[发明专利]电铸多层流动调节器

摘要

一种零袋状容积流体流动调节器,它可产生上游紊流,用于控制流体流动、流体喷雾分配和流体小滴尺寸。该流体流动调节器具有一密封层(5),用于选择性地控制流体流动。该密封层(5)可相对于一底层(3)弹性移动,以选择性地收缩一在调节器内的紊流引发中间通道(10)和选择性地控制流体流动。一种制造该流体流动调节器的方法,它采用一多层抗蚀剂工艺结合一多层电铸工艺。

主权项

1．一种流体流动调节器，包括：至少一个接纳流体的进入孔；至少一个排出所述流体的排出孔；以及在所述至少一个进入孔和所述至少一个流体排出孔之间的、在从所述至少一个进入孔到所述至少一个流体排出孔的流体流动方向上非直线地输送流体的一紊流引发中间通道，该紊流引发中间通道由第一和第二电铸层之间的一空间所限定，其中，第二层电铸于第一层上，或者第一层电铸于第二层上，并且第二层相对于第一层可选择性地在至少两个位置间弹性移动：一打开位置，在该位置第二层与第一层隔开，从而限定出一紊流引发中间通道，并使流体流过该通道，以及一关闭位置，在该位置第二层接触第一层的至少一部分，从而占据该空间，并阻止流体流动。