的竖直端依次套设有压电元件、质量块和绝缘环，所述安装壳上设置有三个互不接触的接线组件。本实用新型中，该加速度传感器采用可三个独立可拆卸的传感器组件，可以将每一个传感器组件与外壳进行快速便捷的拆装操作，便于对发生故障的传感器组件进行单独的更换操作，从而确保了三个传感器组件之间的相对独立性，提高了加速度传感器的使用效果。
加速度传感器

[实用新型]三轴加速度传感器-CN202120187055.3有效
发明人：谢国伟;金怡;颜培力 -专利权人：上海矽睿科技股份有限公司
申请日： 2021-01-22 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： G01P15/18 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种三轴加速度传感器，包括：基板，固定设置于基板上的至少一个锚点，与基板表面平行且彼此相互垂直的两方向定义为X方向与Y方向，所在的平面为XY平面，垂直XY平面的方向为Z方向，还包括：第一可动质量块，通过第一弹性元件与锚点连接，所述第一弹性元件为X方向与Y方向的双向弹性元件；第二可动质量块，通过第二弹性元件与第一可动质量块连接，所述第二弹性元件为以Y轴转为转动轴的转臂，使所述第二可动质量块可绕XZ平面转动；第一质量块和第二质量块的重心分别位于锚点Y轴方向的两侧。本实用新型通过设置两个不同重心位置的质量块，通过质量块的旋转消除外界应力对加速度检测的影响。
加速度传感器

[实用新型]三轴加速度传感器-CN202120190544.4有效
发明人：谢国伟;金怡;颜培力 -专利权人：上海矽睿科技股份有限公司
申请日： 2021-01-22 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： G01P15/18 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种三轴加速度传感器，包括基板、以及固定设置于基板上的至少一个锚点；与基板表面平行且彼此相互垂直的两方向定义为X方向与Y方向，所在的平面为XY平面，垂直XY平面的方向为Z方向；所述传感器还包括：第一可动质量块，通过第一弹性元件与锚点连接，所述第一弹性元件为X方向与Y方向的双向弹性元件与梁连接；第二可动质量块，通过第二弹性元件与第一可动质量块连接，所述第二弹性元件为以Y轴为转动轴的转臂，使所述第二可动质量块可绕XZ平面转动；以及第三可动质量块，通过第三弹性元件与第一可动质量块连接，所述第三弹性元件为以Y轴为转动轴的转臂，使所述第三可动质量块可绕XZ平面转动；第二可动质量块和第三可动质量块的重心分别位于锚点Y轴方向的两侧本实用新型通过设置两个不同重心位置的质量块，通过质量块的旋转消除外界应力对加速度检测的影响。
加速度传感器

[外观设计]三轴加速度传感器-CN201930491050.8有效
发明人：吴连奎;王长欣;刘韶鹏 -专利权人：苏州云庐科技有限公司
申请日： 2019-09-06 - 公布日： 2020-02-07 - 主分类号： 10-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：三轴加速度传感器。;2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于三轴加速度传感器,可测量振动。;3.本外观设计产品的设计要点：在于产品的形状及外观。
三轴加速度传感器

[外观设计]三轴加速度传感器-CN202130464433.3有效
发明人：刘兴琦;易经亚;肖荣 -专利权人：湖南联诚轨道装备有限公司;湖南联诚电气科技有限公司
申请日： 2021-07-21 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： 10-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：三轴加速度传感器。2.本外观设计产品的用途：用于轨道车辆加速度测量的零部件。3.本外观设计产品的设计要点：在于本外观产品的形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。
加速度传感器

[外观设计]三轴加速度传感器-CN202230470473.3有效
发明人：杨方成;谢春兵 -专利权人：云翔赛博(山东)数字技术有限公司
申请日： 2022-07-22 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： 10-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：三轴加速度传感器。2.本外观设计产品的用途：主要应用于监测机械设备故障方面的应用，振动频率作为诊断机械健康状态的重要方法，评估各种类型的机器和驱动器的特征性振动，冲击和振动参数。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
加速度传感器

[实用新型]一种微机电系统三轴加速度传感器芯片-CN202022520859.9有效
发明人：华亚平;苏佳乐 -专利权人：安徽芯动联科微系统股份有限公司
申请日： 2020-11-04 - 公布日： 2021-07-30 - 主分类号： G01P15/18 文献下载
摘要：本申请提供一种微机电系统三轴加速度传感器芯片包括：第一轴加速度传感器单元，用于感应第一轴方向的加速度；第二轴加速度传感器单元感应，用于第二轴方向的加速度；和第三轴加速度传感器单元，用于感应第三轴方向的加速度；第一轴加速度传感器单元和第二轴加速度传感器单元层叠布置；第三轴加速度传感器单元包括第四加速度传感器子单元和第五加速度传感器子单元，第四加速度传感器子单元设置于第一轴加速度传感器单元的一侧，第五加速度传感器子单元设置于第二轴加速度传感器单元的一侧，第四加速度传感器子单元与第五加速度传感器子单元为不对称结构。第一、第二和第三轴加速度传感器单元密封在同一个密封腔内。
一种微机系统加速度传感器芯片

[发明专利]一种微机电系统三轴加速度传感器芯片和制作方法-CN202011219115.1在审
发明人：华亚平;苏佳乐 -专利权人：安徽芯动联科微系统股份有限公司
申请日： 2020-11-04 - 公布日： 2021-01-22 - 主分类号： G01P15/18 文献下载
摘要：本申请提供一种微机电系统三轴加速度传感器芯片和制作方法，其中芯片包括：第一轴加速度传感器单元，用于感应第一轴方向的加速度；第二轴加速度传感器单元感应，用于第二轴方向的加速度；和第三轴加速度传感器单元，用于感应第三轴方向的加速度；第一轴加速度传感器单元和第二轴加速度传感器单元层叠布置；第三轴加速度传感器单元包括第四加速度传感器子单元和第五加速度传感器子单元，第四加速度传感器子单元设置于第一轴加速度传感器单元的一侧，第五加速度传感器子单元设置于第二轴加速度传感器单元的一侧，第四加速度传感器子单元与第五加速度传感器子单元为不对称结构。第一、第二和第三轴加速度传感器单元密封在同一个密封腔内。
一种微机系统加速度传感器芯片制作方法

[实用新型]一种三轴石英挠性加速度传感器短节-CN202021478131.8有效
发明人：冯建光;杨勇 -专利权人：商丘森瑞科技有限责任公司
申请日： 2020-07-23 - 公布日： 2021-01-26 - 主分类号： G01P15/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种三轴石英挠性加速度传感器短节,其特征主要在于：主体包括三轴加速度传感器短节本体、尾部连接件、X轴加速度传感器、Y轴加速度传感器、Z轴加速度传感器、传感器安装载体，三轴加速度传感器短节本体一端设置有传感器安装载体，传感器安装载体侧面设置有X轴加速度传感器，X轴加速度传感器侧面设置有Y轴加速度传感器，轴加速度传感器短节本体另一端内侧设置有Z轴加速度传感器，Z轴加速度传感器侧面设置有尾部连接件，本装置在三轴加速度传感器的骨架上设置两个径向减振环安装槽，同时组装Z轴加速度计时采用微弹性元件预紧，起到了减震效果，保证了井下工作的可靠性。
一种石英加速度传感器

[发明专利]三轴加速度修正方法及装置-CN201510489386.1有效
发明人：杨汀;安刚;黑文静 -专利权人：中国航空工业集团公司西安飞机设计研究所
申请日： 2015-08-11 - 公布日： 2018-06-05 - 主分类号： G01C21/12 文献下载
摘要：本发明提供了一种三轴加速度修正方法及装置，该方法包括：在飞行器的第一三轴加速度传感器和第二三轴加速度传感器中，确定第一三轴加速度传感器为待修正的三轴加速度传感器；根据所述第一三轴加速度传感器的自身的加速度、所述第一三轴加速度传感器的三轴角速率，和所述第一三轴加速度传感器与第二三轴加速度传感器之间的相对位置修正所述第一三轴加速度传感器的三轴加速度。通过本发明，解决了同一架飞机器上加速度不同源引起的加速度不一致的问题，从而避免显示系统和控制系统之间加速度信号不一致带来的安全隐患。
三轴加速度传感器三轴加速度修正不一致加速度信号安全隐患控制系统位置修正显示系统飞机器飞行器同源修正

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