[发明专利]测试在净化室环境下使用的布料过滤效率的方法和装置有效
| 申请号： | 98104387.9 | 申请日： | 1998-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN1144044C | 公开（公告）日： | 2004-03-31 |
| 发明（设计）人： | 林昌洙;金贤俊;韩允洙;李玉仙 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G01N33/36 | 分类号： | G01N33/36 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 马莹 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种测试欲用来制作在制造半导体芯片的净化室环境中使用的工作服、口罩和手套的布料的过滤效率的方法和装置。所述装置包括，一支架；一气体电离器；一可选的加湿器；一颗粒发生器和一颗粒计数组件。在用电离气体除去测量室中的静电，并可选地调整测量室中的温度和湿度后，引入颗粒至测量室中。通过计量引入测量室中的颗粒总数和穿过布料样品的颗粒数来确定过滤效率。基于过滤效率，可以确定用这种布料制作的无尘服的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 净化 环境 使用 布料 过滤 效率 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于测试用于净化室环境的布料的过滤效率的装置，包括：一支架，待测试的布料样品固定在该支架上；一测量室，提供支架和样品的安装空间，其中所述测量室由第一部分和第二部分组成，所述支架安装在所述第一部分和所述第二部分之间；一气体电离器，产生电离气体并把电离气体通过第一阀门引入到测量室中；一颗粒发生器，产生颗粒并把颗粒通过第二阀门引入到测量室中；和一颗粒计数组件，计量通过颗粒发生器引入系统的颗粒总数及穿过样品的颗粒数。
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