[发明专利]制造压电共振器的方法

摘要

可通过以下步骤制造压电共振器：提供第一母板，第一条形电极形成于该母板上，且沿基本上垂直于第一方向的第二方向延伸，而在一励磁电极和一引导电极之间延伸的一条线的方向是第一方向。通过在一切割位置处切割第一母板形成第二母板，从而使沿第一方向测量的的第一条形电极的长度相对于目标共振频率具有精确和理想的电极重叠长度。通过使用一膜片在由此形成的第二母板上形成第二条形电极，然后切割第二母板。

主权项

1.一种制造压电共振器的方法，该压电共振器包括一压电体；许多互相重叠的第一和第二励磁电极，而所述压电体位于它们之间，从而形成一励磁部分；自对应的第一励磁电极延伸至压电体的侧面部分、并与第一电位连接的第一引导电极；以及自与所述第一引导电极延伸方向相反的方向延伸、并与第二电位连接的第二引导电极；其特征在于，所述方法包括下列步骤：提供第一母板，通过使用一膜片在第一母板上形成许多第一条形电极，这些电极具有在它们之间的、沿第一方向排列的间隙，各第一条形电极沿第二方向延伸，所述第一方向沿着在励磁电极和引导电极之间延伸的一条线的方向，而所述第二方向垂直于第一方向；通过沿所述第二方向切割所述第一母板获得第二母板，按照目标共振频率设定第一条形电极在所述第一方向上的长度，并按照目标共振频率选择切割所述第一母板的位置；通过使用一膜片在第二母板的一主表面上形成许多第二条形电极，所述各第二条形电极构成所述第二励磁电极和沿所述第二方向与所述第二电位连接的所述第二引导电极；以及通过沿所述第一方向切割第二母板而获得许多压电共振器。