[实用新型]气体混合泵

摘要

一种气体混合泵,采用配气再反馈装置,预先混合后的气体浓度为100ppm进入储气室,再将气体浓度为100ppm的混合气体与混合底气如空气或氮气在一定压力下经阀1反馈至混合泵2进气口,再次混合输出气体浓度可达1ppm—100ppm,经阀2中1通道输入到用气装置。通过自动控制调节器调节所混合气体各成分的比例。

主权项

1.一种气体混合泵，包括阀门中的通道(1)、(2)、阀1(3)、阀2(4)、阀3(5)、调节器(6)、(7)、(8)、(9)、泵1(10)、泵2(11)、容器(12)、储气室(13)、气压检控装置(14)、气体钢瓶(15)，其特征在于：泵1(10)连接阀1(3)再连接泵2(11)、阀2(4)串联运行，阀2(4)的左面连接储气容器(12)下面连接储器室(13)，储气室[13]是用金属材料制成的正方型容器，内置一橡胶气袋(16)用于储气，储气室(13)上面有三个孔用于与自动三通阀1(3)、阀2(4)、阀3(5)以及气压检控装置(14)连通，并通过自动控制阀3(5)与压缩钢瓶(15)相接，储气室(13)密封并由气压检控装置(14)控制内部压力恒定；所述的调节器(6)、(7)、(8)、(9)是用来自动设置与调节气体混合比例的旋钮，该旋钮(27)(28)设置在泵1(10)上，旋钮(29)(30)设置在泵2(11)上，其核心结构是由三块圆盘组成的，该调节器的前面是步进电机(17)，后面是混合泵配气活塞(22)，用转轴(18)从中连接；最外层的圆盘(19)是一旋转转盘由金属材料制成，旋转转盘上安装一个发光二极管(23)与中间固定圆盘(20)上的透光孔(24)相对，该旋转转盘(19)随通过中心并固定于其上的电机驱动转轴(18)转动；中间的圆盘(20)和后面的圆盘(21)为固定式圆盘，通过固定螺丝孔(25)固定，中间的圆盘(20)有对应于调节器(6)、(7)、(8)、(9)所在位置的透光孔(24)，即0-10共有11个小孔，每一个透光孔(24)在电路中有一个对应的编码发光二极管(2)，所发的光透过透光孔(24)使得后面圆盘即电路板(21)上的光电检测二极管(26)检测并由编码电路进行编码，从而确定调节器的调节状态。