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[发明专利]三维形貌测量装置-CN202011042935.8有效
发明人：余良彬;王湧锋;陈俊玓 -专利权人：鉴微科技股份有限公司
申请日： 2020-09-28 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：一种三维形貌测量装置，包含：一投射装置、一取像装置、以及一影像处理装置。投射装置投射多个结构光于一场景上，每一个结构光的投射时间彼此错开，结构光依序在一第一投射期间及一第二投射期间投射，结构光分别具有一频率及一平均位准，其中，第一投射期间的结构光的平均位准和第二投射期间的结构光的平均位准相同，第一投射期间的结构光的频率和第二投射期间的结构光的频率不同；取像装置在每一个结构光的投射时间内撷取场景而获得一影像；以及影像处理装置根据影像获得场景内的待测物的三维形貌。
三维形貌测量装置

[发明专利]一种融合声学与光学方法的水下高精度测量和缺陷检测方法-CN202111006002.8有效
发明人：邵新星;谷柳凝;侯士通;吴刚;何小元 -专利权人：东南大学
申请日： 2021-08-30 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： G01B11/25 文献下载
摘要：本发明提供了一种融合声学与光学方法的水下高精度测量和缺陷检测方法，可得到水下结构的多尺度声光融合三维形貌点云，以更好地检测水下结构的损伤、缺陷等信息。该方法主要包括如下步骤：(1)在水下测量平台上安装导航设备、光学三维形貌测量装置、三维声呐测量装置。(2)利用光学三维形貌测量装置得到被测面整体光学三维形貌点云数据。(3)利用三维声呐获取水下被测面整体声学三维形貌点云数据。(4)将被测面整体的声学、光学三维形貌点云数据进行融合，实现水下结构三维形貌的高精度测量。(5)基于声学、光学融合三维形貌点云数据，利用深度学习算法实现水下缺陷自动定位。
一种融合声学光学方法水下高精度测量缺陷检测

[发明专利]基于二维激光位移传感器的砂轮三维形貌测量方法-CN201210209812.8无效
发明人：李郝林;迟玉伦 -专利权人：上海理工大学
申请日： 2012-06-25 - 公布日： 2013-12-04 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于二维激光位移传感器的砂轮三维形貌测量方法，包括：(1)机床砂轮表面三维形貌测量；(2)砂轮表面三维测量数据的处理；(3)砂轮表面三维形貌结果显示。该发明专利可有效方便测量出砂轮表面三维形貌数据，对数据处理后绘制出的砂轮三维图形非常有助于帮助工人了解磨削加工中砂轮的微观形貌结构组成变化，对定量分析砂轮表面三维形貌特征提供了依据。
基于二维激光位移传感器砂轮三维形貌测量方法

[发明专利]基于立体视觉引导的目标位置三维形貌高精度快速测量方法和装置-CN202011335835.4在审
发明人：杨佳苗;沈阳;刘林仙;童强;何巧芝;邵荣君;陈成;邹高宇;马奎 -专利权人：绍兴钜光光电科技有限公司
申请日： 2020-11-25 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： G01B11/25 文献下载
摘要：本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种基于立体视觉引导的目标位置三维形貌高精度快速测量方法和装置。本发明提出对被测样品表面先采用立体视觉形貌测量方法进行大范围的三维形貌快速测量；基于该测量数据，得到需高精度测量的局部区域的位置信息；并引导显微三维形貌测量技术对需高精度测量的局部区域表面的形貌进行高精度的测量；最后将两组测量结果进行数据融合，得到被测样品表面的整体全局测量结果和局部高精度测量结果。本发明首次将立体视觉三维形貌测量技术和显微三维形貌测量技术进行融合，具有测量精度高、测量速度快、抗环境干扰能力强等优点，可用于需要对局部区域进行高精度检测的样品的三维形貌测量。
基于立体视觉引导目标位置三维形貌高精度快速测量方法装置

[发明专利]一种晶圆表面三维形貌高速测量方法及装置-CN202211454260.7有效
发明人：张效栋;朱琳琳;程威盛;刘现磊 -专利权人：三代光学科技(天津)有限公司;天津大学
申请日： 2022-11-21 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明涉及晶圆检测领域，尤其涉及一种晶圆表面三维形貌高速测量方法及装置，所述一种晶圆表面三维形貌高速测量方法包括：利用光学测量模块对应的光幕线投射至待测晶圆后，采集待测晶圆的表面反射光条数据解算得到与当前光幕线对应的XZ坐标值，利用所述XZ坐标值作为二维测量数据；采集待测晶圆不同回转角度的二维测量数据后得到当前回转半径的待测晶圆初始三维形貌信息，利用所述待测晶圆初始三维形貌信息基于圆柱坐标系转换后，进行拼接处理得到待测晶圆表面三维形貌信息，有效解决晶圆表面三维形貌高精度完整扫描测量难题，软硬件方面自动化集成度高，可实现离线晶圆表面三维形貌批量测量，也可以集成到产线实现在线晶圆表面三维形貌高速检测。
一种表面三维形貌高速测量方法装置

[发明专利]三维孔结构的测量装置与测量方法-CN201410225654.4有效
发明人：陆海亮;周钰颖;李玉龙;王帆 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2014-05-26 - 公布日： 2020-11-20 - 主分类号： G01B11/22 文献下载
摘要：本发明提出了一种三维孔结构的测量装置与测量方法，是基于角谱测量技术对高深宽比三维孔结构的形貌参量测量的装置与方法，能够探测待测的三维孔结构的衍射光，即实现全角谱的测量，获取的孔底面衍射光信号有利于对三维孔结构形貌的求解，测得的角谱有利于判断三维孔结构形貌的非对称性，以提高孔测量技术对孔工艺状况的测量能力，提高测量精度。
三维结构测量装置测量方法

[发明专利]测量列车车轮表面三维形貌的方法及装置-CN201611208026.0在审
发明人：张渝;谭优;杨凯;彭建平;陈瑞 -专利权人：北京主导时代科技有限公司
申请日： 2016-12-23 - 公布日： 2017-04-26 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本申请公开一种测量列车车轮表面三维形貌的方法，包括获取标定板表面图像信息；依据所述标定板表面图像信息计算相位‑高度映射关系参数；获取被测车轮表面图像信息；根据所述被测车轮表面图像信息计算所述被测车轮表面各位置的实际相位差分布；依据所述被测车轮的实际相位差分布以及所述相位‑高度映射关系参数计算所述被测车轮表面各位置的实际高度分布；依据所述实际高度分布获得所述被测车轮的表面三维形貌。本申请还公开了一种测量列车车轮表面三维形貌的装置，测量列车车轮三维形貌的方法以及装置能够准确测量列车车轮三维形貌，通过列车车轮三维形貌检测其外形参数及表面缺陷。
测量列车车轮表面三维形貌方法装置

[发明专利]一种纳米结构三维形貌小角X射线散射测量方法及装置-CN202210330679.5有效
发明人：刘世元;陈修国;杨天娟;马健源;刘章勇;张家豪 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2022-03-30 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： G01B15/04 文献下载
摘要：本发明属于半导体测量技术领域，具体涉及一种纳米结构三维形貌小角X射线散射测量方法及装置，包括：对待测样品的纳米结构周期单元的三维形貌进行描述，并用以建立三维形貌的透射小角X射线散射场模型；对三维形貌进行透射小角X射线散射场测量，得到散射图谱，其中采用的定位系统能够大范围变化入射角和方位角，能够实现多角度散射图谱测量，在此基础上在参数提取中通过特定公式在图谱中直接提取三维形貌周期信息，提取方式高效、准确，上述公式是通过将不同旋转角度本发明方法是一种全新的高效实现复杂IC纳米结构三维形貌快速、非破坏性、精确测量的方法。
一种纳米结构三维形貌小角射线散射测量方法装置

[实用新型]一种物体三维形貌测量装置-CN201920937394.1有效
发明人：李勇;魏一振;张卓鹏 -专利权人：杭州光粒科技有限公司
申请日： 2019-06-20 - 公布日： 2019-12-20 - 主分类号： G01B11/25 文献下载
摘要：本实用新型提供一种物体三维形貌测量装置，所述装置包括：模板、支撑架和相机，所述模板设置于所述支撑架上，所述模板具有预设图案，其用于接收外界阳光的照射并在相对侧形成阴影图案，所述阴影图案投影在被测物体上，所述相机拍摄被所述阴影图案覆盖的被测物体以得到对应的变形图案，基于所述变形图案对所述被测物体的三维形貌进行测量。本实用新型的物体三维形貌测量装置采用阳光作为光源以对物体表面形貌进行主动双目三维测量，无需投影成像光学系统，并且只需一个模板或者再加上若干个平面反射镜即可实现野外三维测量任务，整体结构简单，测量成本较低
被测物体阴影图案三维形貌测量装置本实用新型变形图案三维测量支撑架投影成像光学系统物体表面形貌平面反射镜测量成本模板设置三维形貌外界阳光相机拍摄预设图案光源投影双目照射相机野外测量覆盖

[实用新型]便携式砂轮三维形貌测量分析装置-CN201120286357.2有效
发明人：迟玉伦;李郝林;朱欢欢 -专利权人：上海理工大学
申请日： 2011-08-09 - 公布日： 2012-05-23 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种便携式砂轮三维形貌测量分析装置，2D激光位移传感器安放于被测机床砂轮表面的前方，并通过数据电缆与控制器连接，控制器与PC机连接。本实用新型采用的是非接触式超高精度2D激光位移传感器，因而在加工现场方便测量、使用简单、携带方便；通过对测量砂轮三维形貌数据进行数字滤波处理后，更加有利于砂轮表面三维形貌的分析评价。可有效方便测量出砂轮表面三维形貌数据，对数据处理后绘制出的砂轮三维图形非常有助于帮助工人了解磨削加工中砂轮的微观形貌结构组成变化，特别是砂轮三维形貌参数表在实际加工中应用，不仅仅对定量分析砂轮表面三维形貌提供了依据
便携式砂轮三维形貌测量分析装置

[发明专利]一种复杂大构件机器人面扫描三维重建方法-CN202011114453.9有效
发明人：赵壮;韩静;陆骏;张毅;于浩天 -专利权人：南京知谱光电科技有限公司
申请日： 2020-10-19 - 公布日： 2021-02-02 - 主分类号： G01B11/25 文献下载
摘要：本发明公开了一种复杂大构件机器人面扫描三维重建方法，属于三维形貌测量技术领域。其首先采用格雷码编码图像结合相移的结构光编码方法进行面阵三维形貌测量；接着将面阵三维形貌测量系统和工业机器人结合起来，进行系统标定；最后对采集的点云数据进行处理，进行粗拼接和精拼接处理。本发明的负责大构件机器人面扫描三维重建方法能够实现高速度和高精度的大型物体三维形貌测量。
一种复杂构件机器人面扫描三维重建方法

[发明专利]基于高清晰测量灰度图像的零件表面三维形貌评价方法-CN201310433469.X在审
发明人：王猛;奚立峰;杜世昌;赵同铭;韦建光;林观生 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2013-09-22 - 公布日： 2014-01-29 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明提供一种基于高清晰测量灰度图像的复杂零件表面三维形貌评价方法，包括步骤：首先，采用三维高分辨率表面形貌测量技术对复杂零件表面进行测量，并将测量的三维高密度点云数据转换为灰度图像。最后，通过有效灰度共生矩阵计算特征值熵和对比度，分别用于评价复杂零件三维形貌的随机性和三维形貌局部误差的大小。本发明能够对包含孔洞的大尺寸复杂零件表面的三维形貌进行评价，改进了二维形貌评价方法容易产生“漏检”的缺陷和三维微观形貌方法无法直接计算复杂零件表面不连续数据的不足，补充了产品几何特征中有关零件表面形貌的评价体系
基于清晰测量灰度图像零件表面三维形貌评价方法

[发明专利]基于数字微镜器件的双相机的三维形貌测量装置和方法-CN202211150108.X在审
发明人：赵首博;杨玉强 -专利权人：广东海洋大学
申请日： 2022-09-21 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： G01B11/25 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于数字微镜器件的双相机的三维形貌测量装置和方法基于数字微镜器件的双相机的三维形貌测量装置和方法，属于立体视觉成像领域。所述的基于数字微镜器件的双相机的三维形貌测量装置包括平行光源、第一数字微镜器件、投影系统、物镜、第二数字微镜器件、第一中继透镜、第二中继透镜、第一CCD相机和第二CCD相机。所述的基于数字微镜器件的双相机的三维形貌测量方法包括图像采集和相位计算，通过时序差分和双相机差分，实现对被测目标的形貌测量，并消除共模噪声，提高了测量精度。
基于数字器件相机三维形貌测量装置方法

[发明专利]路面三维纹理形貌精确测量装置及方法-CN201910966967.8有效
发明人：王元元;郭诗言;薛金顺;成羽;周飞;程宸 -专利权人：湖北文理学院
申请日： 2019-10-12 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： G01B11/25 文献下载
摘要：公开了一种路面三维纹理形貌精确测量装置及方法，所述测量装置包括线状激光发射器和双目摄像机，由所述线状激光发射器发射激光约束线，对路面待测区域进行扫描；同时，所述双目摄像机完成激光约束线扫描状态下路面待测区域的视频拍摄；然后，基于MATLAB编程在计算机上实现视频读取、激光约束线目标提取、子区域分割、激光约束线目标质心取亮、子区域视差求解、合成视差矩阵和三维重构等步骤操作，最终完成路面三维形貌的测量。同现行常用的路面纹理形貌测试方法相比，本公开能够方便地实现路面纹理形貌的三维测量，并大幅度改善路面三维纹理形貌的测量精度和分辨率，其分辨率达到像素级。
路面三维纹理形貌精确测量装置方法

[发明专利]使用图案形成装置形貌引入的相位的方法和设备-CN201580068449.4在审
发明人： J·M·芬德尔斯 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2015-11-25 - 公布日： 2017-08-29 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种方法包括测量光刻图案形成装置的图案的特征的三维形貌；和根据测量结果计算由图案的三维形貌所导致的波前相位信息。
使用图案形成装置形貌引入相位方法设备

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